检索结果-内蒙古大学图书馆

中国科学（E辑） 2008年第3期38卷 411-420页

作者：付称心陈云飞焦继伟东南大学成贤学院机械工程系南京210096 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海201800

采用Brenner势函数描述碳纳米管中碳原子间的相互作用,通过分子动力学方法对几种单壁碳纳米管进行轴向拉伸试验研究,得出其Young模量为4.2 TPa,强度极限为1.40～1.77 TPa.在对碳管拉伸过程中,发现只要应变不达到断裂极限,卸载时的应力-... 详细信息

采用Brenner势函数描述碳纳米管中碳原子间的相互作用,通过分子动力学方法对几种单壁碳纳米管进行轴向拉伸试验研究,得出其Young模量为4.2 TPa,强度极限为1.40～1.77 TPa.在对碳管拉伸过程中,发现只要应变不达到断裂极限,卸载时的应力-应变沿加载曲线返回,表明在碳纳米管的拉伸过程中没有塑性应变;对碳纳米管的拉伸断裂过程进行了仿真,从能量和结构变化方面对碳纳米管断裂机理进行了分析.

关键词：碳纳米管分子动力学 Young模量碳烯

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用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计

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半导体技术 2009年第12期34卷 1162-1165页

作者：李金鹏焦继伟宓彬伟张颖王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100049

给出了一种用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计,针对MEMS惯性器件大多采用电容量输出等特点,设计了一个低噪声运算放大器,利用该运放,设计了一种基于开关电容的电荷转移电路来将电容量转换为电压量,以便后续电路处理。采用了相关双采... 详细信息

给出了一种用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计,针对MEMS惯性器件大多采用电容量输出等特点,设计了一个低噪声运算放大器,利用该运放,设计了一种基于开关电容的电荷转移电路来将电容量转换为电压量,以便后续电路处理。采用了相关双采样(CDS)技术,较大地减少了电路和MEMS惯性器件的1/f噪声、热噪声,抑制了零漂。采用HHNEC 0.35μmCMOS工艺制造,面积为1 mm×2 mm,与MEMS器件封装在一起,并进行了实际测试,结果表明,该读出电路基本满足要求,并具有较低的噪声。

关键词：低噪声微电子机械系统相关双采样电荷转移惯性器件

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低热机械噪声的梳齿式加速度计

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仪表技术与传感器 2011年第10期 21-23页

作者：杨丹琼徐静钟少龙李四华吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039

文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计。采用体硅加工工艺,利用SOI材料30μm顶层硅制造垂直梳齿,梳齿数目达200对,提高了初始电容,能够充分利用尺寸空间,获得具有低噪特性的加速度计。该种形式的加速度计不需要真空封装,也不... 详细信息

文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计。采用体硅加工工艺,利用SOI材料30μm顶层硅制造垂直梳齿,梳齿数目达200对,提高了初始电容,能够充分利用尺寸空间,获得具有低噪特性的加速度计。该种形式的加速度计不需要真空封装,也不需要制作阻尼孔就能满足低噪声要求。器件采用三层材料,利用硅-玻璃键合和BCB键合实现,能够有效提高成品率,并给出了成功流片后得到的SEM照片。最后,对器件进行了频谱响应曲线的测试,测试得到器件在非真空封装及无阻尼孔情况下Q值高达156.95。测试结果表明该器件的设计简化了制造工艺,降低了成本,同时得到提高了Q值,能够降低热机械噪声。

关键词：低噪声加速度计体硅工艺梳齿电容滑膜阻尼

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建立DNA芯片技术检测丙型肝炎病毒基因型及其初步应用

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中华实验和临床病毒学杂志 2003年第4期17卷 375-377页

作者：毛红菊顾士民赵建龙刘江霞中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050 上海市传染病总医院复旦大学医学院分子病毒学卫生部重点实验室

目的建立一种简便、快速的以DNA芯片技术为基础的丙型肝炎病毒基因分型检测方法。方法根据丙型肝炎病毒HCV的基因序列信息设计分型探针,将采用荧光标记的寡核苷酸引物所扩增的丙型肝炎病毒基因产物与结合在芯片上的特异性探针进行快速... 详细信息

目的建立一种简便、快速的以DNA芯片技术为基础的丙型肝炎病毒基因分型检测方法。方法根据丙型肝炎病毒HCV的基因序列信息设计分型探针,将采用荧光标记的寡核苷酸引物所扩增的丙型肝炎病毒基因产物与结合在芯片上的特异性探针进行快速杂交,通过扫描荧光强度值定性和定量判定结果。结果应用本法对65例患者血清中的丙型肝炎病毒核酸进行基因分型,对部分标本检测结果与测序法进行对比,吻合率达100％,说明检测结果有很高的特异性。结论我们所用DNA芯片技术检测HCV RNA及其基因分型,简便、快速、特异性好、灵敏度高、结果判定指标客观,可望在临床推广使用。

关键词： DNA芯片丙型肝炎病毒基因型 HCV基因传染病

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低温非晶硅/金圆片键合技术(英文)

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纳米技术与精密工程 2013年第4期11卷 375-378页

作者：刘米丰徐德辉熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100049

本文研究了低温非晶硅/金圆片键合技术.具有不同金硅比的键合片在400℃键合温度和1 MPa键合压力下维持30 min,其键合成功区域均高于94%,平均剪切强度均大于10.1 MPa.键合强度测试结果表明键合成品率与金硅比大小无关,平均剪切强度在10～... 详细信息

本文研究了低温非晶硅/金圆片键合技术.具有不同金硅比的键合片在400℃键合温度和1 MPa键合压力下维持30 min,其键合成功区域均高于94%,平均剪切强度均大于10.1 MPa.键合强度测试结果表明键合成品率与金硅比大小无关,平均剪切强度在10～20 MPa范围内.微观结构分析表明键合后单晶硅颗粒随机分布在键合层内,而金则充满其他区域,形成了一个无空洞的键合层.无空洞键合层确保不同金硅比非晶硅/金键合片均具有较高的键合强度,可实现非晶硅/金键合技术在圆片键合领域的应用.

