检索结果-内蒙古大学图书馆

功能材料与器件学报 2023年第3期29卷 202-209页

作者：宋柯宇凌必赟陈栋徐巧吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

本文提出了一种具有大行程垂直位移的电磁驱动式MEMS微反射镜。该MEMS微反射镜基于杠杆原理,以电磁力驱动杠杆的短臂扭转,从而使连接长臂的反射镜面产生较大的位移;采用对称设计的弹性铰链结构,抵消水平方向的位移,以保证反射镜面仅在... 详细信息

本文提出了一种具有大行程垂直位移的电磁驱动式MEMS微反射镜。该MEMS微反射镜基于杠杆原理,以电磁力驱动杠杆的短臂扭转,从而使连接长臂的反射镜面产生较大的位移;采用对称设计的弹性铰链结构,抵消水平方向的位移,以保证反射镜面仅在垂直方向位移。其中,电磁力由固定于镜体结构的永磁体和置于镜体结构周围的电磁驱动组件共同产生。本文通过MEMS工艺加工实现了该MEMS微反射镜的镜体结构部分,并通过机械装配将电磁驱动组件与镜体结构相对固定。机械结构仿真表明:该MEMS微反射镜的杠杆机构的扭转角度与驱动扭矩成正比。电磁仿真表明:基于电磁力的驱动扭矩与线圈电流正相关。实验结果表明:初步设计的镜体结构和电磁驱动组件构成的MEMS微反射镜可以在±70mA的驱动电流情况下实现4mm的垂直位移,并表现出较好的重复性。由于线圈匝数、驱动电路和杠杆结构都有很大的优化潜力,因此该MEMS微反射镜的垂直位移在理论上还可以进一步提高。

关键词： MEMS微镜电磁驱动放大杠杆弹性铰链

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基于专家PID控制和卡尔曼滤波的恒压进样系统

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电子设计工程 2018年第18期26卷 54-58,63页

作者：李路齐同郜晩蕾王晓冬贾春平赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

基于目前的压力控制和微小体积控制系统不能满足微流控芯片自动化进样的需求,本文提出一种新型的基于专家PID控制和卡尔曼滤波的恒压控制系统,通过精确控制压力实现精确控制进样体积。MATLAB仿真和实际测量表明,该系统的阶跃响应时间提... 详细信息

基于目前的压力控制和微小体积控制系统不能满足微流控芯片自动化进样的需求,本文提出一种新型的基于专家PID控制和卡尔曼滤波的恒压控制系统,通过精确控制压力实现精确控制进样体积。MATLAB仿真和实际测量表明,该系统的阶跃响应时间提高了50%,时间为10 s,无超调,压力控制精度为±30 Pa。通过高精度电子天平称重表明进样体积控制在±10 ul以内,最后采用mega2560作为主控制器搭建自动化检测平台实现微流控芯片的自动进样,该系统已应用到仪器中并产生良好的实验结果。

关键词：专家PID控制卡尔曼滤波恒压系统微流控芯片 MATLAB仿真

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参数自适应误差自校准的Sigma-Delta闭环微机械陀螺仪

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飞控与探测 2023年第5期6卷 47-53页

作者：周景川熊瑞宏陈方中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

提出并实现了一种用于MEMS谐振陀螺仪的新型自适应自校准多级噪声整形(MASH)微机电sigma-delta闭环测控电路方案。该技术针对高精度MEMS音叉陀螺仪的误差校准,开发了在线自适应误差校准的MASH2-0闭环测控电路,且无需使用任何额外的机械... 详细信息

提出并实现了一种用于MEMS谐振陀螺仪的新型自适应自校准多级噪声整形(MASH)微机电sigma-delta闭环测控电路方案。该技术针对高精度MEMS音叉陀螺仪的误差校准,开发了在线自适应误差校准的MASH2-0闭环测控电路,且无需使用任何额外的机械校准方法。该技术不仅可以有效地消除由于MEMS音叉陀螺仪敏感元件加工误差和接口测控电路之间的参数失配在输出端产生的误差影响,并且能够校正由非理想信号传递函数而导致的信号链路传输中的频谱失真和增益失配。试验结果表明,与传统的闭环MEMS陀螺仪相比,所提出的自适应MASH2-0闭环测控电路技术可以实现更好的系统稳定性、动态范围和噪声性能。

关键词： MEMS陀螺仪自校准 sigma-delta调制器 MASH 自适应参数匹配

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Pyrex7740玻璃深刻蚀研究

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微细加工技术 2007年第1期 51-55页

作者：明安杰李铁刘文平王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室

研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象。实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀比最小。在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率,当硝... 详细信息

研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象。实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀比最小。在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率,当硝酸含量为10%时,刻蚀速率可以提高两倍左右。利用上述结果,实现了用一层TiW/Au掩膜制作多种不同深度的玻璃坑槽结构,为玻璃上不同深度沟道制作提供了一种新的方法。

