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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家实验室"
227 条 记 录,以下是81-90 订阅
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一种用于核酸绝对定量检测的高鲁棒性液滴式数字PCR芯片
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高等学校化学学报 2020年 第8期41卷 1760-1767页
作者: 彭伙 高则航 廖承悦 王晓冬 周洪波 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049 上海科技大学信息科学与技术学院 上海201210 北京旌微医学工程研究院有限公司 北京100176
为满足液滴式数字聚合酶链式反应(PCR)技术对扩增反应过程中稳定保存液滴以及反应后高效检测的核心需求,构建了一种具有过滤气泡和增强荧光信号功能的液滴式数字聚合酶链式反应芯片.该芯片可在10 min内产生20多万个半径约为21μm的液滴... 详细信息
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基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统
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仪表技术传感 2015年 第12期 11-14页
作者: 任艳波 于海涛 赵伟 刘民 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
为了解决使用模拟锁相环设计传感器接口电路带来的精度低、测量过程繁琐等问题,采用软件锁相环设计了基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统。将开环检测与闭环检测相结合,通过开环扫频获取待测传感器的参数信息,并通过... 详细信息
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酸性环境中基于Ta_2O_5的场效应管pH传感器的研究
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传感器与微系统 2014年 第1期33卷 26-30,34页
作者: 金妍 陈淼 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 CSIRO Process Science and Engineering 中国科学院大学 北京100049
研制了一种基于Ta2O5敏感膜的场效应式pH传感器,此传感器对pH有较好的敏感性:pH为1—7的范围内呈现出-57.4mV/pH的响应,漂移性约为3mV,迟滞效应小于5mV,且无明显酸误差。对此传感器的电化学阻抗谱进行深入研究,并采用不同的等... 详细信息
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基于碳膜的柔性神经微电极阵列加工
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纳米技术与精密工程 2012年 第2期10卷 184-188页
作者: 朱壮晖 周亮 张华 李刚 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
为了实现长期安全有效的神经电刺激,避免电极腐蚀情况,提出了一种基于热解光刻胶形成碳膜作为导电材料的柔性视网膜神经微电极阵列.首先,通过高温热解图形化的光刻胶形成导电碳膜,然后利用光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)作为基底材料,... 详细信息
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三种细胞共培养微流控芯片的设计和制作
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生物工程学报 2017年 第2期33卷 294-300页
作者: 王帅超 葛玉卿 吴蕾 郭慧 杨仕平 金庆辉 上海师范大学生命与环境科学学院 上海200234 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
设计一种具有"微坝"和"微缝"结构的微流控芯片,能够物理隔离不同细胞,而且培养基中小分子营养物质可以自由流通。实验结果表明在芯片上可以共培养人肺腺癌细胞(A549)、人胚肺成纤维细胞(HLF-1)和人内皮细胞(HUVECs... 详细信息
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基于金硅原电池保护电容加速度计的制作
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传感器与微系统 2012年 第1期31卷 133-136页
作者: 王辉 吴燕红 杨恒 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
提出并实现了一种利用SoI结合金硅原电池保护和反熔丝制作电容式加速度计的新工艺方法。该工艺用SoI顶层硅制作梁和上电极,用衬底制作质量块。采用DRIE从正面刻蚀形成释放孔,TMAH腐蚀实现质量块的释放,在TMAH腐蚀过程中利用金硅原电池... 详细信息
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铂微电极位点上氧化铝纳米孔的制备
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化学通报 2012年 第2期75卷 172-175页
作者: 刘彬 张缓缓 金庆辉 刘咏松 浙江理工大学理学院 杭州310018 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
金属微电极表面的纳米级处理可以大大提高电极的性能。本文基于微加工及电化学技术在铂微电极位点上制备了一致性良好的氧化铝纳米结构。通过对基片铂层表面等离子体处理,使铝膜与铂层之间粘附力明显增强。利用二次阳极氧化法,在铂微电... 详细信息
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基于静电力的微液滴驱动芯片
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传感器与微系统 2011年 第2期30卷 116-118,121页
作者: 刘翔 高安然 李铁 周萍 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片。介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列... 详细信息
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基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究
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传感器与微系统 2008年 第12期27卷 118-120页
作者: 陆荣 陆松涛 杨恒 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀。在(111)型硅片上利用原电池钝... 详细信息
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应力型微悬臂梁生化传感器响应机理研究进展
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传感器与微系统 2014年 第6期33卷 5-8,12页
作者: 杨天天 江南大学 江苏无锡214122 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面... 详细信息
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