关键词：圆片键合非晶硅金微结构分析键合质量

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反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响

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半导体技术 2011年第1期36卷 26-30页

作者：戚玉婕车录锋孙腾王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100049

高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应。首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建... 详细信息

高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应。首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建立了带有延时的系统模型,进一步结合实际PCB板的测量,分析了不同反馈补偿参数下的阶跃响应和幅频响应曲线。实验结果表明,合适的反馈补偿参数能有效地降低系统Q值,改善动态响应。最后得出了该电容式加速度计在闭环系统下的较优比例微分参数的选择策略。

关键词：电容式加速度计反馈补偿参数 Q值微机械系统 MATLAB

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MEMS传感器性能提高相关技术研究

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仪表技术与传感器 2003年第1期 8-9,25页

作者：黄树森李昕欣王跃林鲍敏杭中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 复旦大学微电子学系上海200433

在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构。

关键词：微电子机械系统微传感器微执行器微机械技术

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三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装

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半导体技术 2012年第10期37卷 790-794,814页

作者：蔡梅妮车录锋林友玲周晓峰黎晓林吴健中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100049

为了降低微电子机械系统(MEMS)加速度器件的热机械噪声,提高信噪比,使之能应用于石油勘探和地震监测中,对一种三明治式电容加速度传感器的器件级真空封装工艺进行了研究。这种器件级真空封装方法采用可编程高真空封装设备和MEMS工业中... 详细信息

为了降低微电子机械系统(MEMS)加速度器件的热机械噪声,提高信噪比,使之能应用于石油勘探和地震监测中,对一种三明治式电容加速度传感器的器件级真空封装工艺进行了研究。这种器件级真空封装方法采用可编程高真空封装设备和MEMS工业中常用的材料、工艺,可适用于不同尺寸或布局的MEMS芯片。利用该封装方法,对一种采用自停止腐蚀工艺在中间质量块键合层上制作出2个对称"V"型槽的三明治式电容加速度计进行了真空封装,并对封装后的器件进行性能测试。结果表明,该加速度计在有吸气剂的情况下,品质因子(Q)可达到76,理论热机械噪声为0.026μg/槡Hz,腔体内部压强小于13 Pa,He气细漏检测漏率低于3×10-10Pa.m3/s,氟油粗漏无气泡,满足地震监测要求。

关键词：三明治式MEMS加速度计自停止腐蚀工艺吸气剂品质因子器件级真空封装

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重金属检测微纳传感器芯片批量制备与测试

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微纳电子技术 2021年第4期58卷 359-364页

作者：戴金莹尹加文郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

设计并制备了一种基于玻璃-硅微纳米结构的重金属检测微纳传感器芯片用于检测铅。传感器芯片集成了Ag/AgCl参比电极、三维金微阵列工作电极、金对电极以及微检测腔。该传感器采用微电子机械系统(MEMS)批量制备工艺,一批次同时制备多片4... 详细信息

设计并制备了一种基于玻璃-硅微纳米结构的重金属检测微纳传感器芯片用于检测铅。传感器芯片集成了Ag/AgCl参比电极、三维金微阵列工作电极、金对电极以及微检测腔。该传感器采用微电子机械系统(MEMS)批量制备工艺,一批次同时制备多片4英寸(1英寸=2.54 cm)晶圆,而每片晶圆上有20个芯片。在优化的实验条件下,即最优沉积电压为-1 V和最优沉积时间为240 s时,用方波溶出伏安法检测铅离子,信噪比为3时检测限达到0.82μg·L^(-1)。用同一批次制备的传感器,多次测量80μg·L^(-1)的铅离子,其重复性偏差为2.21%~3.35%,表明该新型微纳传感器具有良好的灵敏度和一致性,为水环境监测中大量布设重金属检测传感器节点提供了技术方案。

关键词：纳米通道微纳传感器铅离子检测三维阵列微检测腔批量制备

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海洋洋流/潜流测量热分布型微纳流速传感器

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微纳电子技术 2021年第11期58卷 1005-1013页

作者：车啸婷贾治森王振宇管轶华郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

设计并仿真了一种利用介质热传递原理工作的流速传感器,适用于低流速区域的海洋洋流/潜流流速测量。通过物理场仿真软件COMSOL对传感器进行了热-流体的耦合场模拟仿真分析,验证了设计传感器的可行性。采用微电子机械系统(MEMS)加工技术... 详细信息

设计并仿真了一种利用介质热传递原理工作的流速传感器,适用于低流速区域的海洋洋流/潜流流速测量。通过物理场仿真软件COMSOL对传感器进行了热-流体的耦合场模拟仿真分析,验证了设计传感器的可行性。采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布型流速传感器,加热和测温电阻均采用铂电阻传感器。传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距分别为1和2 mm,完成了芯片的封装及测试。通过实验与分析得出流速和不同间距测温电阻的电压之间的变化关系曲线。两种不同测温电阻和中心加热电阻间距的传感器,可测量的最大流速分别为265和315 mm/s。

关键词：流速传感器微纳传感器微电子机械系统(MEMS) 热敏电阻海洋洋流/潜流

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