咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 12 篇 期刊文献
  • 3 篇 会议

馆藏范围

  • 15 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 14 篇 工学
    • 6 篇 电子科学与技术(可...
    • 5 篇 材料科学与工程(可...
    • 4 篇 机械工程
    • 3 篇 仪器科学与技术
    • 2 篇 控制科学与工程
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 信息与通信工程
    • 1 篇 环境科学与工程(可...
    • 1 篇 安全科学与工程
  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
    • 1 篇 化学
  • 1 篇 医学
    • 1 篇 医学技术(可授医学...
  • 1 篇 管理学
    • 1 篇 公共管理

主题

  • 4 篇 mems
  • 2 篇 表面张力梯度
  • 2 篇 各向异性腐蚀
  • 2 篇 开放式结构
  • 2 篇 电阻加热器
  • 2 篇 微液滴
  • 2 篇 温度梯度
  • 1 篇 热-机械灵敏度
  • 1 篇 气密性检测
  • 1 篇 微型加热器
  • 1 篇 moems技术
  • 1 篇 圆片级封装
  • 1 篇 石墨烯
  • 1 篇 侧向稳定性
  • 1 篇 comb-drive actua...
  • 1 篇 dna芯片
  • 1 篇 电镀镍
  • 1 篇 预弯曲梁
  • 1 篇 电化学氧化还原
  • 1 篇 激光刻蚀

机构

  • 7 篇 中国科学院研究生...
  • 3 篇 传感技术联合国家...
  • 2 篇 中国科学院上海微...
  • 2 篇 中国科学院上海微...
  • 2 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 中国科学院与德国...
  • 1 篇 中国科学院
  • 1 篇 复旦大学
  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 上海大学
  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 上海市传染病总医...
  • 1 篇 浙江大学
  • 1 篇 传感技术联合国家...

作者

  • 9 篇 王跃林
  • 7 篇 李铁
  • 5 篇 li tie
  • 3 篇 明安杰
  • 3 篇 wang yue-lin
  • 3 篇 wang yuelin
  • 3 篇 吴亚明
  • 2 篇 ming an-jie
  • 2 篇 刘翔
  • 2 篇 高安然
  • 2 篇 刘玉菲
  • 2 篇 高秀丽
  • 2 篇 许磊
  • 2 篇 焦继伟
  • 2 篇 wu ya-ming
  • 2 篇 赵建龙
  • 1 篇 xiong bin
  • 1 篇 方新心
  • 1 篇 feng fei
  • 1 篇 luo le

语言

  • 15 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室微系统技术国家级重点实验室"
15 条 记 录,以下是11-20 订阅
排序:
气体探测用低功耗微型加热器研究
收藏 引用
测试技术学报 2010年 第5期24卷 410-413页
作者: 许磊 李铁 高秀丽 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 上海200050
介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息
来源: 评论
新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
收藏 引用
第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 刘玉菲 赵本刚 吴亚明 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 浙江大学 杭州310027
本文提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计... 详细信息
来源: 评论
气体探测用低功耗微型加热器研究
气体探测用低功耗微型加热器研究
收藏 引用
中国兵工学会第十五届测试技术学术年会
作者: 许磊 李铁 高秀丽 王跃林 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050
介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息
来源: 评论
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
收藏 引用
中国兵工学会第十五届测试技术学术年会
作者: 高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院 北京100049 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息
来源: 评论
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
收藏 引用
测试技术学报 2010年 第5期24卷 377-380页
作者: 高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息
来源: 评论