检索结果-内蒙古大学图书馆

科技通讯（上海） 2004年第1期10卷 54-58页

作者：杨艺榕刘文平王跃林吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试... 详细信息

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB。

关键词：各向异性腐蚀深反应离子刻蚀 MEMS 光开关微机械静电耦合分析有限元

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先进体硅机械加工技术——从微米到纳米

先进体硅机械加工技术——从微米到纳米

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第一届长三角地区传感技术学术交流会

作者：李昕欣王跃林李铁杨恒焦继伟传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所

介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-DRIE深刻... 详细信息

介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-DRIE深刻蚀工艺实现的多种先进MEMS结构和开发的传感器。充分结合硅材料的各向异性和加工技术的高度选择性,体硅加工技术可以有力延伸到制造具有纳米特征尺度的纳机电器件。本文以集成探针和纳米硅谐振梁的体硅加工为例,表明了体硅加工技术的能力和发展前景。

关键词：机械加工技术

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一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器

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功能材料与器件学报 2004年第3期10卷 355-358页

作者：韩晓峰吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院研究生院北京100039

设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率。该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB。

关键词：可调谐光衰减器双脊型波导 SOI材料光网络无源光器件光波分复用系统

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一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关

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功能材料与器件学报 2004年第3期10卷 350-354页

作者：黄蓉焦继伟王跃林传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院研究生院北京100039

提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径。在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000... 详细信息

提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径。在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000μm×600μm×300μm的射频开关,驱动电压为35V,在射频信号频率为50MHz到10GHz的范围内,该开关的插入损耗低于2dB,隔离度高于40dB。

关键词：微电子机械系统射频开关共面波导微机械

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采用MMI结构研制具有平顶谱特性的AWG

采用MMI结构研制具有平顶谱特性的AWG

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中国光学学会2004年学术大会

作者：贾科淼唐衍哲李柏阳杨建义江晓清吴亚明王跃林浙江大学信息科学与电子工程系中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

在AWG输入端设置多模干涉(MMI)耦合器,我们在SiO2光波导材料上设计并制作了具有平顶谱特性的1×8阵列波导光栅(AWG)。本文首先简要介绍了采用MMI结构展宽AWG滤波谱线的原理,给出了数值模拟结果。通过对所研制的器件进行测试,并与常... 详细信息

在AWG输入端设置多模干涉(MMI)耦合器,我们在SiO2光波导材料上设计并制作了具有平顶谱特性的1×8阵列波导光栅(AWG)。本文首先简要介绍了采用MMI结构展宽AWG滤波谱线的原理,给出了数值模拟结果。通过对所研制的器件进行测试,并与常规AWG比较,结果表明,器件的1dB带宽由0.22nm增为0.43nm,增加近100%,3dB带宽由0.39nm增为0.72nm,增加85%。而20dB带宽仅由1.04nm增为1.56nm,只增加了50%。同时,器件插损为5.72dB,串扰优于-30dB,PDL小于0.5dB。

关键词：波分复用阵列波导光栅带宽

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基于接触式极化法的电光聚合物光调制器研究

基于接触式极化法的电光聚合物光调制器研究

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中国光学学会2004年学术大会

作者：杨建义江晓清李锡华周强王明华王跃林浙江大学信息与电子工程系中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

本文对有机聚合物电光材料的接触式极化法,以及相应的光调制器件进行了研究。利用接触式极化法具有的极化区域选择性、极化方向性控制等特点,进行了光偏振调制器、MZ型光推挽强度调制器、高线性度Y分支定向耦合器型光强度调制器、光圆... 详细信息

本文对有机聚合物电光材料的接触式极化法,以及相应的光调制器件进行了研究。利用接触式极化法具有的极化区域选择性、极化方向性控制等特点,进行了光偏振调制器、MZ型光推挽强度调制器、高线性度Y分支定向耦合器型光强度调制器、光圆偏振调制器等的研制工作。

关键词：集成光学有机聚合物光波导电光效应电极化光调制器

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基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究

基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究

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第五届全国光子学大会

作者：杨建义唐衍哲王文辉贾科淼江晓清李铁吴亚明王跃林浙江大学信息与电子工程学系杭州210027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 浙江大学信息与电子工程学系杭州210027

利用硅刻蚀技术，包括干法刻蚀、湿法各向异性刻蚀、或是干湿相结合，可以制作出实现光波导弯曲的具有低插入损耗的集成微镜。而将集成波导微镜应用于集成光子器件，将可以获得具有紧凑结构的器件。文中探讨了集成微镜的制作，并将集成... 详细信息

利用硅刻蚀技术，包括干法刻蚀、湿法各向异性刻蚀、或是干湿相结合，可以制作出实现光波导弯曲的具有低插入损耗的集成微镜。而将集成波导微镜应用于集成光子器件，将可以获得具有紧凑结构的器件。文中探讨了集成微镜的制作，并将集成微镜应用于多种集成光子器件的输入/输出接引端，还将集成微镜用于阵列波导光栅的制作。

关键词： SOI材料集成光学光波导微镜分路器

来源：评论

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用于光传感器的光波导等离子体表面波效应分析

用于光传感器的光波导等离子体表面波效应分析

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中国光学学会2004年学术大会

作者：李广波杨建义江晓清李锡华王明华王跃林浙江大学信息与电子工程学系杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

本文针对基于光波导的金属等离子体表面波传感器的特征需要，分析了金属层与缓冲层的参数对灵敏度的影响，由此可以优化基于光波导的SPW 传感器的结构参数。分析表明，缓冲层的厚度值的选取对器件灵敏度有着大的影响。

关键词：传感器等离子体表面波光波导灵敏度

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阵列波导光栅的研制及其发展

阵列波导光栅的研制及其发展

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第五届全国光子学大会

作者：杨建义江晓清贾科淼唐衍哲王跃林王明华浙江大学信息与电子工程学系杭州210027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 浙江大学信息与电子工程学系杭州210027

本文首先报道所研制的具有传统结构的AWG，包括具有Gauss通带的AWG与采用多模干涉耦合器进行通带平坦化的AWG。利用硅刻蚀技术制作集成光波导微镜，构成波导阵列，提出并研制了具有集成微镜的AWG，这种AWG可以具有紧凑的结构与灵活的设... 详细信息

本文首先报道所研制的具有传统结构的AWG，包括具有Gauss通带的AWG与采用多模干涉耦合器进行通带平坦化的AWG。利用硅刻蚀技术制作集成光波导微镜，构成波导阵列，提出并研制了具有集成微镜的AWG，这种AWG可以具有紧凑的结构与灵活的设计。进一步地，在一维AWG基础上，提出并设计了二维AWG，这为具有大规模通道数的光波分复用/解复用器的实现提供了一条思路。

关键词：集成光学光波导光波分复用阵列波导光栅

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一种栅型结构微机械陀螺的研究

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中国机械工程 2003年第3期14卷 184-186页

作者：熊斌车录锋王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作。新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼 ,且几乎相同 ,惯性质量块为栅型结构 ,由弹性悬臂梁支撑 ;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方。分析了新型陀螺的工作... 详细信息

介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作。新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼 ,且几乎相同 ,惯性质量块为栅型结构 ,由弹性悬臂梁支撑 ;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方。分析了新型陀螺的工作特性 ,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响。实验结果表明 ,在大气状态下 ,新型栅结构微机械陀螺的驱动和敏感检测品质因子 Q均可达到

关键词：栅型结构微机械陀螺动力学方程角速度传感器微机械加工技术

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