检索结果-内蒙古大学图书馆

化学传感器 2010年第4期30卷 9-13页

作者：陈志华葛玉卿金庆辉柳建设赵建龙东华大学环境科学与工程学院上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

石墨烯作为一种二维结构的新型材料,其优异性能得到了人们的广泛关注。该文分析了石墨烯和功能化石墨烯的优异性质,总结了石墨烯作为新型传感材料的应用优势,并介绍了石墨烯对于酶电极的电子传导促进和检测优化以及石墨烯与其它有机物... 详细信息

石墨烯作为一种二维结构的新型材料,其优异性能得到了人们的广泛关注。该文分析了石墨烯和功能化石墨烯的优异性质,总结了石墨烯作为新型传感材料的应用优势,并介绍了石墨烯对于酶电极的电子传导促进和检测优化以及石墨烯与其它有机物修饰后的复合电极对各种生物小分子的检测分析,同时对各种基于石墨烯材料的电化学传感器进行了简单介绍。展望了石墨烯修饰电极在生物检测与环境监测等方面的电化学应用前景。

关键词：石墨烯电化学生物检测传感器

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细胞高通量捕获和排列方法的最新进展

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中国组织工程研究 2018年第17期22卷 2783-2788页

作者：浑婷婷邱昌俊赵莹彤赵峰何静雯孙艳北京航空航天大学生物与医学工程学院生物力学与力生物学教育部重点实验室北京市100083 生物医学工程高精尖创新中心北京航空航天大学北京市102402 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海市200050

背景:细胞是生命体活动的基本单位,理解生命体过程中的规律,需要以研究细胞为基础来深入探索细胞间的联系和行为。大多数的生物测定都是基于大细胞群体,但是其缺点是无法忽略细胞异质性的影响,并且失去了在细胞应答过程中重要的瞬时数... 详细信息

背景:细胞是生命体活动的基本单位,理解生命体过程中的规律,需要以研究细胞为基础来深入探索细胞间的联系和行为。大多数的生物测定都是基于大细胞群体,但是其缺点是无法忽略细胞异质性的影响,并且失去了在细胞应答过程中重要的瞬时数据。目前对实现单细胞捕获和诱导体外排列来研究细胞具体行为的方法缺乏系统性的表述和研究。目的:总结并讨论微流控技术、微接触印刷技术及利用力学、电学及磁学来制作细胞捕获陷阱的方法及实现后续排列、生长、铺展、分化控制的可行性和最新进展。方法:作者检索1995至2017年百链云数据库和Pub Med数据库,纳入与单细胞捕获及筛选微加工方法相关的文献,并进行系统整理、归纳总结和分析。结果与结论:共检索到文献241篇,按照纳入和排除标准筛选后,共纳入35篇文献。通过阅读、总结和分析,结果表明:随着微纳米级加工技术的逐步成熟及它在细胞生物学和医学研究中的逐步深入,微流控技术和微接触印刷技术既是目前研究的重点又被很多研究者进行了一定程度的改进,除此之外一些新的材料也逐步应用。微流控技术在细胞捕获率方面有着领先的优势,而改进后的微接触印刷技术更注重细胞的后续铺展及排列。在不损害细胞活性的前提下,精准的细胞捕获和排列以及合适的后续培养环境,对引导细胞的铺展、融合及分化方面至关重要。

关键词：微流体学高通量筛选流式细胞术组织工程细胞捕获细胞排列细胞分选微流控技术微接触印刷技术 PDMS微孔阵列薄膜电学刺激磁力刺激微流体微漩涡干细胞国家自然科学基金

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ZnO纳米线阵列波导对表层聚合物荧光增强的影响

ZnO纳米线阵列波导对表层聚合物荧光增强的影响

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中国化学会第28届学术年会

作者：朱德峰贺庆国付艳艳华康毅曹慧敏程建功中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室中国科学院研究生院

＜正＞微纳结构因大比表面积和光调制等特性被大量用作发光材料光波导[1]。亚波长纳米线作光波导时,其倏逝波传输特性可被用来提高表面荧光聚合物包层的激发能量场密度,继而增强荧光发射[2-3]。本工作研究了

关键词： ZnO 纳米线阵列荧光聚合物光波导取向性

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感应耦合等离子体(ICP)刻蚀加工工艺生长钝化膜表面的纳米摩擦研究

感应耦合等离子体(ICP)刻蚀加工工艺生长钝化膜表面的纳米摩擦研究

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：鲍海飞熊斌戈肖鸿王渭源王跃林传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所

在MEMS加工工艺中,利用ICP技术,交替采用钝化和腐蚀的方法进行微结构的加工和制备已经成为一种行之有效的手段,其中对钝化膜摩擦特性的研究尚不多见.在本文,采用三种不同的贴片方式,在硅基底上制备了厚度为200nm和500nm的钝化膜.利用原... 详细信息

在MEMS加工工艺中,利用ICP技术,交替采用钝化和腐蚀的方法进行微结构的加工和制备已经成为一种行之有效的手段,其中对钝化膜摩擦特性的研究尚不多见.在本文,采用三种不同的贴片方式,在硅基底上制备了厚度为200nm和500nm的钝化膜.利用原子力显微镜考察了样品的表面形貌、黏附力和摩擦行为.在给定的扫描尺寸范围内,样品的粗糙度在纳米量级.在小于25纳牛载荷下,测试了钝化膜的摩擦特性.同硅相比,在相同的载荷下,钝化膜的表面摩擦力均比硅的小,钝化膜的表面摩擦与表面形貌和粗糙度以及贴片方式有关.

