检索结果-内蒙古大学图书馆

华东师范大学学报（自然科学版） 2016年第2期 144-152页

作者：吴思敏贾春平刘莉芬郜晚蕾景奉香金庆辉张红锋赵建龙华东师范大学生命科学学院上海200241 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

通过制备量子点荧光检测探针，构建了一种基于量子点探针和免疫磁珠的蛋白质检测方法，实现了对蛋白肿瘤标志物癌胚抗原（carcinoembryonic antigen，cEA）的高灵敏定量检测．在该检测体系中，若存在有靶标蛋白，其与量子点检测探针以... 详细信息

通过制备量子点荧光检测探针，构建了一种基于量子点探针和免疫磁珠的蛋白质检测方法，实现了对蛋白肿瘤标志物癌胚抗原（carcinoembryonic antigen，cEA）的高灵敏定量检测．在该检测体系中，若存在有靶标蛋白，其与量子点检测探针以及捕获探针之间会发生免疫反应形成三明治结构，利用磁力分离器对免疫复合物进行富集后，通过检测富集在磁珠表面的量子点荧光信号，可实现对靶标蛋白的定量．该方法的检测灵敏度为38pg／mL，线性范围为0．39～50ng／mL，临床质控样本检验结果表明，该方法准确度高，可重复性好，可应用于临床样本检测．该量子点探针检测体系具有灵敏度高、特异性好、样品消耗量低等优点，在疾病早期诊断方面具有广阔的应用前景．

关键词：量子点免疫荧光分析免疫磁珠肿瘤标志物

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低热机械噪声的梳齿式加速度计

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仪表技术与传感器 2011年第10期 21-23页

作者：杨丹琼徐静钟少龙李四华吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039

文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计。采用体硅加工工艺,利用SOI材料30μm顶层硅制造垂直梳齿,梳齿数目达200对,提高了初始电容,能够充分利用尺寸空间,获得具有低噪特性的加速度计。该种形式的加速度计不需要真空封装,也不... 详细信息

文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计。采用体硅加工工艺,利用SOI材料30μm顶层硅制造垂直梳齿,梳齿数目达200对,提高了初始电容,能够充分利用尺寸空间,获得具有低噪特性的加速度计。该种形式的加速度计不需要真空封装,也不需要制作阻尼孔就能满足低噪声要求。器件采用三层材料,利用硅-玻璃键合和BCB键合实现,能够有效提高成品率,并给出了成功流片后得到的SEM照片。最后,对器件进行了频谱响应曲线的测试,测试得到器件在非真空封装及无阻尼孔情况下Q值高达156.95。测试结果表明该器件的设计简化了制造工艺,降低了成本,同时得到提高了Q值,能够降低热机械噪声。

关键词：低噪声加速度计体硅工艺梳齿电容滑膜阻尼

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用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计

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半导体技术 2009年第12期34卷 1162-1165页

作者：李金鹏焦继伟宓彬伟张颖王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100049

给出了一种用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计,针对MEMS惯性器件大多采用电容量输出等特点,设计了一个低噪声运算放大器,利用该运放,设计了一种基于开关电容的电荷转移电路来将电容量转换为电压量,以便后续电路处理。采用了相关双采... 详细信息

给出了一种用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计,针对MEMS惯性器件大多采用电容量输出等特点,设计了一个低噪声运算放大器,利用该运放,设计了一种基于开关电容的电荷转移电路来将电容量转换为电压量,以便后续电路处理。采用了相关双采样(CDS)技术,较大地减少了电路和MEMS惯性器件的1/f噪声、热噪声,抑制了零漂。采用HHNEC 0.35μmCMOS工艺制造,面积为1 mm×2 mm,与MEMS器件封装在一起,并进行了实际测试,结果表明,该读出电路基本满足要求,并具有较低的噪声。

关键词：低噪声微电子机械系统相关双采样电荷转移惯性器件

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灵敏度可调的光学读出非制冷热像元设计

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激光与红外 2015年第2期45卷 158-162页

作者：周玉修程融刘坚强曾玮孙光厚李铁九江学院理学院江西九江332005 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

设计了一种可见光反射型光学读出非制冷热像元结构。理论分析表明热像元的热-机械灵敏度达到0.043deg·K-1,在热像元面积比已有报道减小75%的情况下,热-机械灵敏度反而提高至少79%。通过改变弯折梁底层金膜的面积来调节热像元的灵敏... 详细信息

设计了一种可见光反射型光学读出非制冷热像元结构。理论分析表明热像元的热-机械灵敏度达到0.043deg·K-1,在热像元面积比已有报道减小75%的情况下,热-机械灵敏度反而提高至少79%。通过改变弯折梁底层金膜的面积来调节热像元的灵敏度,使其可在2.36×10-6rad·m2·W-1和9.21×10-6rad·m2·W-1之间变化。ANSYS仿真结果和理论结果吻合较好,验证了设计的正确性。

关键词：成像系统非制冷红外热像元光学读出灵敏度响应时间

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反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响

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半导体技术 2011年第1期36卷 26-30页

作者：戚玉婕车录锋孙腾王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100049

高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应。首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建... 详细信息

高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应。首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建立了带有延时的系统模型,进一步结合实际PCB板的测量,分析了不同反馈补偿参数下的阶跃响应和幅频响应曲线。实验结果表明,合适的反馈补偿参数能有效地降低系统Q值,改善动态响应。最后得出了该电容式加速度计在闭环系统下的较优比例微分参数的选择策略。

