检索结果-内蒙古大学图书馆

功能材料与器件学报 2011年第5期17卷 505-512页

作者：翟万银吴蕾贾春平邵建波徐元森中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200068 中国科学院研究生院北京100049 中国科学院上海硅酸盐研究所上海200050

肿瘤血管结构不同于正常组织血管,由内皮细胞松散地围成不完整的管道,呈高通透性。为建立体外简便、有效、低廉的肿瘤血管模型,本研究采用微加工技术,制作了肿瘤血管微流控芯片。芯片包括24 mm长50μm宽40μm深的微管道和一侧的微腔体... 详细信息

肿瘤血管结构不同于正常组织血管,由内皮细胞松散地围成不完整的管道,呈高通透性。为建立体外简便、有效、低廉的肿瘤血管模型,本研究采用微加工技术,制作了肿瘤血管微流控芯片。芯片包括24 mm长50μm宽40μm深的微管道和一侧的微腔体以及两者之间的微缝。微管道中部设有膨胀区域以模拟肿瘤血管结构。在微管道内导入血管内皮细胞,培养形成细胞壁垒。通过促进细胞迁移而使得细胞壁垒出现稳定的泄漏点,使血管芯片具有通透性,并对体内调控血管通透性分子组胺和MMP2产生与体内相似的反应。在此基础上发现,原花青素对血管通透性有显著抑制作用,而抗癌药物依立替康则有促进作用,显示该肿瘤血管微流控芯片初步具备了肿瘤血管通透性调控分析的功能。

关键词：肿瘤血管微流控芯片血管内皮细胞通透性

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以十八烷胺疏水改性的HKUST-1为固定相的微型气相色谱柱

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半导体技术 2024年第11期49卷 961-967页

作者：张友为金言周海梅郑丹冯飞李昕欣赵斌上海应用技术大学化学与环境工程学院上海201418 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

金属有机骨架(MOF)材料被广泛用作微型气相色谱柱(μGCC)固定相,对轻烃气体有着良好的分离效果,但是其有亲水特性,吸水后结构易崩塌,导致μGCC的分离性能降低。利用铜基金属有机骨架HKUST-1上的配位不饱和金属位点与十八烷胺通过配位作... 详细信息

金属有机骨架(MOF)材料被广泛用作微型气相色谱柱(μGCC)固定相,对轻烃气体有着良好的分离效果,但是其有亲水特性,吸水后结构易崩塌,导致μGCC的分离性能降低。利用铜基金属有机骨架HKUST-1上的配位不饱和金属位点与十八烷胺通过配位作用反应生成一种疏水复合材料OA-HKUST-1,长烷基链的十八烷胺表面能较低,提高了HKUST-1的疏水性和稳定性。将OA-HKUST-1用作μGCC固定相,分离结果表明,使用OA-HKUST-1固定相的μGCC对轻烃混合气体(甲烷、乙烷、丙烷、正丁烷)实现完全分离,其中较难分离的甲烷和乙烷分离度达到5.993。通过6个月的定期测试,甲烷、乙烷、丙烷、正丁烷各组分保留因子的相对标准偏差均小于2%,验证了良好的疏水稳定性。

关键词：微型气相色谱柱金属有机骨架(MOF)材料固定相疏水稳定性轻烃气体

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Pyrex7740玻璃深刻蚀研究

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微细加工技术 2007年第1期 51-55页

作者：明安杰李铁刘文平王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室

研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象。实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀比最小。在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率,当硝... 详细信息

研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象。实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀比最小。在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率,当硝酸含量为10%时,刻蚀速率可以提高两倍左右。利用上述结果,实现了用一层TiW/Au掩膜制作多种不同深度的玻璃坑槽结构,为玻璃上不同深度沟道制作提供了一种新的方法。

关键词： Pyrex7740玻璃湿法刻蚀 MEMS

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肺芯片的构建及其在肺疾病中的仿生应用

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生命科学 2022年第7期34卷 863-870页

作者：李逸轩杨爽朱彦毛红菊杨剑天津中医药大学国家组分中药重点实验室天津301617 天津中医药大学天津市中药药理学重点实验室天津301617 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

随着微工程的快速发展,多学科交叉产物—微流控器官芯片以其能高度模拟体内微环境、便捷测定生理参数等优点,成为最具价值的动物替代模型之一。新冠疫情肆虐,使得肺芯片的构建及应用越来越广泛,其高度模拟了体内肺组织微环境,包括可溶... 详细信息

随着微工程的快速发展,多学科交叉产物—微流控器官芯片以其能高度模拟体内微环境、便捷测定生理参数等优点,成为最具价值的动物替代模型之一。新冠疫情肆虐,使得肺芯片的构建及应用越来越广泛,其高度模拟了体内肺组织微环境,包括可溶性细胞因子的表达和细胞-细胞间、细胞-细胞外基质间的相互作用,通过体外诱导及给药可探究多种相关细胞因子的表达,达到快速筛药的目的。该文主要阐述了两种类型的肺芯片,即肺泡芯片和小气道芯片,总结其在肺疾病的仿生应用和快速药物筛选中的现况,期望为肺芯片的精准、广泛使用提供有效的科学定位和依据。

关键词：肺泡芯片小气道芯片肺疾病快速筛药

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微型气相色谱柱芯片研究进展

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传感器与微系统 2022年第3期41卷 1-6,11页

作者：张海燕赵斌曹可李磊郑丹冯飞上海应用技术大学化学与环境工程学院上海201418 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析。微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决定了其分离性能的好坏。微机电系统(MEMS)技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、... 详细信息

