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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：郭联峰王翊戴正飞段国韬蔡伟平王跃林李铁中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院固体物理研究所安徽合肥 230031

文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最... 详细信息

文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最佳工作温度下(250℃),此微纳融合气体传感器的功耗仅为24mW,响应时间约为2s,对1ppm的乙醇的灵敏度(Rair/Rgas)可达到3.47,有望在安全监控、环境保护等方面得到广泛应用.

关键词：气体传感器制造工艺微型加热器平台二氧化锡薄膜

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高性感荧光传感材料的设计、性能及应用

高性感荧光传感材料的设计、性能及应用

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中国化学会第30届学术年会

作者：贺庆国付艳艳徐炜范天驰姚俊俊高宜逊程建功传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海市长宁路865号200050

危险化学品如爆炸物、神经毒剂和毒品等影响国家和社会安全，这些危险品的探测要求灵敏、快速和专一性识别以适应现场检测需要。近年来，荧光传感技术尤其由于其灵敏度高、选择性好、响应快等优点受到广泛关注。

关键词：

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MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计

MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计

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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：董培涛李昕欣陈聪夏保佳王跃林封松林李圣怡中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院长沙410073 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院长沙410073

本文针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,... 详细信息

本文针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,确定空占比为0.7左右时,燃料电池的性能最佳.制作器件的测试结果表明采用该优化设计的燃料电池的峰值功率密度高达135 mW/cm2.

关键词：微机械质子交换膜燃料电池自呼吸阴极极板模型优化设计

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拖曳式海洋测量传感器阵列的拓扑结构数据传输总线设计与实现

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无线通信技术 2020年第2期29卷 32-35,40页

作者：齐超金庆辉邹杰简家文宁波大学信息科学与工程学院宁波315211 电子科技大学光电科学与工程学院成都611731 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

本文对拖曳式海洋传感器阵列总线进行分析,提出了一种基于RS-485双绞线并具有拓扑结构的海洋传感器阵列总线。新型海洋传感器阵列总线采用多回路拓扑结构来提高系统的冗余性,采用接力式结构使传输速度不受距离限制,克服了传统串行通信... 详细信息

本文对拖曳式海洋传感器阵列总线进行分析,提出了一种基于RS-485双绞线并具有拓扑结构的海洋传感器阵列总线。新型海洋传感器阵列总线采用多回路拓扑结构来提高系统的冗余性,采用接力式结构使传输速度不受距离限制,克服了传统串行通信总线轮询效率低海洋复杂环境下可靠性不高的缺点。

关键词：传感器阵列多回路接力式总线拓扑结构 RS-485

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基于微球和微柱阵列芯片的乳滴数字PCR定量方法

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传感器与微系统 2017年第5期36卷 16-18页

作者：程祖乐王琨毛红菊夏文薇金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039 上海交通大学医学院附属第九人民医院上海200011

BEAMing是一种基于磁珠表面核酸扩增的乳滴数字聚合酶链反应(PCR)技术,具有很高的灵敏度,然而后续检测目标磁珠比较困难。通过修饰链霉亲和素的聚苯乙烯微球捕获BEAMing实验中生物素修饰的目标磁珠并利用微柱阵列芯片拦截微球,可以达到... 详细信息

BEAMing是一种基于磁珠表面核酸扩增的乳滴数字聚合酶链反应(PCR)技术,具有很高的灵敏度,然而后续检测目标磁珠比较困难。通过修饰链霉亲和素的聚苯乙烯微球捕获BEAMing实验中生物素修饰的目标磁珠并利用微柱阵列芯片拦截微球,可以达到统计磁珠的目的。微柱阵列芯片采用基于尺寸差异的拦截原理。该芯片组装简单成本低,降低了BEAMing技术的磁珠统计难度。利用该方法对不同浓度的特定DNA序列做了检测,验证了该方法的实用性。

关键词：微柱阵列芯片乳滴数字聚合酶链反应微球生物传感器

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一种体域网无线心电监护系统的研制与测试

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现代电子技术 2014年第4期37卷 37-41页

作者：张洹千杜晓薇杨坚卞士平韩雪松李擎金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海 200050 中国科学院上海临床研究中心-生物传感技术临床研究中心上海 200031 中国科学院大学北京100049 上海市徐汇区中心医院上海200031

随着中国老龄化和家庭空巢化的加剧,患有慢性疾病的老人在医院外的健康监护问题变得日益突出。这就需要人们能够设计出有别于传统医疗仪器的新系统,这样的新系统称为体域网系统。论述了体域网无线心电监护系统的设计方案,重点介绍了患... 详细信息

