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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
433 条 记 录,以下是331-340 订阅
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Modified Reynolds Equation for Squeeze-Film Air Damping of Slotted Plates in MEMS Devices
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Journal of Semiconductors 2006年 第3期27卷 473-477页
作者: 孙远程 鲍敏杭 杨恒 黄宜平 复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200030
A differential equation for calculating squeeze-film air damping in slotted plates is developed by modifying the Reynolds equation. A term is added to account for the effect of airflow through the slots on the air dam... 详细信息
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MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计
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传感技术学报 2006年 第5B期19卷 2156-2159页
作者: 董培涛 李昕欣 陈聪 夏保佳 王跃林 封松林 李圣怡 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院 长沙410073
针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,确定... 详细信息
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MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析
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电子元件与材料 2006年 第1期25卷 19-22,26页
作者: 杨尊先 李昕欣 福州大学电子科学与应用物理系 福建福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有... 详细信息
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微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析
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测试技术学报 2006年 第1期20卷 21-26页
作者: 鲍海飞 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
微机械加工制造的微悬臂梁/探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用,作为原子力显微镜中的关键核心组件,微悬臂/探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色.目前,尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成... 详细信息
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新型阴极结构的自呼吸式μPEMFC
新型阴极结构的自呼吸式μPEMFC
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上海市化学化工学会2006年度学术年会
作者: 郑丹 张熙贵 田娟 夏保佳 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 哈尔滨工程大学 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
“自呼吸式”μPEMFC即不用传统的压缩空气或纯氧,而是利用扩散作用直接从周围的空气中获得氧气作阴极氧化剂的微型质子交换膜燃料电池。在微型化手段上,微电子机械(MEMS)技术由于其加工的微小性、精确的加工分辨率(小于1μm)、高度的... 详细信息
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用于MEMS结构的光刻胶牺牲层接触平坦化技术
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功能材料与器件学报 2006年 第2期12卷 135-138,154页
作者: 邢向龙 焦继伟 Mark Daffron 王跃林 Hyung Choi 中国科学院上海微系统于信息技术研究所传感技术国家重点实验室 Brewer Science Inc.RollaMo.65401USA Samsung Advanced Institute of Technology 416 Maetan-DongYeongtong-GuSuwonKyungki-Do 442-742Korea
实验研究一种新颖的光刻胶牺牲层的接触平坦化(contact planarization)技术,应用于MEMS结构制作。实验研究了温度与光刻胶流动性的关系,以及牺牲层厚度、施加压力和温度、MEMS结构密度等因素对平坦化效果的影响,在优化条件下,牺... 详细信息
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新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 刘玉菲 赵本刚 吴亚明 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 浙江大学 杭州310027
本文提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计... 详细信息
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基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究
基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 赵全斌 焦继伟 杨恒 林梓鑫 李铁 张颖 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室上海200050
我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242 nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原... 详细信息
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一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 史明甫 焦继伟 包晓清 冯飞 杨恒 李铁 王跃林 中国科学院研究生院 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海
本文研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米... 详细信息
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MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计
MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 董培涛 李昕欣 陈聪 夏保佳 王跃林 封松林 李圣怡 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院 长沙410073 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院 长沙410073
本文针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,... 详细信息
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