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  • 388 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室"
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基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型
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传感技术学报 2008年 第6期21卷 942-945页
作者: 赵楷 熊斌 车录锋 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证... 详细信息
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一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
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传感技术学报 2006年 第5A期19卷 1462-1465页
作者: 史明甫 焦继伟 包晓清 冯飞 杨恒 李铁 王跃林 中国科学院研究生院 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室
研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米沟道... 详细信息
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基于膜显色结果判读的基因芯片快速检测丙型肝炎基因型方法的研究
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中华肝脏病杂志 2004年 第5期12卷 301-303页
作者: 张翼冠 毛红菊 顾士民 许宝建 赵建龙 董子明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050 郑州大学基础医学院 上海传染病医院
目的 研制一种新型基于膜显色的芯片,用于丙型肝炎病毒(HCV)及其基因分型的快速检测。方法 根据HCV 5′端非编码区(5′NCR)设计特异型探针和引物,制作DNA芯片。实验组为60份HCVRNA阳性血清,对照组为20份健康人血清。获得目的片段后与芯... 详细信息
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微机械陀螺结构形状自组织优化方法
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机械工程学报 2007年 第7期43卷 99-104页
作者: 刘广军 王安麟 姜涛 焦继伟 张正福 上海交通大学机械与动力工程学院 上海200030 同济大学机械工程学院 上海200092 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象,提出基于元胞自动机的结构形状自组织优化方法,建立自组织形状优化的局部规则和基于最终输出的性能评价方法,实现对微陀螺结构形状的优化设计。建立微陀螺的子结构模型,在满足精... 详细信息
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基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法
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机械工程学报 2006年 第9期42卷 97-102页
作者: 刘广军 王安麟 姜涛 焦继伟 张正福 上海交通大学机械与动力工程学院 上海200030 同济大学机械工程学院 上海200092 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
为建立加工缺陷对微机械陀螺性能影响的机理性模型,解决高精度微机械结构优化设计的计算时间问题,以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象,利用多自由度动态有限元解析理论,提出基于子结构模型的检测电容解析法,实现微... 详细信息
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基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析
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上海交通大学学报 2006年 第11期40卷 1918-1923页
作者: 姜涛 王安麟 刘广军 张颖 焦继伟 同济大学机械工程学院 上海200092 上海交通大学机械与动力工程学院 上海200240 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象,基于随机摄动技术定量计算了微陀螺固有频率变异和检测输出电容变异的统计特征,以概率思想表达了微陀螺批量加工过程所带来的材料/尺寸随机误差对其性能的影响.通过所提出... 详细信息
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开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关
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Journal of Semiconductors 2007年 第8期28卷 1295-1301页
作者: 贾孟军 李昕欣 宋朝晖 王跃林 中国科学院研究生院 上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力学平衡条件和在阶跃冲击加速度输入情况下的响应特性,并通过Cov... 详细信息
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高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析
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仪表技术传感 2009年 第B11期 228-231页
作者: 鲍海飞 李昕欣 宋朝辉 张鲲 刘民 陆德仁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
文中提出了一种高量程压阻加速度传感器的灵敏度和横向灵敏度参数在动态冲击环境下的简易测试方法。采用金属杆自由落体的比较法,即将待测试的加速度传感器和已标定过的加速度传感器以背靠背的形式固定在金属杆的尾端,金属杆从一定高度... 详细信息
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用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究
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电源技术 2006年 第4期30卷 261-265,268页
作者: 陈聪 郑丹 张熙贵 杨辉 夏保佳 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050 上海应用技术学院化学工程系 上海200235
采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA... 详细信息
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一种用于核酸绝对定量检测的高鲁棒性液滴式数字PCR芯片
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高等学校化学学报 2020年 第8期41卷 1760-1767页
作者: 彭伙 高则航 廖承悦 王晓冬 周洪波 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049 上海科技大学信息科学与技术学院 上海201210 北京旌微医学工程研究院有限公司 北京100176
为满足液滴式数字聚合酶链式反应(PCR)技术对扩增反应过程中稳定保存液滴以及反应后高效检测的核心需求,构建了一种具有过滤气泡和增强荧光信号功能的液滴式数字聚合酶链式反应芯片.该芯片可在10 min内产生20多万个半径约为21μm的液滴... 详细信息
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