关键词：纳米摩擦钝化膜深反应离子刻蚀

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拉曼光谱仪及其微型化

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光散射学报 2024年第3期36卷 290-304页

作者：薛兴梅张莉丽罗枭周琳张先彪陈昌上海大学微电子学院上海201800 上海近观科技有限责任公司上海200444 上海交通大学医学院附属瑞金医院医学芯片研究所上海200025 上海微技术工业研究院上海201800 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

近年来,拉曼光谱以其快速无损、分子特异性高、灵敏度高等特点在材料科学、生物医学和环境监测等领域得到了广泛应用,成为光谱分析的重要工具。然而,传统拉曼光谱仪由于尺寸庞大、成本昂贵而难以适应许多特殊应用场景,因此,人们对于微... 详细信息

近年来,拉曼光谱以其快速无损、分子特异性高、灵敏度高等特点在材料科学、生物医学和环境监测等领域得到了广泛应用,成为光谱分析的重要工具。然而,传统拉曼光谱仪由于尺寸庞大、成本昂贵而难以适应许多特殊应用场景,因此,人们对于微型化、低成本、高性能拉曼光谱仪的需求日益增加。硅基光电子技术的进步为拉曼光谱仪的微型化带来了新的发展机遇,使得芯片级的拉曼光谱仪成为了可能。本文对拉曼光谱仪及其微型化的发展历程进行了综述,同时,讨论了部分具有拉曼应用潜力的片上光谱仪,为已有拉曼光谱仪的微型化及微型化光谱仪的拉曼应用探究提供重要的参考,并推动技术与应用的共同发展和不断创新。

关键词：拉曼光谱仪光谱检测微型化硅基光电子片上集成

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塑性形变对单晶硅微结构的影响研究

塑性形变对单晶硅微结构的影响研究

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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：蒋万里姚邵康徐德辉熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海 200050 中国科学院大学北京100049

在MEMS器件高温工艺过程中,单晶硅微结构在载荷的作用下会产生塑性变形.本文以MEMS器件中常见的单晶硅圆膜微结构为研究对象,研究其发生塑性变形的临界条件以及发生塑性变形后对微结构应力分布的影响.基于Von Mises屈服准则,微结构发生... 详细信息

在MEMS器件高温工艺过程中,单晶硅微结构在载荷的作用下会产生塑性变形.本文以MEMS器件中常见的单晶硅圆膜微结构为研究对象,研究其发生塑性变形的临界条件以及发生塑性变形后对微结构应力分布的影响.基于Von Mises屈服准则,微结构发生塑性变形的临界条件可以通过比较微结构的最大等效应力和单晶硅的屈服强度来预测.通过ANSYS 有限元软件仿真塑性变形后微结构上的应力分布,得到不同结构尺寸微结构的应力随塑性形变大小的变化.研究表明,Von Mises应力随着塑性形变量的增加而下降,下降速度与微结构尺寸有关,圆膜厚度变化对Von Mises应力影响比圆膜半径更大.塑性形变所导致的应力变化使微结构刚度变大,灵敏度降低,严重影响器件性能.

关键词：半导体材料单晶硅微结构塑性形变

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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

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中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

作者：高安然李铁刘翔焦继伟王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院北京100049 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.

关键词：微液滴温度梯度表面张力梯度电阻加热器开放式结构

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一种新颖的光调制热成像器件设计

一种新颖的光调制热成像器件设计

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：冯飞熊斌焦继伟王跃林传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海)

基于硅基微机械(MEMS)技术,本文提出了一种新颖的光调制热成像器件,其图像获取过程是红外信号→位移→可见光信号,而不是传统的红外图像→电图像→可见光图像.该器件实质上是由滤光片、半透镜和可动微镜阵列组成的法布里—泊罗干涉仪(F... 详细信息

基于硅基微机械(MEMS)技术,本文提出了一种新颖的光调制热成像器件,其图像获取过程是红外信号→位移→可见光信号,而不是传统的红外图像→电图像→可见光图像.该器件实质上是由滤光片、半透镜和可动微镜阵列组成的法布里—泊罗干涉仪(F—P腔),可动微镜的反射面和半透镜的反射面构成F—P腔的两上反射面.通过理论计算和ANSYS模拟,对器件结构进行了优化设计,器件的关键性能指标—热灵敏度可达10<'-8>m/K.

关键词：光调制热成像微机械热灵敏度红外成像

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单片集成MEMS红外传感器的读出电路设计

单片集成MEMS红外传感器的读出电路设计

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第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：姚镭李铁郝跃国熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家重点实验室上海 200050

实现了一种用于放大MEMS红外传感器微弱输出信号的低噪声读出电路。电路架构基于斩波技术(CHS),理论分析其能有效降低低频噪声。利用苏州和舰科技(HJTC)的商用0.18umCMOS工艺流程制作的试样芯片。测试结果证实了此电路的工作原理。整个... 详细信息

实现了一种用于放大MEMS红外传感器微弱输出信号的低噪声读出电路。电路架构基于斩波技术(CHS),理论分析其能有效降低低频噪声。利用苏州和舰科技(HJTC)的商用0.18umCMOS工艺流程制作的试样芯片。测试结果证实了此电路的工作原理。整个电路系统的增益为84.9dB,带宽160Hz,等效输入噪声87nV/rtHz。

关键词：读出电路设计红外传感器功能模块斩波技术

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两维碰撞加速度传感器及其实用化

两维碰撞加速度传感器及其实用化

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第11届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：周伟刘民姜伟李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固有频率15kHz。传感器... 详细信息

基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固有频率15kHz。传感器贴装在PCB板上,由经济实用的放大电路进行处理,可以实现两维的加速度测量,电压输出1～4V,带宽500Hz。传感器在车辆运输等实际环境下进行了试用,性能可靠稳定,具有良好的实用化前景。

关键词：加速度传感器碰撞冲击测量两维碰撞 MEMS加工模块化封装

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