检索结果-内蒙古大学图书馆

光散射学报 2024年第3期36卷 290-304页

作者：薛兴梅张莉丽罗枭周琳张先彪陈昌上海大学微电子学院上海201800 上海近观科技有限责任公司上海200444 上海交通大学医学院附属瑞金医院医学芯片研究所上海200025 上海微技术工业研究院上海201800 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

近年来,拉曼光谱以其快速无损、分子特异性高、灵敏度高等特点在材料科学、生物医学和环境监测等领域得到了广泛应用,成为光谱分析的重要工具。然而,传统拉曼光谱仪由于尺寸庞大、成本昂贵而难以适应许多特殊应用场景,因此,人们对于微... 详细信息

近年来,拉曼光谱以其快速无损、分子特异性高、灵敏度高等特点在材料科学、生物医学和环境监测等领域得到了广泛应用,成为光谱分析的重要工具。然而,传统拉曼光谱仪由于尺寸庞大、成本昂贵而难以适应许多特殊应用场景,因此,人们对于微型化、低成本、高性能拉曼光谱仪的需求日益增加。硅基光电子技术的进步为拉曼光谱仪的微型化带来了新的发展机遇,使得芯片级的拉曼光谱仪成为了可能。本文对拉曼光谱仪及其微型化的发展历程进行了综述,同时,讨论了部分具有拉曼应用潜力的片上光谱仪,为已有拉曼光谱仪的微型化及微型化光谱仪的拉曼应用探究提供重要的参考,并推动技术与应用的共同发展和不断创新。

关键词：拉曼光谱仪光谱检测微型化硅基光电子片上集成

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智能家居与电器用先进传感器

智能家居与电器用先进传感器

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2019《家电科技》学术年会

作者：于海涛李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

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基于纸基印迹预富集的痕量镉电化学传感器

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传感器与微系统 2024年第3期43卷 47-51页

作者：杨洋春胡敬芳肖疏雨宋钰李延生高国伟北京信息科技大学自动化学院北京100192 北京信息科技大学传感器重点实验室北京100101 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器联合国家重点实验室上海200050

重金属镉离子(Cd(Ⅱ))是水体质量评价的重要指标之一,本文提出一种基于纸基印迹预富集的痕量镉电化学传感器构建方法,将离子印迹技术、丝网印刷技术、蜡印法和电化学还原有机结合,合成纸基Cd(Ⅱ)印迹聚合物膜(Cd(Ⅱ)-IIP@paper),获得改... 详细信息

重金属镉离子(Cd(Ⅱ))是水体质量评价的重要指标之一,本文提出一种基于纸基印迹预富集的痕量镉电化学传感器构建方法,将离子印迹技术、丝网印刷技术、蜡印法和电化学还原有机结合,合成纸基Cd(Ⅱ)印迹聚合物膜(Cd(Ⅱ)-IIP@paper),获得改性后的纸基电极(rGO/SPCE@paper)。通过优化石墨烯沉积时间、预富集时间、模板离子洗脱时间等实验条件,发现在5~100μg/L浓度范围内Cd(Ⅱ)溶出峰电流与浓度表现出良好的线性关系,检出限为0.91μg/L(S/N=3)。结果表明:Cd(Ⅱ)-IIP@paper具有较好的重复性和稳定性,制备的电化学传感器表现出良好的选择性,将其应用于实际水样中Cd(Ⅱ)的检测,回收率在94.0%~104.4%之间,具有较强的实用价值。

关键词：纸基离子印迹聚合物预富集电化学传感器水质痕量镉离子检测

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一种在线式超低量程浊度高精度测量传感器研制

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无线通信技术 2022年第1期31卷 30-35页

作者：管轶华项志强郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院宁波315211 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

本文基于浊度90°散射检测原理,设计并制备了在线式超低量程浊度检测传感器。采用发散角为±4°、波长为850nm的高亮红外LED作为光源,以LED前端透镜结构替代原传感器所需光源准直结构,降低传感器复杂度、缩小体积并提高稳定... 详细信息

本文基于浊度90°散射检测原理,设计并制备了在线式超低量程浊度检测传感器。采用发散角为±4°、波长为850nm的高亮红外LED作为光源,以LED前端透镜结构替代原传感器所需光源准直结构,降低传感器复杂度、缩小体积并提高稳定性;采用灵敏度高、噪声低、体积小的硅光电倍增管作为光敏探测元件;配合所设计的后端微弱信号采集、处理电路对浊度信号进行准确采集。经检测,传感器的在0-1NTU范围内线性度达0.999,检测限低至0.01NTU,实现在线式浊度检测传感器具备超低量程的同时,具有小型化、易集成的特点,可应用于浊度指标的微量在线监测。

