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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家实验室"
227 条 记 录,以下是101-110 订阅
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利用吸合电极实现亚微米电极间隙的可制造性设计
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传感器与微系统 2024年 第1期43卷 103-106,110页
作者: 郑超越 孙珂 钟朋 王放 杨恒 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049
提出一种利用吸合电极结构的可制造性设计手段,实现亚微米电极间隙的方法。利用静电力拉动可动电极位移实现超出光刻和刻蚀能力的超窄间隙,使得敏感电极间隙由1.3μm减小至300nm,通过该方法获得的亚微米电极间隙对工艺离散性不敏感,电... 详细信息
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质子膜表面粗糙化对质子交换膜燃料电池膜电极性能改善研究
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中国科学院研究生院学报 2006年 第4期23卷 472-476页
作者: 张熙贵 夏保佳 刘娟英 王涛 钦佩 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
通过对Nafion117表面粗糙化和“预先溶胀法”制备技术提高了微型PEM燃料电池膜电极的极化性能.循环伏安和交流阻抗等电化学检测方法证明,Nafion117表面粗糙化后扩展了催化层/质子膜三相界面区域,增大了电化学反应的有效活性面积,降低了... 详细信息
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基于切割成型的侧壁表面压阻制作及其参数优化
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传感技术学报 2013年 第2期26卷 182-186页
作者: 宋芳 王家畴 上海工程技术大学机器人智能控制及功能设计实验室 上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
为了提高MEMS执行器件对面内运动位移(或力学信号)检测的灵敏度并改善侧壁检测电阻制作工艺与其他工艺及其不同器件结构之间的兼容性问题,提出一种基于离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻的方法。在此... 详细信息
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两维碰撞加速度传感器及其实用化
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仪表技术传感 2009年 第B11期 287-290页
作者: 周伟 刘民 姜伟 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050
基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500 g的量程下,灵敏度达到0.3 mV/g/5 V,固有频率15k Hz.传... 详细信息
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基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器
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光电子.激光 2012年 第9期23卷 1635-1643页
作者: 翟雷应 徐静 吴亚明 刘闯 雷洪波 陶大勇 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 中石油吉林石化分公司化肥厂 吉林132021 中石油吉林石化分公司炼油厂 吉林132022
设计并制作出了一种基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器。MEMS静电驱动器采用垂直梳齿驱动技术,驱动硅微反射镜沿其法线方向的垂直平移运动以实现入射光波的光相位调制。MEMS静电微镜驱动器与光纤准直器耦合构成MEMS光纤相位调制器... 详细信息
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多目标拓扑优化设计在纳米定位平台中的应用
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压电与声光 2011年 第2期33卷 228-231页
作者: 陈立国 张洋 陈涛 荣伟彬 孙立宁 哈尔滨工业大学机器人研究所 黑龙江哈尔滨150001 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
纳米定位平台在微型机械和精密仪器的设计和制造领域起着重要作用。该文将拓扑优化引入到压电陶瓷驱动的一维纳米定位平台设计中,并利用多目标设计方法对平台的运动和结构需求进行了优化,采用楔形预紧结构对压电陶瓷进行紧密预紧。经有... 详细信息
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微量试剂分配压电叠堆泵的设计与实验
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压电与声光 2011年 第3期33卷 382-385,389页
作者: 陈立国 邵超 刘德利 陈涛 朱永杨 哈尔滨工业大学机器人研究所 黑龙江哈尔滨150001 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
设计、研制了进行微量、快速、精确试剂分配的压电叠堆泵,研究了压电叠堆泵的结构及工作原理,利用解析法和有限元仿真分析法对泵膜、位移放大机构的静态、动态特性进行了分析和研究,并研究了关键参数对泵性能的影响。对样机进行实验研究... 详细信息
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An Electrostatic MEMS Actuator with Large Displacement Under Low Driving Voltage
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Journal of Semiconductors 2008年 第9期29卷 1703-1707页
作者: 明安杰 李铁 周萍 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院研究生院 北京100049
A comb-drive actuator for lateral movement of over 100μm under low driving voltage is designed. Side stability is analyzed to improve the performance of the actuator. According to the analysis,a comb-drive actuator w... 详细信息
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基于MEMS芯片的磁性材料TEM表征技术
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微纳电子技术 2023年 第8期60卷 1288-1294页
作者: 殷智伟 张学林 姚镭 于海涛 李昕欣 上海大学微电子学院 上海201800 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
传统透射电子显微镜(TEM)以电磁场为透镜,通常情况下磁性材料不能直接在TEM下进行观测,一般使用以碳为支撑膜的双联铜网作为样品载网,但仍然有一定的破损概率。设计并实现了一种新型的基于微电子机械系统(MEMS)芯片的磁性材料TEM表征技... 详细信息
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肝脏疾病的体外细胞模型研究进展
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生物医学工程学杂志 2021年 第1期38卷 178-184页
作者: 刘婷 葛玉卿 袁敏 熊巧(综述) 赵建龙(审校) 上海理工大学医疗器械与食品学院 上海200093 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 海军军医大学附属长海医院泌尿外科 上海200433
不健康的饮食、作息和滥用药物会引起多种肝脏疾病,包括脂肪性肝炎、肝纤维化、肝硬化和肝癌等,严重影响人体健康。构筑体外细胞模型在研究肝病及其药物开发中具有重要意义。目前,国内外研究者已经开发出多种体外肝脏疾病模型。本文概... 详细信息
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