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第一届长三角地区传感技术学术交流会

1 引言进入上世纪八十年代,随着微电子技术的飞速发展,使得起着人“大脑”作用的计算机功能越来越强,而起着人“五官”作用的传感器却没有大的进展,形成了聪明的“大脑”指挥笨拙的“五官”局面,传感器的矛盾显得越来越突出,因此,传感... 详细信息

1 引言进入上世纪八十年代,随着微电子技术的飞速发展,使得起着人“大脑”作用的计算机功能越来越强,而起着人“五官”作用的传感器却没有大的进展,形成了聪明的“大脑”指挥笨拙的“五官”局面,传感器的矛盾显得越来越突出,因此,传感器的研究受到了极大的重视。也就是在1981年正式举办了第一届国际传感器和执行器会议(Transducers’81),带来了传感器研究的热潮。当时,我国对传感器的研究也较为重视,从八十年代初开始有关部委立了传

关键词：传感器中国科学院上海微系统与信息技术研究所技术平台传感技术国家重点实验室

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光纤光栅声光调制特性分析

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光纤与电缆及其应用技术 2004年第2期 19-22页

作者：屈红昌吴亚明杨建义李明李东中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

　高频超声波在紫外写入的光纤布拉格光栅(FBG)上传播,产生的长周期超声光栅调制光纤光栅,形成光纤超声超结构光栅。利用模式耦合理论,分析了光纤超声超结构光栅的光谱特性,得出光纤超声超结构光栅的反射谱存在多个反射峰,其反射峰的波... 详细信息

　高频超声波在紫外写入的光纤布拉格光栅(FBG)上传播,产生的长周期超声光栅调制光纤光栅,形成光纤超声超结构光栅。利用模式耦合理论,分析了光纤超声超结构光栅的光谱特性,得出光纤超声超结构光栅的反射谱存在多个反射峰,其反射峰的波长间隔由超声波的频率决定。因此,可以通过改变超声波的频率,调节一阶反射谱的反射波长,从而实现宽调谐范围的快速波长可调滤波器。该滤波器与通常的声光可调滤波器相比,带宽更窄,调谐速度更快。

关键词：声光调制光纤超声超结构光栅模式耦合理论光纤布拉格光栅高频超声波光谱特性

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基于虚拟仪器技术的小卫星测试平台

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测试技术学报 2004年第1期18卷 21-24页

作者：王营冠陈文通刘海涛陈博何永孟中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

　小卫星以其小型化、微型化、轻型化、高密度、软件化和智能化的特点赢得越来越多的用户.小卫星测试系统应具有灵活、方便、低成本、短开发周期等特点.基于虚拟仪器技术的测试系统可配置性好,重复利用率高,又可利用最新的计算机软硬件... 详细信息

　小卫星以其小型化、微型化、轻型化、高密度、软件化和智能化的特点赢得越来越多的用户.小卫星测试系统应具有灵活、方便、低成本、短开发周期等特点.基于虚拟仪器技术的测试系统可配置性好,重复利用率高,又可利用最新的计算机软硬件技术.本文介绍一种基于虚拟仪器技术的小卫星自动测试平台.

关键词：虚拟仪器小卫星自动测试平台数据采集信号激励系统体系结构

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转动竖直镜面的微机械光开关

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科技通讯（上海） 2004年第1期10卷 54-58页

作者：杨艺榕刘文平王跃林吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试... 详细信息

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB。

关键词：各向异性腐蚀深反应离子刻蚀 MEMS 光开关微机械静电耦合分析有限元

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先进体硅机械加工技术——从微米到纳米

先进体硅机械加工技术——从微米到纳米

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第一届长三角地区传感技术学术交流会

作者：李昕欣王跃林李铁杨恒焦继伟传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所

介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-DRIE深刻... 详细信息

介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-DRIE深刻蚀工艺实现的多种先进MEMS结构和开发的传感器。充分结合硅材料的各向异性和加工技术的高度选择性,体硅加工技术可以有力延伸到制造具有纳米特征尺度的纳机电器件。本文以集成探针和纳米硅谐振梁的体硅加工为例,表明了体硅加工技术的能力和发展前景。