关键词：在线式超低量程浊度测量小型集成化微弱信号检测

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单晶硅杨氏模量的温度特性

单晶硅杨氏模量的温度特性

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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：姚邵康徐德辉蒋万里熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海 200050 中国科学院大学北京 10049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海 200050

文中基于杨氏模量随温度的变化是源于晶格热膨胀的机理,并结合描述晶格热膨胀与定容比热关系的Grüneisen关系式,本论文理论推导了单晶硅杨氏模量随温度变化的表达式.通过理论模型计算了单晶硅沿、、晶向的杨氏模量在0K～1300K温度... 详细信息

文中基于杨氏模量随温度的变化是源于晶格热膨胀的机理,并结合描述晶格热膨胀与定容比热关系的Grüneisen关系式,本论文理论推导了单晶硅杨氏模量随温度变化的表达式.通过理论模型计算了单晶硅沿<100>、<110>、<111>晶向的杨氏模量在0K～1300K温度范围内随温度的变化,以及杨氏模量的温度系数.理论计算的杨氏模量和杨氏模量的温度系数与文献报道的实验数据吻合.理论计算结果表明单晶硅杨氏模量在绝对零度附近服从T4定律,在高温下随温度线性减小;尽管单晶硅杨氏模量是各项异性,但是杨氏模量的温度系数是各项同性,杨氏模量温度系数随温度的变化趋势和定容比热一致,在绝对零度附近服从T3定律,在高温下逐渐趋于定值:-78ppm/K.

关键词：半导体材料单晶硅杨氏模量温度特性

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集成式多参数水质监测光学传感器研制

集成式多参数水质监测光学传感器研制

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2016中国环境科学学会学术年会

作者：刘思乡范卫华赵辉王帅超金庆辉中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京 100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海师范大学上海200234 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海师范大学上海200234 中国科学院大学北京 100049

水质监测是环境科学中的一项重要课题,水质监测能够为水污染的预防和治理提供数据依据,复杂而严峻的水污染形势对水质监测的技术提出了新的要求.紫外分光光度法提供了一种新的水质监测方法,其具有简便高效、无二次污染等优点.本文介绍... 详细信息

水质监测是环境科学中的一项重要课题,水质监测能够为水污染的预防和治理提供数据依据,复杂而严峻的水污染形势对水质监测的技术提出了新的要求.紫外分光光度法提供了一种新的水质监测方法,其具有简便高效、无二次污染等优点.本文介绍了一款基于光度法的多波长多参数集成式水质监测传感器,能够测量从紫外到近红外波段内多个波长的吸光度从而测量多个水质参数,包括化学需氧量、硝酸盐氮、UV254以及浊度.传感器的相关性能指标也可满足应用要求.

关键词：水质监测设备光学传感器紫外分光光度法技术参数

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液滴数字聚合酶链式反应芯片及其在致病菌检测中的应用

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分析测试学报 2017年第10期36卷 1191-1196页

作者：邓雪蕾张苑怡袁浩钧刘松生陈莹莹郜晚蕾周洪波贾春平赵建龙卞晓军上海海洋大学食品学院上海201306 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 农业部水产品贮藏保鲜质量安全风险评估实验室(上海) 上海201306 上海海洋大学食品学院食品热加工工程技术研究中心上海201306

设计与制作了一种基于聚二甲基硅氧烷-玻璃(PDMS-Glass)的多功能集成式液滴数字聚合酶链式反应(ddPCR)芯片,该芯片由产生液滴的PDMS模块和收集液滴的玻璃腔体模块组成。PDMS模块采用双通道的T形结构设计,液滴产生速度快且通量高,在30 mi... 详细信息

设计与制作了一种基于聚二甲基硅氧烷-玻璃(PDMS-Glass)的多功能集成式液滴数字聚合酶链式反应(ddPCR)芯片,该芯片由产生液滴的PDMS模块和收集液滴的玻璃腔体模块组成。PDMS模块采用双通道的T形结构设计,液滴产生速度快且通量高,在30 min内可生成2×10~6个直径约为20μm的微液滴。玻璃腔体模块中存储的液滴在整个实验过程中无需转移,可直接在原位PCR仪上进行扩增,每个液滴均是一个微反应器,经过多次热循环后,液滴仍能保持良好的稳定性。选用副溶血性弧菌(VP)作为食源性致病菌的研究模型,考察了ddPCR芯片对其基因组DNA的绝对定量能力,结果表明,该ddPCR芯片对VP基因组DNA绝对定量的线性范围宽,可跨越5个数量级(10~1~10~6 copies/μL),定量结果与DNA理论参考浓度间有很好的相关性。