关键词： Pyrex7740玻璃湿法刻蚀 MEMS

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光纤光栅声光调制特性分析

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光纤与电缆及其应用技术 2004年第2期 19-22页

作者：屈红昌吴亚明杨建义李明李东中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

　高频超声波在紫外写入的光纤布拉格光栅(FBG)上传播,产生的长周期超声光栅调制光纤光栅,形成光纤超声超结构光栅。利用模式耦合理论,分析了光纤超声超结构光栅的光谱特性,得出光纤超声超结构光栅的反射谱存在多个反射峰,其反射峰的波... 详细信息

　高频超声波在紫外写入的光纤布拉格光栅(FBG)上传播,产生的长周期超声光栅调制光纤光栅,形成光纤超声超结构光栅。利用模式耦合理论,分析了光纤超声超结构光栅的光谱特性,得出光纤超声超结构光栅的反射谱存在多个反射峰,其反射峰的波长间隔由超声波的频率决定。因此,可以通过改变超声波的频率,调节一阶反射谱的反射波长,从而实现宽调谐范围的快速波长可调滤波器。该滤波器与通常的声光可调滤波器相比,带宽更窄,调谐速度更快。

关键词：声光调制光纤超声超结构光栅模式耦合理论光纤布拉格光栅高频超声波光谱特性

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基于虚拟仪器技术的小卫星测试平台

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测试技术学报 2004年第1期18卷 21-24页

作者：王营冠陈文通刘海涛陈博何永孟中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

　小卫星以其小型化、微型化、轻型化、高密度、软件化和智能化的特点赢得越来越多的用户.小卫星测试系统应具有灵活、方便、低成本、短开发周期等特点.基于虚拟仪器技术的测试系统可配置性好,重复利用率高,又可利用最新的计算机软硬件... 详细信息

　小卫星以其小型化、微型化、轻型化、高密度、软件化和智能化的特点赢得越来越多的用户.小卫星测试系统应具有灵活、方便、低成本、短开发周期等特点.基于虚拟仪器技术的测试系统可配置性好,重复利用率高,又可利用最新的计算机软硬件技术.本文介绍一种基于虚拟仪器技术的小卫星自动测试平台.

关键词：虚拟仪器小卫星自动测试平台数据采集信号激励系统体系结构

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一种超薄硅薄膜的制作方法

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功能材料与器件学报 2002年第4期8卷 388-390页

作者：李忻车录锋王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在... 详细信息

超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在几百纳米数量级,为制作压力传感器奠定了有用的工艺基础。

关键词：超薄硅薄膜制作方法内应力形变电容式微差压传感器

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气体探测用低功耗微型加热器研究

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测试技术学报 2010年第5期24卷 410-413页

作者：许磊李铁高秀丽王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400℃时功耗仅为26 mW,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.

关键词： MEMS 低功耗微型加热器铂各向异性腐蚀

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高精度海洋温/盐/酸度集成微纳传感器制造与测试

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传感器与微系统 2021年第1期40卷 74-77页

作者：胡凯凯尹加文麦裕良栾安博郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 广东省石油化工研究院技术开发中心广东广州510665 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgC... 详细信息

面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgCl参比电极构成的两电极体系。采用电化学工作站分别测量了三个传感器的基本参数和性能,其中温度传感器的电阻为(2240±5)Ω,灵敏度为8.636Ω/℃,测量精度达到±0.01℃;电导率传感器在0.01 mol/L KCl溶液中精度为±0.0005 S/m;pH传感器灵敏度为42.86 mV/pH。由于采用微机电加工技术,传感器尺寸小、成本低、可批量制造,将为海洋环境参数的高精度网格化测量提供核心传感器。

关键词：海洋温/盐/酸度微纳传感器微机电系统(MEMS)技术批量制造高精度网格化测量

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比色法研究二硫苏糖醇诱导12 nm粒径纳米金的聚集作用

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分析试验室 2018年第5期37卷 509-513页

作者：陈俊俊费佳钰娄新徽赵建龙袁敏上海理工大学医疗器械与食品学院上海200093 首都师范大学化学系北京100048 传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

利用纳米金的比色效应研究了二硫苏糖醇(DTT)对12 nm粒径的纳米金溶液诱导产生的聚集作用。结果表明:DTT诱导聚集纳米金的作用与大分子溶液对胶体溶液的絮凝作用和稳定作用相似;当DTT分子与纳米金粒子的比值达到(1500±500):1时,DT... 详细信息

利用纳米金的比色效应研究了二硫苏糖醇(DTT)对12 nm粒径的纳米金溶液诱导产生的聚集作用。结果表明:DTT诱导聚集纳米金的作用与大分子溶液对胶体溶液的絮凝作用和稳定作用相似;当DTT分子与纳米金粒子的比值达到(1500±500):1时,DTT可迅速桥联纳米金粒子使其聚集,致使溶液发生明显的颜色变化;降低纳米金溶液浓度可有效缓解DTT的聚集作用。为基于纳米金比色反应的检测方法研究提供了一定的理论基础,也对纳米金粒子和DTT在生物化学和分析化学领域的进一步应用具有指导意义。

关键词：纳米金二硫苏糖醇比色法生物传感器

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