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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
433 条 记 录,以下是411-420 订阅
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压阻式高量程微加速度计的冲击校准
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传感技术 2003年 第11期22卷 78-80页
作者: 郇勇 张泰华 杨业敏 王钻开 陆德仁 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 北京100080 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家实验室 上海200050
采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn。芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约40000gn的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情... 详细信息
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曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计
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机械强度 2003年 第2期25卷 148-150,214页
作者: 董健 李昕欣 王跃林 张鲲 宋朝晖 浙江大学信息与电子工程系 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ,两个完全... 详细信息
来源: 评论
建立DNA芯片技术检测丙型肝炎病毒基因型及其初步应用
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中华实验和临床病毒学杂志 2003年 第4期17卷 375-377页
作者: 毛红菊 顾士民 赵建龙 刘江霞 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050 上海市传染病总医院 复旦大学医学院分子病毒学卫生部重点实验室
目的建立一种简便、快速的以DNA芯片技术为基础的丙型肝炎病毒基因分型检测方法。方法 根据丙型肝炎病毒HCV的基因序列信息设计分型探针,将采用荧光标记的寡核苷酸引物所扩增的丙型肝炎病毒基因产物与结合在芯片上的特异性探针进行快速... 详细信息
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悬臂式RF MEMS开关的设计与研制
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Journal of Semiconductors 2003年 第11期24卷 1190-1195页
作者: 郭方敏 赖宗声 朱自强 贾铭 初建朋 范忠 朱荣锦 戈肖鸿 杨根庆 陆卫 华东师范大学信息科学和技术学院 上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200083
介绍了一种制作在低阻硅 (3~ 8Ω· cm)上的悬臂式 RF MEMS开关 .在 Cr/ Au CPW共面波导上 ,金 /Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂 ,静电受激作为开关机理 .当开关处于“关断”态 ,其隔离度小于- 35 d B(2 0~ 4 0 GHz... 详细信息
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MEMS传感器性能提高相关技术研究
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仪表技术传感 2003年 第1期 8-9,25页
作者: 黄树森 李昕欣 王跃林 鲍敏杭 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 复旦大学微电子学系 上海200433
在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构。
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大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作
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功能材料与器件学报 2003年 第3期9卷 313-318页
作者: 王浙辉 李铁 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57... 详细信息
来源: 评论
大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响
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工程设计学报 2003年 第5期10卷 271-274页
作者: 董林玺 焦继伟 陈永 王跃林 浙江大学信息与电子工程学系 浙江杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器,并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究.测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504.这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式,它... 详细信息
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栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究
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功能材料与器件学报 2003年 第4期9卷 423-428页
作者: 付盛荣 熊斌 车录锋 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响。在0.01-200°/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01°/s的输入角速度变化。考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的... 详细信息
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传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响
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功能材料与器件学报 2003年 第2期9卷 161-164页
作者: 王钻开 陆德仁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
研究了硅微机械高g(g为重力加速度)加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的影响。传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰。采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高g加速度传感器,进... 详细信息
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微机械光读出热成像系统
微机械光读出热成像系统
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室(上海)
本文提出了一种新颖的非致冷热成像系统—光读出热成像系统,其焦平面阵列是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成的可动微镜阵列,红外热效应、双材料梁的双金属片效应以及光调制原理是该系统的工作基础.采用体硅MEMS技术,成功地制作出... 详细信息
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