关键词：电容式加速度计反馈补偿参数 Q值微机械系统 MATLAB

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一维纳米材料组装技术的研究进展

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材料导报 2013年第5期27卷 6-13,28页

作者：刘梅周林峰彭艳吴智政上海大学机电工程与自动化学院上海200072 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

分别分析和讨论了纳米线阵列直接有序生长法、随机组装法和不同驱动机制的组装法,展望了其下一步的研究方向。总体来说,直接有序生长法适用的材料范围受限制,对生长环境要求严格;随机组装法成功率比较低;而将纳米线合成和组装分立并加... 详细信息

分别分析和讨论了纳米线阵列直接有序生长法、随机组装法和不同驱动机制的组装法,展望了其下一步的研究方向。总体来说,直接有序生长法适用的材料范围受限制,对生长环境要求严格;随机组装法成功率比较低;而将纳米线合成和组装分立并加入驱动机制后,适用的材料范围广泛,组装效果提高。其中,液体剪切力驱动组装法、介电泳法、接触打印法和碾压法的效果最突出,都取得了很好的实验结果。未来的努力方向包括:如何更精确地控制纳米线阵列的位置、密度等参数,如何建立纳米线阵列与电路系统的电联接等。

关键词：一维纳米材料纳米线纳米管排列组装驱动机制

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建立DNA芯片技术检测丙型肝炎病毒基因型及其初步应用

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中华实验和临床病毒学杂志 2003年第4期17卷 375-377页

作者：毛红菊顾士民赵建龙刘江霞中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050 上海市传染病总医院复旦大学医学院分子病毒学卫生部重点实验室

目的建立一种简便、快速的以DNA芯片技术为基础的丙型肝炎病毒基因分型检测方法。方法根据丙型肝炎病毒HCV的基因序列信息设计分型探针,将采用荧光标记的寡核苷酸引物所扩增的丙型肝炎病毒基因产物与结合在芯片上的特异性探针进行快速... 详细信息

目的建立一种简便、快速的以DNA芯片技术为基础的丙型肝炎病毒基因分型检测方法。方法根据丙型肝炎病毒HCV的基因序列信息设计分型探针,将采用荧光标记的寡核苷酸引物所扩增的丙型肝炎病毒基因产物与结合在芯片上的特异性探针进行快速杂交,通过扫描荧光强度值定性和定量判定结果。结果应用本法对65例患者血清中的丙型肝炎病毒核酸进行基因分型,对部分标本检测结果与测序法进行对比,吻合率达100％,说明检测结果有很高的特异性。结论我们所用DNA芯片技术检测HCV RNA及其基因分型,简便、快速、特异性好、灵敏度高、结果判定指标客观,可望在临床推广使用。

关键词： DNA芯片丙型肝炎病毒基因型 HCV基因传染病

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大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作

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功能材料与器件学报 2009年第1期15卷 7-14页

作者：明安杰李铁王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院北京100039

文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试。梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现侧向稳定因子S,随支撑梁刚度比ky/kx以及梳齿间隙g的增加而... 详细信息

文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试。梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现侧向稳定因子S,随支撑梁刚度比ky/kx以及梳齿间隙g的增加而增加,随梳齿交叠长度的增加而减小;而驱动器的驱动电压随梳齿间隙的增加而升高。在以上研究的基础上,提出了一种采用小间隙无初始交叠、长度线性递增梳齿结构和高纵/横向刚度比的预弯曲支撑梁结构的梳齿驱动器。器件测试结果表明,驱动电压71V时,可以达到100μm的驱动位移,进一步测试表明,驱动器的基模共振频率为573Hz,Q值为35.88。

关键词： MEMS 梳齿驱动器侧向稳定性预弯曲梁

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气敏材料表征的悬臂梁微称重温控系统设计

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仪表技术与传感器 2021年第12期 81-86页

作者：陆天海费超徐大诚于海涛苏州大学微纳传感技术研究中心江苏苏州215006 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

针对传统气敏材料表征实验中微悬臂梁称重装置存在温控系统体积大、能效比低及升降温速度慢等问题。文中设计了采用双层帕尔贴结构的微型温控腔体,拓宽了温度控制范围,减小了温控腔体体积。同时提出高精度自校准温度测量电路和模糊自适... 详细信息

针对传统气敏材料表征实验中微悬臂梁称重装置存在温控系统体积大、能效比低及升降温速度慢等问题。文中设计了采用双层帕尔贴结构的微型温控腔体,拓宽了温度控制范围,减小了温控腔体体积。同时提出高精度自校准温度测量电路和模糊自适应PID控制算法,提高了温度控制速度和精度。实验结果表明:该系统控温范围可达-40~180℃,温控稳定性为±0.05℃,最大升温速度为40℃/min,最大降温速度为-20℃/min,完全满足基于微悬臂梁的气敏材料吸脱附性能分析对温度变化的要求。

关键词：气敏材料微悬臂梁帕尔贴温控系统自校准电路模糊PID

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带温度补偿结构的高灵敏度光读出红外成像阵列器件设计

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功能材料与器件学报 2009年第1期15卷 46-52页

作者：李珂冯飞熊斌王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院北京100039

本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响。理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此... 详细信息

本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响。理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此外,ANSYS模拟仿真的结果验证了该设计能抑制周围环境温度波动对器件红外目标探测的影响。

关键词：光读出红外成像阵列器件热-机械灵敏度噪声等效温差温度补偿

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