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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
433 条 记 录,以下是321-330 订阅
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Ink的状态对微型PEMFC氧电极Pt利用率的影响
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电源技术 2006年 第8期30卷 617-620页
作者: 张熙贵 夏保佳 刘娟英 郑丹 徐乃欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
电化学极化实验表明,Ink(催化剂与溶剂在超声条件下形成的墨水状浆料)为胶体时,对应的微型质子交换膜燃料电池(PEMFC)氧电极极化性能相对于Ink为溶液时有明显提高。通过激光粒度实验和扫描电镜实验证实了Ink不同状态时对应的氧电极催化... 详细信息
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用苯并环丁烯进行圆片级硅–硅气密性键合
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电子元件与材料 2006年 第2期25卷 55-57页
作者: 刘玉菲 李四华 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室微系统技术国家级重点实验室
应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片进行了圆片级低温键合,并研究了其在气密性封装工艺中的应用。测试表明:在250℃的低温键合条件下,封装后样品的气密性优于3.0×10–***3/sHe;剪切力达4.7MPa以上;封装样品合格率达94%以上;通过热循环... 详细信息
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一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
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传感技术学报 2006年 第5A期19卷 1462-1465页
作者: 史明甫 焦继伟 包晓清 冯飞 杨恒 李铁 王跃林 中国科学院研究生院 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室
研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米沟道... 详细信息
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基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法
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机械工程学报 2006年 第9期42卷 97-102页
作者: 刘广军 王安麟 姜涛 焦继伟 张正福 上海交通大学机械与动力工程学院 上海200030 同济大学机械工程学院 上海200092 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
为建立加工缺陷对微机械陀螺性能影响的机理性模型,解决高精度微机械结构优化设计的计算时间问题,以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象,利用多自由度动态有限元解析理论,提出基于子结构模型的检测电容解析法,实现微... 详细信息
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基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析
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上海交通大学学报 2006年 第11期40卷 1918-1923页
作者: 姜涛 王安麟 刘广军 张颖 焦继伟 同济大学机械工程学院 上海200092 上海交通大学机械与动力工程学院 上海200240 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象,基于随机摄动技术定量计算了微陀螺固有频率变异和检测输出电容变异的统计特征,以概率思想表达了微陀螺批量加工过程所带来的材料/尺寸随机误差对其性能的影响.通过所提出... 详细信息
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应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究
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Journal of Semiconductors 2006年 第z1期27卷 407-410页
作者: 刘玉菲 刘文平 李四华 吴亚明 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 微系统技术国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片和玻璃片进行了250℃下的圆片级低温键合实验,同时进行了300℃下的硅片与玻璃片阳极键合实验,并对其气密性和剪切力特性进行了对比研究.测试结果表明:在250℃的低温键合条件下,经过500kPa He气保压2h,BCB... 详细信息
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质子膜表面粗糙化对质子交换膜燃料电池膜电极性能改善研究
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中国科学院研究生院学报 2006年 第4期23卷 472-476页
作者: 张熙贵 夏保佳 刘娟英 王涛 钦佩 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
通过对Nafion117表面粗糙化和“预先溶胀法”制备技术提高了微型PEM燃料电池膜电极的极化性能.循环伏安和交流阻抗等电化学检测方法证明,Nafion117表面粗糙化后扩展了催化层/质子膜三相界面区域,增大了电化学反应的有效活性面积,降低了... 详细信息
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利用基因芯片快速检测多种临床常见致病菌及其耐药性基因
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中华传染病杂志 2006年 第6期24卷 372-377页
作者: 毛红菊 林东昉 徐晓刚 张宏莲 张婴元 汪复 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050 复旦大学附属华山医院抗生素研究所
目的快速、准确、灵敏地检测临床常见的致病菌及其耐药基因。方法采用基因芯片技术,利用细菌23S rRNA基因序列信息和某些耐药基因作为检测靶基因,设计针对不同菌属的寡核苷酸探针和耐药基因探针的基因芯片,聚合酶链反应(PCR)扩增... 详细信息
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用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究
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电源技术 2006年 第4期30卷 261-265,268页
作者: 陈聪 郑丹 张熙贵 杨辉 夏保佳 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050 上海应用技术学院化学工程系 上海200235
采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA... 详细信息
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悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造
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仪表技术传感 2006年 第4期 12-14页
作者: 郭南翔 汪飞 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术国家重点实验室 上海200050
集成电路圆片级测试探卡主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量。随着集成电路设计和制造技术的发展,芯片焊盘密度日益增加,电路工作速度不断提高,由此产生的寄生电容和寄生电感效应会对传统测试探卡的正常工作造成影响,... 详细信息
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