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  • 432 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室"
432 条 记 录,以下是61-70 订阅
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基于MEMS微镜的可调光学衰减器
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光电子.激光 2012年 第12期23卷 2287-2291页
作者: 刘英明 徐静 钟少龙 翟雷应 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
设计并制作了一种基于微光机电系统(MEMS)微镜的可调光衰减器(VOA)。其中微镜的谐振频率为11.26kHz,采用垂直梳齿驱动器驱动。微镜采用体硅微加工工艺在绝缘体上硅(SOI)片上制作。采用制作的微镜和双光纤准直器装配成VOA,衰减器在扭转... 详细信息
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基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作
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传感技术学报 2008年 第2期21卷 280-283页
作者: 肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法。该传感器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构。结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合。尤其首次在载... 详细信息
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基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感
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中国激光 2014年 第3期41卷 102-109页
作者: 钟少龙 龙亮 李明 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 微系统技术重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049 中船重工远舟(北京)科技有限公司 北京100861
为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化进行检测。MEMS光纤加速度... 详细信息
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具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制
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光学精密工程 2009年 第8期17卷 1878-1883页
作者: 孙立宁 陈涛 邵兵 李昕欣 哈尔滨工业大学机器人研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室
为使夹持器小型集成化且夹持力可控,采用体硅加工技术研制了一种基于单晶硅的、具有微力检测功能的新型四臂式MEMS微夹持器。以压阻检测技术为基础,利用MEMS侧面压阻刻蚀工艺将力传感器集成在微夹持器的夹持臂末端,实现夹持力的微力检... 详细信息
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基于溶出伏安法的铋微阵列电极检测饮料中的铅和镉
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分析化学 2011年 第11期39卷 1748-1752页
作者: 刘德盟 金妍 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 中国科学院研究生院
建立了基于溶出伏安法的铋微阵列电极检测饮料中重金属的方法。该传感器采用三电极体系,铋微阵列电极为工作电极,铂薄膜电极为对电极,Ag/AgCl电极为参比电极。铋是一种低毒的重金属,采用铋作为反应物质可以使检测过程更加安全。微阵列... 详细信息
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利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究
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机械强度 2009年 第6期31卷 1019-1023页
作者: 鲍海飞 宋朝辉 李昕欣 刘民 张鲲 陆德仁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出一种高量程加速度传感器横向响应的测试方法——波形可识别的比较法,对高量程加速度传感器非敏感方向(横向)的输出特性进行测试研究实验中采用自由落杆的方法,将已经标定过的传感器和带测试的传感器以背对背的方式进行安装,通过... 详细信息
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以金属有机骨架材料ZIF-8为固定相的硅基微气相色谱柱
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高等学校化学学报 2021年 第6期42卷 1736-1741页
作者: 赵阳洋 刘启勇 陈泊鑫 赵斌 周海梅 李昕欣 郑丹 冯飞 上海应用技术大学化学与环境工程学院 上海201418 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
基于微机电技术制备了一种含有椭圆微柱阵列的半填充柱;采用水热法合成了一种金属有机骨架材料ZIF-8,将其涂敷在微色谱柱的微沟道内壁上作为固定相.在30℃恒温下对芯片的分离性能进行了测试,结果表明,以ZIF-8为固定相的微色谱柱可以在7... 详细信息
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考虑微加工误差的微机械陀螺的健壮性优化
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航空学报 2007年 第6期28卷 1499-1505页
作者: 姜涛 善盈盈 王安麟 焦继伟 同济大学机械工程学院 上海200092 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
为减小微加工误差对音叉振动式微机械陀螺设计性能的影响、提高其批量性能稳定性,以对其加工后性能变异影响最大的若干关键参数为设计变量,在分析了几何约束条件、模态性能约束条件、基于模态的加工灵敏度约束条件的基础上建立了微机械... 详细信息
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MEMS悬臂梁式芯片测试探卡
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传感技术学报 2008年 第3期21卷 420-423页
作者: 汪飞 李昕欣 郭南翔 封松林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
针对集成电路圆片级测试需要,利用MEMS技术设计制作了一种悬臂梁式芯片测试探卡。每个悬臂梁在设计时可以承受25mN的探测力,同时使探针针尖产生20μm以上的位移。通过独特的双面金属覆盖设计,电学测试信号可以成功地从位于硅悬臂梁下方... 详细信息
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基于Duffing系统的谐振式微悬臂梁传感器微弱谐振信号检测
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机械工程学报 2020年 第13期56卷 50-59页
作者: 戴荣 于海涛 王权 江苏大学机械工程学院 镇江212013 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
研究了基于Duffing振子系统的微弱信号检测在谐振式微悬臂梁传感器中的应用。根据待测信号频率的不同,通过时间尺度变换建立了任意频率下的Duffing振子数学模型。利用RHR改进算法求解最大Lyapunov指数,并确定系统相变临界阈值,通过监测... 详细信息
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