关键词：数字PCR 液滴微流控芯片致病菌副溶血性弧菌

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微悬臂梁气敏材料表征系统中基线校正方法

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现代电子技术 2021年第17期44卷 100-104页

作者：费超陆天海于海涛徐大诚苏州大学微纳传感技术研究中心江苏苏州215006 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

在微悬臂梁称重的气敏材料表征系统中,常存在输出频率曲线基线漂移的问题,会导致相关特征参数的计算出现较大偏差。针对此问题提出一种气敏材料表征系统中输出频率曲线基线校正方法,采用Douglas-Peucker算法实现频率曲线的压缩,结合曲... 详细信息

在微悬臂梁称重的气敏材料表征系统中,常存在输出频率曲线基线漂移的问题,会导致相关特征参数的计算出现较大偏差。针对此问题提出一种气敏材料表征系统中输出频率曲线基线校正方法,采用Douglas-Peucker算法实现频率曲线的压缩,结合曲线特征及动态时间规整方法获取基线处理所需的特征点。为解决动态时间规整中曲线匹配次数过多、计算量较大的问题,提出选择匹配动态时间规整方法,准确获取各浓度特征点,通过分段线性拟合的方式计算基线,最终得出相应的标准频率曲线。实验结果表明,与传统手工标记特征点拉平基线的方式相比,误差在3%以内,降低了人工成本,有效提高了表征实验的效率,减小了人员因素带来的偶然误差,为进一步的特征参数计算提供了良好的预处理方法。

关键词：基线校正气敏材料表征微悬臂梁基线漂移频率曲线压缩特征点获取基线计算

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用于钻石磁传感器量子态操控的微波谐振器

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功能材料与器件学报 2021年第3期27卷 153-164页

作者：刘启慧汪洋李凌云武震宇中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院超导电子学卓越创新中心上海200050

钻石氮空位(NV)色心是钻石中取代态的氮原子结合空穴而形成的一种点缺陷,由于其易于初始化和光学读出、长相干时间等特性在近年来受到了广泛关注。用于驱动NV色心电子自旋的微波场在量子信息、磁测量等应用中起着关键作用。调控NV色心... 详细信息

钻石氮空位(NV)色心是钻石中取代态的氮原子结合空穴而形成的一种点缺陷,由于其易于初始化和光学读出、长相干时间等特性在近年来受到了广泛关注。用于驱动NV色心电子自旋的微波场在量子信息、磁测量等应用中起着关键作用。调控NV色心量子自旋态的微波谐振器在磁传感应用中采用了不同的结构设计,包括单直导线、平面微带天线、三维介质谐振器等。同时,圆极化天线在精确调控能级的研究中起到关键作用。本文综述了近年来在用于NV色心调控的微波谐振器方面的研究进展,为微波谐振器在NV色心量子态调控及磁传感领域的应用提供指导。

关键词： NV色心磁传感自旋调控微波谐振器

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用于MEMS结构的光刻胶牺牲层接触平坦化技术

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功能材料与器件学报 2006年第2期12卷 135-138,154页

作者：邢向龙焦继伟 Mark Daffron 王跃林 Hyung Choi 中国科学院上海微系统于信息技术研究所传感技术国家重点实验室 Brewer Science Inc.RollaMo.65401USA Samsung Advanced Institute of Technology 416 Maetan-DongYeongtong-GuSuwonKyungki-Do 442-742Korea

实验研究一种新颖的光刻胶牺牲层的接触平坦化（contact planarization）技术，应用于MEMS结构制作。实验研究了温度与光刻胶流动性的关系，以及牺牲层厚度、施加压力和温度、MEMS结构密度等因素对平坦化效果的影响，在优化条件下，牺... 详细信息

实验研究一种新颖的光刻胶牺牲层的接触平坦化（contact planarization）技术，应用于MEMS结构制作。实验研究了温度与光刻胶流动性的关系，以及牺牲层厚度、施加压力和温度、MEMS结构密度等因素对平坦化效果的影响，在优化条件下，牺牲层的起伏台阶从2μm减小到20～40nm。与化学机械抛光技术相比，接触平坦化无明显凹陷（Dishing）效应，无衬底损伤，同时呈现出良好的局部和总体均匀性。

关键词： MEMS 接触平坦化化学机械抛光均匀性凹陷效应

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