咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 375 篇 期刊文献
  • 57 篇 会议

馆藏范围

  • 432 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 395 篇 工学
    • 141 篇 机械工程
    • 105 篇 电子科学与技术(可...
    • 100 篇 仪器科学与技术
    • 63 篇 材料科学与工程(可...
    • 47 篇 控制科学与工程
    • 44 篇 光学工程
    • 40 篇 化学工程与技术
    • 25 篇 电气工程
    • 9 篇 生物工程
    • 8 篇 信息与通信工程
    • 8 篇 航空宇航科学与技...
    • 8 篇 农业工程
    • 6 篇 力学(可授工学、理...
    • 6 篇 生物医学工程(可授...
    • 4 篇 动力工程及工程热...
    • 4 篇 计算机科学与技术...
    • 4 篇 环境科学与工程(可...
    • 4 篇 软件工程
    • 2 篇 食品科学与工程(可...
  • 85 篇 理学
    • 37 篇 物理学
    • 37 篇 化学
    • 7 篇 生物学
    • 6 篇 系统科学
  • 15 篇 医学
    • 5 篇 医学技术(可授医学...
    • 4 篇 公共卫生与预防医...
    • 3 篇 基础医学(可授医学...
    • 3 篇 临床医学
  • 9 篇 农学
    • 5 篇 作物学
    • 4 篇 农业资源与环境
  • 2 篇 艺术学
    • 2 篇 设计学(可授艺术学...
  • 1 篇 军事学
  • 1 篇 管理学

主题

  • 30 篇 微机电系统
  • 21 篇 mems
  • 17 篇 微机械陀螺
  • 15 篇 微电子机械系统
  • 12 篇 微流控芯片
  • 12 篇 传感器
  • 9 篇 微机械
  • 9 篇 红外探测器
  • 9 篇 加速度传感器
  • 9 篇 微机电系统(mems)
  • 8 篇 静电驱动
  • 8 篇 各向异性腐蚀
  • 8 篇 压阻
  • 8 篇 ingaas
  • 7 篇 微悬臂梁
  • 7 篇 加速度计
  • 7 篇 接口电路
  • 7 篇 光波导
  • 7 篇 mems技术
  • 6 篇 热-机械灵敏度

机构

  • 146 篇 中国科学院上海微...
  • 120 篇 中国科学院上海微...
  • 71 篇 中国科学院研究生...
  • 68 篇 中国科学院大学
  • 52 篇 中国科学院上海微...
  • 26 篇 中国科学院上海微...
  • 22 篇 浙江大学
  • 17 篇 上海大学
  • 12 篇 宁波大学
  • 9 篇 上海师范大学
  • 9 篇 中国科学院上海微...
  • 8 篇 上海交通大学
  • 7 篇 上海微技术工业研...
  • 7 篇 同济大学
  • 7 篇 中国科学院上海技...
  • 7 篇 北京信息科技大学
  • 7 篇 上海应用技术大学
  • 6 篇 传感技术国家重点...
  • 6 篇 复旦大学
  • 6 篇 福州大学

作者

  • 130 篇 王跃林
  • 76 篇 李昕欣
  • 55 篇 赵建龙
  • 54 篇 金庆辉
  • 44 篇 熊斌
  • 42 篇 车录锋
  • 42 篇 吴亚明
  • 41 篇 wang yue-lin
  • 39 篇 焦继伟
  • 38 篇 李铁
  • 35 篇 li xin-xin
  • 28 篇 zhao jian-long
  • 26 篇 冯飞
  • 25 篇 杨恒
  • 24 篇 jin qing-hui
  • 21 篇 wang yuelin
  • 20 篇 li tie
  • 19 篇 yang heng
  • 19 篇 li xinxin
  • 17 篇 feng fei

语言

  • 432 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
432 条 记 录,以下是311-320 订阅
排序:
静电计检测微位移的原理和实验
收藏 引用
上海计量测试 2008年 第2期35卷 8-11页
作者: 陆德仁 鲍海飞 刘民 传感技术国家联合重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所
该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中,静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级。用静电计——平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移... 详细信息
来源: 评论
光纤光栅声光调制特性分析
收藏 引用
光纤与电缆及其应用技术 2004年 第2期 19-22页
作者: 屈红昌 吴亚明 杨建义 李明 李东 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
 高频超声波在紫外写入的光纤布拉格光栅(FBG)上传播,产生的长周期超声光栅调制光纤光栅,形成光纤超声超结构光栅。利用模式耦合理论,分析了光纤超声超结构光栅的光谱特性,得出光纤超声超结构光栅的反射谱存在多个反射峰,其反射峰的波... 详细信息
来源: 评论
基于虚拟仪器技术的小卫星测试平台
收藏 引用
测试技术学报 2004年 第1期18卷 21-24页
作者: 王营冠 陈文通 刘海涛 陈博 何永孟 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
 小卫星以其小型化、微型化、轻型化、高密度、软件化和智能化的特点赢得越来越多的用户.小卫星测试系统应具有灵活、方便、低成本、短开发周期等特点.基于虚拟仪器技术的测试系统可配置性好,重复利用率高,又可利用最新的计算机软硬件... 详细信息
来源: 评论
一种超薄硅薄膜的制作方法
收藏 引用
功能材料与器件学报 2002年 第4期8卷 388-390页
作者: 李忻 车录锋 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在... 详细信息
来源: 评论
大型起重机械在线监测的无线传感器网络节点设计
收藏 引用
传感器与微系统 2015年 第9期34卷 76-79页
作者: 刘大洋 赵伟 杨恒 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
从大型起重机械结构健康监测的实际应用出发,结合无线传感器网络分布式、高鲁棒性的特点,设计了一种基于Zig Bee的可对大型起重机械长期在线监测的无线传感器节点系统,并结合Lab VIEW针对节点的通信距离、数据传输可靠性以及功耗等进行... 详细信息
来源: 评论
传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响
收藏 引用
功能材料与器件学报 2003年 第2期9卷 161-164页
作者: 王钻开 陆德仁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
研究了硅微机械高g(g为重力加速度)加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的影响。传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰。采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高g加速度传感器,进... 详细信息
来源: 评论
从MEMS到NEMS进程中的技术思考
收藏 引用
微纳电子技术 2008年 第1期45卷 1-5页
作者: 李昕欣 夏晓媛 张志祥 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
回顾和概括了MEMS机电器件进入μm/nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析,对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定。分析目前机电器件走向nm尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题。对机... 详细信息
来源: 评论
转动竖直镜面的微机械光开关
收藏 引用
科技通讯(上海 2004年 第1期10卷 54-58页
作者: 杨艺榕 刘文平 王跃林 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试... 详细信息
来源: 评论
刺激因子提升梅奇酵母抑制苹果青霉病机制研究
收藏 引用
食品工业科技 2024年
作者: 杜静婷 蔺楠 丛龙美 胡俊月 施俊凤 葛玉卿 张茜 山西农业大学食品科学与工程学院 山西省果蔬贮藏保鲜与加工技术创新中心 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
实验室筛选所得梅奇酵母(Metschnikowia rubicola, M. rubicola)能有效抑制苹果采后青霉病的发生,为提高梅奇酵母对苹果青霉病的抑制效果,筛选与梅奇酵母具有协同效应的刺激因子,通过对比添加刺激因子前后梅奇酵母生活量、扩展青... 详细信息
来源: 评论
气体探测用低功耗微型加热器研究
收藏 引用
测试技术学报 2010年 第5期24卷 410-413页
作者: 许磊 李铁 高秀丽 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 上海200050
介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息
来源: 评论