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语言

  • 433 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
433 条 记 录,以下是381-390 订阅
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硅基脊型波导器件过渡区损耗及偏振效应
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光学学报 2004年 第2期24卷 203-207页
作者: 唐衍哲 王跃林 吴亚明 浙江大学信息与电子工程学系 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
在绝缘层上的硅材料上制作了四种具有不同输入输出结构的星形耦合器并进行了测试 ,对脊形波导与平板波导相互过渡时过渡区的损耗问题进行了研究和讨论 ,计算得到在所使用的材料参量下利用锥形结构可以得到1dB左右的最小损耗 ,这一损耗... 详细信息
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硅基纳机电探针及其敏感和执行特性
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Journal of Semiconductors 2004年 第7期25卷 863-868页
作者: 杨尊先 李昕欣 王跃林 鲍海飞 刘民 陆德仁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
阐述了集成纳机电探针实现超高密度存储的工作原理 ,并对所设计的结构进行了力学理论计算和有限元模拟 .采用硅基微纳机械加工工艺 ,将压阻敏感器和电热纳米针尖一体集成到硅悬臂梁上 ,实现器件制作 .对加热电阻进行温度标定 ,得到了加... 详细信息
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基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制
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Journal of Semiconductors 2004年 第4期25卷 477-480页
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出了一种新颖的非致冷光读出热成像芯片的设计 ,其核心部分是一个 m× n的可动微镜阵列 ,可动微镜是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成 .在红外辐射的作用下 ,梁发生弯曲带动微镜面发生的位移变化对输出可见光的强度进行调制 ... 详细信息
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光读出热成像芯片的优化设计与ANSYS模拟
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Journal of Semiconductors 2004年 第5期25卷 552-556页
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
利用一种近似理论——悬臂梁理论对光读出热成像芯片进行了优化设计 ,所采用的 Al/ Si O2 双材料体系 ,其关键性能指标——热 -机械灵敏度可达 6 .6 0× 10 - 8m/ K,与之相对应的最优厚度比为 0 .6 .同时 ANSYS模拟表明 ,可动微镜... 详细信息
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一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造
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传感技术 2004年 第12期23卷 82-85页
作者: 陈雪萌 宋朝晖 李欣昕 王跃林 张鲲 焦继伟 杨恒 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺。陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测。主梁、微梁 质量块结构实现了高灵敏度。比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率。微梁很细,检测时微梁... 详细信息
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MEMS悬臂式开关的失效分析
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传感技术学报 2004年 第3期17卷 492-496页
作者: 徐欣 郭方敏 葛羽屏 李成诗 于绍欣 朱荣锦 赖宗声 朱自强 王跃林 陆卫 华东师范大学信息科学和技术学院 上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点开放实验室上海200050 中国科学院上海技术物理所 红外物理国家重点实验室上海200083
介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1~ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法... 详细信息
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基于膜显色结果判读的基因芯片快速检测丙型肝炎基因型方法的研究
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中华肝脏病杂志 2004年 第5期12卷 301-303页
作者: 张翼冠 毛红菊 顾士民 许宝建 赵建龙 董子明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050 郑州大学基础医学院 上海传染病医院
目的 研制一种新型基于膜显色的芯片,用于丙型肝炎病毒(HCV)及其基因分型的快速检测。方法 根据HCV 5′端非编码区(5′NCR)设计特异型探针和引物,制作DNA芯片。实验组为60份HCVRNA阳性血清,对照组为20份健康人血清。获得目的片段后与芯... 详细信息
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纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究
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传感技术 2004年 第1期23卷 73-76页
作者: 杨尊先 程保罗 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学信息与电子工程学系 浙江杭州310027
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖... 详细信息
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相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制
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华东师范大学学报(自然科学版) 2004年 第1期 49-55页
作者: 郭方敏 朱守正 魏华征 郑莹 朱荣锦 忻佩胜 朱自强 赖宗声 杨根庆 陆卫 华东师范大学信息科学技术学院上海 200062 中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室 华东师范大学信息科学技术学院 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合开放实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国科学院上海技术物理所
MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布... 详细信息
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电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究
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腐蚀科学与防护技术 2004年 第5期16卷 287-290页
作者: 黄卫东 王旭洪 王莉 盛玫 徐立强 Frank Stubhan 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术国家重点实验室 上海新代车辆技术有限公司 上海200050 上海新代车辆技术有限公司
测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线。应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线 ,得到了水汽... 详细信息
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