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  • 433 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
433 条 记 录,以下是371-380 订阅
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一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作
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红外与毫米波学报 2004年 第2期23卷 125-130页
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双... 详细信息
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硼氢化钠水解制氢的研究
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燃料化学学报 2004年 第6期32卷 723-728页
作者: 王涛 张熙贵 李巨峰 钦佩 夏保佳 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
采用置换镀的方法在泡沫镍基体上获得不同载钌量的NaBH4水解制氢催化剂。实验结果表明,NaBH4水解制氢反应为零级反应,氢气生成速率随载钌量的增加而变快;当泡沫镍表面完全被钌覆盖时,载钌量为6%,相应的催化能力最强。与离子交换树脂载... 详细信息
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基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作
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光学学报 2004年 第10期24卷 1375-1380页
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出了一种新颖的基于硅基法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件 ,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其焦平面阵列 (FPA)是一个基于微机电系统 (MEMS)制作的法布里珀罗微腔阵列。阐明了器件的工作原理 ;完... 详细信息
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灌封对高量程微机械加速度计封装的影响
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机械强度 2004年 第2期26卷 149-153页
作者: 蒋玉齐 杜茂华 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
灌封是高量程微机械加速度计实用化的一个关键步骤。文中根据自制的一种压阻式高量程micro electro me chanicalsystem(MEMS)加速度计芯片及一种实用的封装结构 ,对其有限元模型进行模态分析和高g值加速度载荷下的响应分析。封装结构的... 详细信息
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等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究
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摩擦学学报 2004年 第4期24卷 304-307页
作者: 鲍海飞 熊斌 陆德仁 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合... 详细信息
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光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计
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光学学报 2004年 第11期24卷 1543-1546页
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响应时间四个方面。理论分析表明 :当法布里珀罗微腔两个反射面... 详细信息
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偏置电压极性对力反馈电容式微加速度计特性的影响分析
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技术通讯 2004年 第12期14卷 67-72页
作者: 董林玺 车录锋 王跃林 浙江大学信息学院信电系,杭州311027//中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050
对电容式加速度计,为测量其电容的变化,通常需要带直流偏置的交流电压信号来驱动。驱动信号产生的静电力有时会干扰器件的测量和正常工作。文章中定量分析了带有电压反馈的双边驱动信号对器件特性的影响。对于这种驱动方式,正-负和正... 详细信息
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力反馈微加速度计的准静态和阶跃响应模型
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机械工程学报 2004年 第10期40卷 102-108页
作者: 车录锋 徐志农 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学机械与能源工程学院 杭州310027
对于微机械电容式加速度计,为了检测微小电容变化,必须引入交直流电压驱动信号,然而该静电力的存在显著影响传感器的最大可靠工作范围。对准静态惯性信号和阶跃惯性信号,深入研究了力反馈加速度计的可靠工作范围,建立了不同偏压配置的... 详细信息
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MEMS器件真空封装模型模拟
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传感技术 2004年 第12期23卷 86-88页
作者: 程迎军 朱锐 许薇 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室 上海200050
结合典型的MEMS器件真空封装工艺,应用真空物理的相关理论,建立了MEMS器件真空封装的数学物理模型,确定了其数值模拟算法。据此,对一封装示例进行了计算,获得了真空回流炉内干燥箱及密封腔体真空度的变化情况,实现了MEMS器件真空封装工... 详细信息
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基于二维分布阵列波导光栅的光波分复用器/解复用器
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光电子.激光 2004年 第9期15卷 1031-1034,1041页
作者: 杨建义 江晓清 贾科淼 李锡华 王明华 吴亚明 王跃林 浙江大学信息与电子工程学系 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
基于二维分布衍射光栅与平面波导概念,提出了基于二维分布阵列波导光栅的光波分复用器/解复用器。光波分复用器/解复用器利用二维衍射光栅的波长变化下光波的衍射路径由两个方向的色散值矢量合成决定这一特性,同时适当地控制其自由谱范... 详细信息
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