随着中国老龄化和家庭空巢化的加剧,患有慢性疾病的老人在医院外的健康监护问题变得日益突出。这就需要人们能够设计出有别于传统医疗仪器的新系统,这样的新系统称为体域网系统。论述了体域网无线心电监护系统的设计方案,重点介绍了患者系统以及预警系统的构成。患者系统采用便携式心电检测模块来采集患者的心电信号;蓝牙短距无线通信技术用于将实时心电信号传输到智能手机;预警系统能接收患者系统发送的心电信号。最后给出了在医院环境中对系统进行的三项测试结果。

关键词：体域网无线心电监护老龄化智能手机

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微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能

微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：宗登刚王聪和王钻开鲍海飞陆德仁中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室(上海) 香港理工大学应用物理系(香港九龙) 香港理工大学应用物理系(香港九龙) 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室(上海)

介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,... 详细信息

介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.分析了误差的来源及其对实验结果的影响.报道了低应力和标准LPCVD氮化硅薄膜的研究结果.

关键词：微机械微桥法 LPCVD氮化硅杨氏模量残余应力弯曲强度

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电磁驱动电容检测力平衡式微机械陀螺的接口电路

电磁驱动电容检测力平衡式微机械陀螺的接口电路

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：宋朝辉贾孟军李昕欣马广富陈志龙传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海) 控制科学与工程系哈尔滨工业大学(中国哈尔滨) 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海) 控制科学与工程系哈尔滨工业大学(中国哈尔滨)

电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接口电路也比较复杂.这一接口电路从功能上可分为驱动电路和检测电路两个部分:驱动电路的主要功能是使微机... 详细信息

电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接口电路也比较复杂.这一接口电路从功能上可分为驱动电路和检测电路两个部分:驱动电路的主要功能是使微机械陀螺产生在驱动模态固有频率下的振幅稳定的正弦振动;检测电路的主要功能是拾取陀螺所产生的角速度信号.为了提高陀螺的工作宽带和线性度,检测电路采用了力平衡方式.本文从微机械陀螺接口电路的工作原理、传输函数和稳定性等方面分析了这种形式的微机械陀螺的接口电路.并介绍了接口电路中用到的几种主要器件.

关键词：接口电路微机械陀螺电磁驱动电容检测

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MBE材料组分均匀性的表征方法

MBE材料组分均匀性的表征方法

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第十二届全国分子束外延学术会议

作者：张亚光顾溢陈平平张永刚李雪龚海梅中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室上海 200083 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室上海 200083 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海 200050 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室上海 200083

为扩大产量,商业化MBE材料生产通常采用大尺寸、多衬底的生长方式,所面临的均匀性问题十分突出.一方面,对于焦平面探测器等尺寸较大的器件,若不能有效改善均匀性,将极大地限制良品率.另一方面,对于激光器等尺寸较小的器件,材料非均匀性... 详细信息

为扩大产量,商业化MBE材料生产通常采用大尺寸、多衬底的生长方式,所面临的均匀性问题十分突出.一方面,对于焦平面探测器等尺寸较大的器件,若不能有效改善均匀性,将极大地限制良品率.另一方面,对于激光器等尺寸较小的器件,材料非均匀性也会极大影响不同器件的性能均一性.对于外延层与衬底晶格匹配,且禁带宽度差别较大的材料,表征组分均匀性的可能方法有室温光荧光(RTPL）测量,高分辨X射线衍射(HRXRD）ω/2θ扫描.采用DCAP600MBE系统在GaAs衬底上生长了4英寸Al0.28Ga0.72As外延片，分别使用光栅光谱仪和HRXRD测量了样品的荧光光谱和ω/2θ曲线，获得了组分均匀性结果。

关键词：分子束外延半导体铝砷化镓组分均匀性室温光荧光法 X射线衍射法

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化学计量学方法在近红外光谱分析中的应用研究

化学计量学方法在近红外光谱分析中的应用研究

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中国化学会第30届学术年会

作者：王丽丽庄新港陈琦吴雪原方家熊山东大学光学高等研究中心山东济南250100 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 山东大学光学高等研究中心山东济南250100 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 山东大学信息科学与工程学院山东济南250100 国家茶叶及农产品检测重点实验室(黄山) 安徽黄山245000

基于化学计量学方法和新型探测器的快速发展，近红外光谱分析技术被广泛的应用工农业生产、环境保护及安全等领域，为物体成分的快速无损检测提供了基础。

关键词：化学计量学近红外光谱

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