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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室"
388 条 记 录,以下是111-120 订阅
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采用Ga(In,As)P异变缓冲层的GaP/Si衬底上InAs量子阱
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红外与毫米波学报 2022年 第1期41卷 253-261页
作者: 黄卫国 顾溢 金宇航 刘博文 龚谦 黄华 王庶民 马英杰 张永刚 中国科学院上海微系统与信息技术研究所太赫兹技术重点实验室 上海200050 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200083 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室 上海200083 中国科学院大学 北京100049 查尔姆斯理工大学微技术与纳米科学系 哥德堡SE-41296
本工作在GaP/Si衬底上基于In_(0.83)Al_(0.17)As异变缓冲层实现了InAs/In_(0.83)Al_(0.17)As量子阱的生长。研究了Ga_(x)In_(1-x)P和GaAs_(y)P_(1-y)递变缓冲层对量子阱结构材料性能的影响。采用Ga_(x)In_(1-x)P组分渐变缓冲层的样品X... 详细信息
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石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究
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传感器与微系统 2007年 第1期26卷 41-44页
作者: 王俊杰 车录锋 吴浩 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEM... 详细信息
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一种新型单片集成光谱传感器的波长定标方法(英文)
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红外与毫米波学报 2017年 第1期36卷 15-19页
作者: 张亚光 庄新港 王绪泉 刘俊良 方家熊 邵秀梅 王丽丽 山东大学光学高等研究中心 山东济南250100 山东大学晶体材料国家重点实验室 山东济南250100 山东大学信息科学与工程学院 山东济南250100 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200083
新型短波红外单片集成光谱传感器(MCSS)是光谱传感物联网的核心感知部件.提出了一种MCSS的波长定标方法,根据相对光谱响应度和波长分配原则把相邻像素组成一个定标通道.分别采用MCSS和两款商用光谱仪测量标准物质的光谱.实验结果表明,... 详细信息
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以金属有机框架材料HKUST-1为固定相的微型气相色谱柱
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分析化学 2023年 第3期51卷 429-435页
作者: 张娣 张海燕 陈泊鑫 祝雨晨 赵斌 李磊 郑丹 冯飞 上海应用技术大学化学与环境工程学院 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
气相色谱柱微型化有利于气相色谱系统的小型化,然而对微型气相色谱柱而言,轻烃的分离是一个挑战。本研究基于微机电系统(MEMS)技术制备了微型气相色谱柱,在温下合成了一种金属有机框架材料HKUST-1,采用动态涂敷法将HKUST-1涂敷... 详细信息
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微机械Golay腔型红外探测器的研究
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传感器与微系统 2007年 第3期26卷 20-23页
作者: 高翔 徐静 赵本刚 万助军 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/... 详细信息
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用于细胞球状体培养的准球形底微孔阵列的快速加工方法
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分析化学 2023年 第8期51卷 1292-1301页
作者: 张郭远 吴蕾 彭熙尧 葛玉卿 刘婷 徐铁刚 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室 中国科学院大学材料科学与光电技术学院
与传统的二维单层细胞相比,细胞球状体的功能更类似于体内细胞,因此在药物筛选和生理病理学研究中受到广泛关注。在低吸附准球形微孔阵列上培养细胞球状体可以实现尺寸可控和形态一致,并具有易于实现高通量的优点。然而,目前制造准... 详细信息
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一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感
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Journal of Semiconductors 2007年 第10期28卷 1620-1624页
作者: 徐玮鹤 车录锋 李玉芳 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅四层键合高对称电容式加速度传感器.采用硅/硅直接键合技术实现中间对称梁质量块结构的制作,然后采用硼硅玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合.在完成整体结构圆片级真空封装的同时,通过引线... 详细信息
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用于脉搏波检测的背接触式触觉传感阵列单元
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传感技术学报 2020年 第4期33卷 492-499页
作者: 于婷婷 孙珂 裴彬彬 陈建中 钟朋 杨恒 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049
触觉传感器在脉搏波测量、仿生机器人等领域有重要应用。该方案制作背接触式传感器,并通过转移工艺实现芯片加工和圆片级芯片尺寸封装一体化,用组装工艺低成本实现大面积柔性触觉阵列;采用模块化设计,正压力与剪切力传感单元的尺寸和布... 详细信息
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航天先进红外探测器组件技术及应用
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红外与激光工程 2012年 第12期41卷 3129-3140页
作者: 龚海梅 邵秀梅 李向阳 李言谨 张永刚 张燕 刘大福 王小坤 李雪 方家熊 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室 上海200083 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室 上海200083 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
随着航天遥感应用对探测目标的波段特性、空间分辨率、辐射分辨率、时间分辨率以及可靠性等要求的不断提高,作为航天遥感仪器核心部件的光电探测器,需要向扩展波长范围、提高光电性能、改善光谱形状、减小光敏元尺寸、增加器件规模、提... 详细信息
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微机械陀螺DRIE刻蚀过程中的局域掩膜效应
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传感技术学报 2010年 第8期23卷 1070-1074页
作者: 冷悦 焦继伟 张颖 顾佳烨 颜培力 宓斌玮 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
在微机电系统(MEMS)制造中,深反应离子刻蚀(DRIE)过程的精度是影响器件特性的重要因素之一。本文设计了一种完全对称弹性梁结构的模态匹配式陀螺的原型器件,以此为对象研究了局域掩膜图形对于DRIE刻蚀过程的影响。器件的测试结果表明驱... 详细信息
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