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  • 433 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
433 条 记 录,以下是341-350 订阅
排序:
基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究
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中国机械工程 2005年 第z1期16卷 184-188页
作者: 肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050
基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅... 详细信息
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级联长周期光栅光谱特性
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光学学报 2005年 第8期25卷 1019-1024页
作者: 崔丽萍 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
利用传输矩阵法分析了级联长周期光栅的光谱特性,讨论了级联处光纤的长度、位置以及包层模损耗系数对级联长周期光栅光谱的影响,并对级联长周期光栅和相移长周期光栅的光谱进行了比较。结果表明两者光谱在级联光纤长度较小或级联位置靠... 详细信息
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一种新结构硅微机械压阻加速度计
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传感技术学报 2005年 第3期18卷 500-503页
作者: 陈雪萌 李昕欣 宋朝晖 王跃林 黄晖 黄树森 张鲲 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计。器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形。比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小... 详细信息
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迭代法重建平板光波导折射率分布
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光学学报 2005年 第6期25卷 726-730页
作者: 郝寅雷 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050
提出了一种用于重建渐变折射率平板光波导折射率分布的方法,这种方法通过数值法求解亥姆霍兹方程,从光波导的低阶模开始采用迭代法顺次对各个模式对应的“转折点”位置进行校正,并多次重复迭代以消除“转折点”外折射率分布的变化对相... 详细信息
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焊料键合实现MEMS真空封装的模拟
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Journal of Semiconductors 2005年 第5期26卷 1033-1039页
作者: 程迎军 蒋玉齐 许薇 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室 上海200050
结合典型的焊料键合MEMS真空封装工艺,应用真空物理的相关理论,建立了封装腔体的真空度与气体吸附和解吸、气体的渗透、材料的蒸气压、气体通过小孔的流动等的数学模型,确定了其数值模拟的算法.通过实验初步验证了模拟结果的准确性,分... 详细信息
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基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究
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传感技术学报 2005年 第4期18卷 766-770页
作者: 杨尊先 于映 林丽华 李昕欣 福州大学电子科学与应用物理系 福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随... 详细信息
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双环推挽型高线性M-Z光强调制器特性研究
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光电子.激光 2005年 第10期16卷 1157-1162,1170页
作者: 杨建义 王帆 江晓清 屈红昌 吴亚明 王明华 浙江大学信息与电子工程学系 浙江杭州210027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
对损耗影响下的双环推挽(TRAPP)型马赫-曾德(M-Z)光调制器的线性特性进行了研究。分析表明,存在损耗时,设计特定的光微环与M-Z干涉臂间的耦合大小,并控制偏置点,总可以获得2次与3次高阶项为零的调制曲线;当微环1周损耗小于5 dB时,线性... 详细信息
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带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感
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Journal of Semiconductors 2005年 第3期26卷 547-553页
作者: 程保罗 李昕欣 王跃林 焦继伟 车录锋 杨恒 戈肖鸿 宋朝晖 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室
研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器.为实现该加速度传感器,提出了一套新的体硅微机械工艺,使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件.传感器采用在深槽侧壁(悬臂梁弯曲的表面)制作压阻的方法,灵敏度比在硅表面上制作... 详细信息
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1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制
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Journal of Semiconductors 2005年 第9期26卷 1798-1803页
作者: 龙文华 李广波 贾科淼 屈红昌 唐衍哲 吴亚明 杨建义 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行... 详细信息
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基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究
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光学精密工程 2005年 第6期13卷 674-680页
作者: 肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
采用MEMS皮肤技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出8×8阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧化硅片为机械载体,以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放下来。试验表明聚酰... 详细信息
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