关键词：机械加工技术

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一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器

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功能材料与器件学报 2004年第3期10卷 355-358页

作者：韩晓峰吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院研究生院北京100039

设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率。该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB。

关键词：可调谐光衰减器双脊型波导 SOI材料光网络无源光器件光波分复用系统

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一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关

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功能材料与器件学报 2004年第3期10卷 350-354页

作者：黄蓉焦继伟王跃林传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院研究生院北京100039

提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径。在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000... 详细信息

提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径。在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000μm×600μm×300μm的射频开关,驱动电压为35V,在射频信号频率为50MHz到10GHz的范围内,该开关的插入损耗低于2dB,隔离度高于40dB。

关键词：微电子机械系统射频开关共面波导微机械

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基于接触式极化法的电光聚合物光调制器研究

基于接触式极化法的电光聚合物光调制器研究

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中国光学学会2004年学术大会

作者：杨建义江晓清李锡华周强王明华王跃林浙江大学信息与电子工程系中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

本文对有机聚合物电光材料的接触式极化法,以及相应的光调制器件进行了研究。利用接触式极化法具有的极化区域选择性、极化方向性控制等特点,进行了光偏振调制器、MZ型光推挽强度调制器、高线性度Y分支定向耦合器型光强度调制器、光圆... 详细信息

本文对有机聚合物电光材料的接触式极化法,以及相应的光调制器件进行了研究。利用接触式极化法具有的极化区域选择性、极化方向性控制等特点,进行了光偏振调制器、MZ型光推挽强度调制器、高线性度Y分支定向耦合器型光强度调制器、光圆偏振调制器等的研制工作。

关键词：集成光学有机聚合物光波导电光效应电极化光调制器

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采用MMI结构研制具有平顶谱特性的AWG

采用MMI结构研制具有平顶谱特性的AWG

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中国光学学会2004年学术大会

作者：贾科淼唐衍哲李柏阳杨建义江晓清吴亚明王跃林浙江大学信息科学与电子工程系中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

在AWG输入端设置多模干涉(MMI)耦合器,我们在SiO2光波导材料上设计并制作了具有平顶谱特性的1×8阵列波导光栅(AWG)。本文首先简要介绍了采用MMI结构展宽AWG滤波谱线的原理,给出了数值模拟结果。通过对所研制的器件进行测试,并与常... 详细信息

在AWG输入端设置多模干涉(MMI)耦合器,我们在SiO2光波导材料上设计并制作了具有平顶谱特性的1×8阵列波导光栅(AWG)。本文首先简要介绍了采用MMI结构展宽AWG滤波谱线的原理,给出了数值模拟结果。通过对所研制的器件进行测试,并与常规AWG比较,结果表明,器件的1dB带宽由0.22nm增为0.43nm,增加近100%,3dB带宽由0.39nm增为0.72nm,增加85%。而20dB带宽仅由1.04nm增为1.56nm,只增加了50%。同时,器件插损为5.72dB,串扰优于-30dB,PDL小于0.5dB。

关键词：波分复用阵列波导光栅带宽

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基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究

基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究

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第五届全国光子学大会

作者：杨建义唐衍哲王文辉贾科淼江晓清李铁吴亚明王跃林浙江大学信息与电子工程学系杭州210027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 浙江大学信息与电子工程学系杭州210027

利用硅刻蚀技术，包括干法刻蚀、湿法各向异性刻蚀、或是干湿相结合，可以制作出实现光波导弯曲的具有低插入损耗的集成微镜。而将集成波导微镜应用于集成光子器件，将可以获得具有紧凑结构的器件。文中探讨了集成微镜的制作，并将集成... 详细信息

利用硅刻蚀技术，包括干法刻蚀、湿法各向异性刻蚀、或是干湿相结合，可以制作出实现光波导弯曲的具有低插入损耗的集成微镜。而将集成波导微镜应用于集成光子器件，将可以获得具有紧凑结构的器件。文中探讨了集成微镜的制作，并将集成微镜应用于多种集成光子器件的输入/输出接引端，还将集成微镜用于阵列波导光栅的制作。

关键词： SOI材料集成光学光波导微镜分路器

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