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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
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偏置电压极性对力反馈电容式微加速度计特性的影响分析
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技术通讯 2004年 第12期14卷 67-72页
作者: 董林玺 车录锋 王跃林 浙江大学信息学院信电系,杭州311027//中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050
对电容式加速度计,为测量其电容的变化,通常需要带直流偏置的交流电压信号来驱动。驱动信号产生的静电力有时会干扰器件的测量和正常工作。文章中定量分析了带有电压反馈的双边驱动信号对器件特性的影响。对于这种驱动方式,正-负和正... 详细信息
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带逆流进气结构的微型氦离子化检测器研究
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分析化学 2021年 第11期49卷 1816-1823页
作者: 刘启勇 冯飞 陈泊鑫 赵阳洋 赵斌 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院大学
基于微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)技术设计并制作了带有逆流进气结构的微型氦离子化检测器。稳态流场仿真结果表明,逆流进气结构在激发电极对之间形成一个高气压的"准零流速区",即激发电极之间包含高... 详细信息
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低电压下静电力驱动的数字微流控芯片
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光学精密工程 2011年 第1期19卷 97-102页
作者: 刘翔 皋华敏 李铁 周萍 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计并制作了一种基于静电力驱动的数字微流控芯片,用于构建芯片实验室。介绍了静电力驱动原理和芯片制作工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。该芯片采用硅作衬底,氧化硅作绝缘层,TiW/Au为驱动电极阵列,氮化硅作介质层,碳氟聚合物为疏水... 详细信息
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多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制
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光学精密工程 2011年 第8期19卷 1816-1823页
作者: 李四华 徐静 龙亮 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多... 详细信息
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无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性
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光学精密工程 2012年 第8期20卷 1772-1781页
作者: 翟雷应 徐静 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区... 详细信息
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低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究
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光电子.激光 2011年 第7期22卷 965-971页
作者: 翟雷应 徐静 李四华 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种新颖的光学腔与静电驱动器分离的Fabry-Pérot(F-P)可调谐滤波器。从光学设计、MEMS结构设计、制造工艺与器件测试等开展了F-P可调谐滤波器的研究,成功制备了工作在以1550 nm波长为中心、调谐... 详细信息
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数字递变异变赝衬底上2.6μm In0.83Ga0.17As/InP光电探测器的性能改进(英文)
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红外与毫米波学报 2019年 第3期38卷 275-280页
作者: 师艳辉 杨楠楠 马英杰 顾溢 陈星佑 龚谦 张永刚 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200083 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室 上海200083
研究了In0. 83Al0. 17As /In0. 52Al0. 48As 数字递变异变缓冲层结构( DGMB)的总周期数对2. 6 μm 延伸波长In0. 83Ga0. 17As 光电二极管性能的影响.实验表明,在保持总缓冲层厚度不变的情况下,通过将在InP 衬底上生长的In0. 83Al0. 17As... 详细信息
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有机半导体荧光传感材料及危险化学品检测应用
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中国科学:化学 2020年 第1期50卷 92-107页
作者: 徐炜 贺庆国 程建功 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
荧光传感材料作为有机半导体光电功能材料的重要组成之一,以其灵敏度高、选择性强、响应速度快等优势,成为当前化学传感领域的一个研究热点,近年来在反恐、禁毒等领域有着广泛的应用.然而目前,对荧光敏感材料各项性能参数的设计与优化,... 详细信息
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微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响
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光学精密工程 2007年 第5期15卷 699-705页
作者: 杨广立 冯飞 熊斌 王跃林 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
研究了具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件的机械特性对其性能的影响。通过理论计算和ANSYS模拟,分析了器件的热-机械灵敏度,对器件的结构参数进行了优化,并得到其热-机械灵敏度为2.14×10-3rad/K;从器... 详细信息
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基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感
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光电子.激光 2015年 第3期26卷 414-421页
作者: 王小伟 钟少龙 徐静 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院 上海200050
提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器,并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造,形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系,利用MEMS技术成功制作出了加... 详细信息
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