微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析。微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决定了其分离性能的好坏。微机电系统(MEMS)技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、可灵活选择的衬底材料,甚至可以通过MEMS技术制备均匀的固定相,从而获得具有更好分离性能的微型气相色谱柱芯片。综述了近年来基于MEMS技术的微型气相色谱柱芯片的研究进展,内容主要涉及微型气相色谱柱芯片的微沟道加工技术、柱内结构、芯片衬底材料以及固定相的制备方法等方面。

关键词：气相色谱微机电系统微型气相色谱柱芯片

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相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制

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华东师范大学学报（自然科学版） 2004年第1期 49-55页

作者：郭方敏朱守正魏华征郑莹朱荣锦忻佩胜朱自强赖宗声杨根庆陆卫华东师范大学信息科学技术学院上海 200062 中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室华东师范大学信息科学技术学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合开放实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院上海技术物理所

MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布... 详细信息

MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列一毫米波相移器在35GHz时,启动电压5V,20V时相移量达到372°/3.5 mm,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量。

关键词： MEMS 毫米波相移器相位连续可调传输损耗插入损耗启动电压

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MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计

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传感技术学报 2006年第5B期19卷 2156-2159页

作者：董培涛李昕欣陈聪夏保佳王跃林封松林李圣怡中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 国防科技大学机电工程与自动化学院长沙410073

针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,确定... 详细信息

针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,确定空占比为0.7左右时,燃料电池的性能最佳.制作器件的测试结果表明采用该优化设计的燃料电池的峰值功率密度高达135mW/cm2.

关键词：微机械质子交换膜燃料电池自呼吸阴极优化

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细胞外基质硬度和厚度对细胞生长的影响

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中国组织工程研究 2018年第5期22卷 815-820页

作者：李珊刘晓艺孙艳赵峰何静雯北京航空航天大学生物与医学工程学院北京市100191 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海市200050

背景:细胞外基质的力学性质会影响细胞的铺展、增殖和分化,对于组织工程和再生医学研究及应用均有极其重要的意义。目的:总结近年来有关基质力学性质对细胞生长的影响,并分析基质厚度和硬度之间是否存在关系,为体外构建功能性组织提供... 详细信息

背景:细胞外基质的力学性质会影响细胞的铺展、增殖和分化,对于组织工程和再生医学研究及应用均有极其重要的意义。目的:总结近年来有关基质力学性质对细胞生长的影响,并分析基质厚度和硬度之间是否存在关系,为体外构建功能性组织提供实验方法参考。方法:作者检索1988至2016年百链云数据库和PubMed数据库,选择与基质力学性质对细胞生长影响有关的文献,进行系统整理、总结归纳和分析。结果与结论:检索到文章254篇,最终纳入43篇。通过总结及分析发现黏附在基质上的细胞结构和功能与其所处的外环境有很大的关系。体外模拟实验表明基质硬度的增大会使得细胞的形态发生变化,铺展面积增大,增殖水平提高,同样也会对细胞的分化有影响。当基质厚度在一定范围内时,细胞可以感知到基质厚度的变化。当基质厚度超过一定范围,细胞则感知不到基质的厚度,影响细胞的主要是基质的硬度及其交联程度,此厚度范围从几微米到60μm不等,与接种细胞的水平尺寸有关。

关键词：基质硬度基质厚度细胞铺展细胞增殖细胞分化干细胞国家自然科学基金

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光纤海洋温盐深传感器研究进展

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激光与光电子学进展 2021年第13期58卷 267-281页

作者：周灵钧于洋孟洲国防科技大学文理学院湖南长沙410073 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 国防科技大学气象海洋学院湖南长沙410073

针对海洋水文环境参量实际测量需求,重点介绍了现有各型光纤温盐深仪(CTD)传感器的传感机理、研究进展、性能指标、存在的技术瓶颈等问题,并简要介绍海洋环境参量传感阵列研究进展与工程应用情况。综合国内外研究进展来看,光纤光栅型CT... 详细信息

针对海洋水文环境参量实际测量需求,重点介绍了现有各型光纤温盐深仪(CTD)传感器的传感机理、研究进展、性能指标、存在的技术瓶颈等问题,并简要介绍海洋环境参量传感阵列研究进展与工程应用情况。综合国内外研究进展来看,光纤光栅型CTD传感器稳定性和环境适应性较强,已初步满足海洋环境工程监测需求,并且在海洋环境参量传感阵列化研究方面具有重要应用价值;而光纤表面等离子共振(SPR)型CTD和拉锥光纤型CTD灵敏度较高,在海洋环境多参量一体化监测方面具有较大的应用潜力。最后,在简要概述以"海洋物联网"为代表的新一代海洋监测网络发展需求的基础上,对海洋环境参量全光纤传感器发展趋势与技术需求进行展望,以期为从事相关研究的学者提供参考资料与研究思路。

关键词：光纤光学光纤传感器海洋环境监测温盐深传感多参量监测

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新型侧壁绝缘体硅微机械工艺

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仪表技术与传感器 2005年第1期 7-9页

作者：程保罗李昕欣王跃林焦继伟车录锋张鲲戈肖鸿宋朝晖浙江大学信息与电子工程学系浙江杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

介绍了一种全新的体硅微机械工艺,可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充,并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘。对于该工艺的原理、可能... 详细信息

介绍了一种全新的体硅微机械工艺,可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充,并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘。对于该工艺的原理、可能出现的问题、制作流程的摸索等进行了探讨,并且给出使用该工艺实现的一个带自检驱动功能的加速度计。该加速度计采用压阻原理,器件的压阻敏感电阻部分,通过在侧面进行半导体杂质扩散而形成。

关键词：微机电系统体硅工艺侧壁扩散绝缘工艺加速度传感器

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