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  • 432 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
432 条 记 录,以下是31-40 订阅
排序:
CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究
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浙江大学学报(工学版) 2011年 第6期45卷 1043-1047,1107页
作者: 徐德辉 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 微系统技术重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
通过设计2种不同微机械热电堆红外探测器阵列结构,对微机械热电堆红外探测器阵列性能进行研究.阵列器件采用二维的面阵列结构,单元探测器分别以串联和并联2种方式分别组成阵列,微机械热电堆的热电偶材料采用N型多晶硅和铝,结构支撑膜为... 详细信息
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一种微型化制造的双腔结构芯片原子钟^(87)Rb蒸汽腔(英文)
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红外与激光工程 2014年 第5期43卷 1463-1468页
作者: 李绍良 徐静 张志强 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049
碱金属蒸汽腔是芯片原子钟(CSACs)中重要的核心部件之一,其微型化制造具有重要的实用价值,同时也非常具有挑战性。采用MEMS技术批量化制作了具有双腔结构的芯片原子钟87Rb蒸汽腔阵列。在阳极键合过程中,通过原位化学反应产生纯净的87Rb... 详细信息
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高质量大面积石墨烯的化学气相沉积制备方法研究
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物理学报 2012年 第3期61卷 510-516页
作者: 王文荣。 周玉修 李铁 王跃林 谢晓明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050
石墨烯因其奇特的能带结构和优异的物理性能而成为近年来研究的热点,但是目前单层石墨烯的质量与尺寸制约了其实际应用的发展.本文采用常压化学气相沉积(CVD)方法,基于铜箔衬底,利用甲烷作为碳源制备了高质量大面积的单层与多层石墨烯.... 详细信息
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新型MEMS光学电流传感器的设计
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半导体光电 2006年 第5期27卷 534-538页
作者: 赵本刚 刘玉菲 徐静 高翔 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
提出了一种用于检测50Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理,给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程,并模拟分析了器件在交流电100~3600A下的性能。结果表明:滤波后可得到稳定的测... 详细信息
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128×1线列InGaAs短波红外焦平面的研究
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红外与毫米波学报 2006年 第5期25卷 333-337页
作者: 吕衍秋 徐运华 韩冰 孔令才 亢勇 庄春泉 吴小利 张永刚 龚海梅 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
报道了用分子束外延(MBE)方法生长的掺杂InGaAs吸收层PIN InP/InGaAs/InP双异质结外延材料,通过干法刻蚀和湿法腐蚀相结合制作台面、硫化和聚酰亚胺钝化、电极生长等工艺,制备了128×1台面正照射InGaAs探测器阵列.测试了器件的变温... 详细信息
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垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜
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光学精密工程 2013年 第2期21卷 400-407页
作者: 刘英明 徐静 钟少龙 翟雷应 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100039
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜... 详细信息
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基于Android平台的便携式痕量重金属离子检测仪的研制
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分析化学 2015年 第7期43卷 1098-1103页
作者: 黄善洛 金妍 郭慧 蔡奇 杜晓薇 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院大学
基于Android平台,设计了一种用于痕量重金属离子检测的便携式电化学分析检测仪。仪器输出电压范围为03;V,精度为0.1%,分辨率<1 m V;电流检测范围为010;0 m A,精度为0.1%,最小分辨率为10 p A,已达到普通电化学分析的要求。借助Androi... 详细信息
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一种用于核酸高灵敏检测的液滴式数字聚合酶链式反应芯片
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高等学校化学学报 2017年 第7期38卷 1140-1147页
作者: 袁浩钧 郜晚蕾 景奉香 刘松生 周洪波 贾春平 金庆辉 赵建龙 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 中国科学院大学 北京100049
为了实现对核酸的高灵敏度检测,构建了一种新型的液滴式数字聚合酶链式反应(dd PCR)芯片.该芯片由产生液滴的聚二甲基硅氧烷(PDMS)模块和储存液滴的玻璃腔构成.实验结果表明,该芯片可以在25 min内产生2×106个直径为20μm的微液滴... 详细信息
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基于纳米金复合探针-蛋白芯片检测心肌损伤标志物
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高等学校化学学报 2015年 第9期36卷 1687-1693页
作者: 黄丽君 张丽华 毛红菊 王萍 蒋友旭 李盼盼 金庆辉 赵建龙 郑州大学第二附属医院 郑州450014 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
运用纳米金复合探针结合蛋白芯片,建立了一种检测心肌损伤标志物的新方法.构建了2种纳米金探针:标记有检测抗体和DNA探针1的检测探针和标记有DNA探针2(与DNA探针1的碱基互补配对)的信号探针.当目的抗原存在时,检测探针经检测抗体和抗原... 详细信息
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pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响
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光电子.激光 2010年 第8期21卷 1176-1180页
作者: 李艳龙 王翊 周宏 刘延祥 李铁 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室微系统技术国家实验室上海200050
为了研究pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响,设计了两种结构的热电堆器件,采取不同的退火条件,对其结构进行了研究实验结果表明,工艺过程中形成的pn结会使得热电堆的电阻变大,信号变小,退火条件决定了热电堆器件能否正常工作。因... 详细信息
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