检索结果-内蒙古大学图书馆

中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

作者：许磊李铁高秀丽王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400C时功耗仅为26 mw,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.

关键词： MEMS技术低功耗微型加热器各向异性腐蚀

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新型阴极结构的自呼吸式μPEMFC

新型阴极结构的自呼吸式μPEMFC

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上海市化学化工学会2006年度学术年会

作者：郑丹张熙贵田娟夏保佳中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室哈尔滨工程大学中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

“自呼吸式”μPEMFC即不用传统的压缩空气或纯氧,而是利用扩散作用直接从周围的空气中获得氧气作阴极氧化剂的微型质子交换膜燃料电池。在微型化手段上,微电子机械(MEMS)技术由于其加工的微小性、精确的加工分辨率(小于1μm)、高度的... 详细信息

“自呼吸式”μPEMFC即不用传统的压缩空气或纯氧,而是利用扩散作用直接从周围的空气中获得氧气作阴极氧化剂的微型质子交换膜燃料电池。在微型化手段上,微电子机械(MEMS)技术由于其加工的微小性、精确的加工分辨率(小于1μm)、高度的加工重复性等优点,不但突破了燃料电池制作

关键词：微型质子交换膜燃料电池自呼吸阴极结构 MEMS技术

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高精度海洋温/盐/酸度集成微纳传感器制造与测试

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传感器与微系统 2021年第1期40卷 74-77页

作者：胡凯凯尹加文麦裕良栾安博郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 广东省石油化工研究院技术开发中心广东广州510665 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgC... 详细信息

面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgCl参比电极构成的两电极体系。采用电化学工作站分别测量了三个传感器的基本参数和性能,其中温度传感器的电阻为(2240±5)Ω,灵敏度为8.636Ω/℃,测量精度达到±0.01℃;电导率传感器在0.01 mol/L KCl溶液中精度为±0.0005 S/m;pH传感器灵敏度为42.86 mV/pH。由于采用微机电加工技术,传感器尺寸小、成本低、可批量制造,将为海洋环境参数的高精度网格化测量提供核心传感器。

关键词：海洋温/盐/酸度微纳传感器微机电系统(MEMS)技术批量制造高精度网格化测量

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DNA功能化纳米金结合基因芯片可视化检测microRNAs

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中国科学：生命科学 2016年第3期46卷 314-320页

作者：王萍赵建龙胡斌程祖乐白亚楠金庆辉刘慧颖毛红菊李三强赵建龙河南科技大学医学院肝脏损伤与修复分子医学重点实验室洛阳471003 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海徐汇中心医院生物传感技术临床研究中心上海200040 中国科学院大学北京100049 大连医科大学口腔医学院口腔修复教研室大连116023

开发了一种纳米金探针结合基因芯片用于micro RNAs（mi RNAs）检测的高灵敏度便携式生物传感器.靶标mi RNAs特异性捕获探针固定在芯片上,通过与纳米金探针杂交进行检测,最后利用过氧化氢（H2O2）还原四氯金酸（HAu Cl4）来放大检测信号... 详细信息

开发了一种纳米金探针结合基因芯片用于micro RNAs（mi RNAs）检测的高灵敏度便携式生物传感器.靶标mi RNAs特异性捕获探针固定在芯片上,通过与纳米金探针杂交进行检测,最后利用过氧化氢（H2O2）还原四氯金酸（HAu Cl4）来放大检测信号.利用单个纳米金探针结合基因芯片可以检测到10 pmol/L的靶标mi RNAs,测得mi R-126在胎牛血清中的回收率为81.5%~109.1%.用这种生物传感器检测肺癌组织样本总RNA中的mi R-126,结果与定量PCR结果具有一致性.利用双纳米金探针进一步提高了检测灵敏度,可以检测到1 fmol/L的mi R-125a-5p.整个分析时间不超过1 h,并且实验结果可以用肉眼观察.这个平台可以同时检测肺癌相关mi R-126和mi R-125a-5p,并且具有费用低、快速和便捷的优势,有望用于mi RNAs的超灵敏可视化检测.

关键词： microRNA 纳米金基因芯片生物传感器可视化检测

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单片集成MEMS红外传感器的读出电路设计

单片集成MEMS红外传感器的读出电路设计

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第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：姚镭李铁郝跃国熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家重点实验室上海 200050

实现了一种用于放大MEMS红外传感器微弱输出信号的低噪声读出电路。电路架构基于斩波技术(CHS),理论分析其能有效降低低频噪声。利用苏州和舰科技(HJTC)的商用0.18umCMOS工艺流程制作的试样芯片。测试结果证实了此电路的工作原理。整个... 详细信息

实现了一种用于放大MEMS红外传感器微弱输出信号的低噪声读出电路。电路架构基于斩波技术(CHS),理论分析其能有效降低低频噪声。利用苏州和舰科技(HJTC)的商用0.18umCMOS工艺流程制作的试样芯片。测试结果证实了此电路的工作原理。整个电路系统的增益为84.9dB,带宽160Hz,等效输入噪声87nV/rtHz。

关键词：读出电路设计红外传感器功能模块斩波技术

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基于Android的穿戴式脉搏波监测系统的设计与实现

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电子设计工程 2017年第4期25卷 46-49,55页

作者：张菡阁肖小玉黄善洛金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

脉搏波作为一种监护人类心血管健康的重要生理病理特征,能反映心血管功能参数的变化趋势。为了研制一款功能强大、经济便携的脉搏波监测系统,设计了一种基于MSP430单片机和Android的穿戴式脉搏波监测系统。通过实验测试,验证了系统具有... 详细信息

脉搏波作为一种监护人类心血管健康的重要生理病理特征,能反映心血管功能参数的变化趋势。为了研制一款功能强大、经济便携的脉搏波监测系统,设计了一种基于MSP430单片机和Android的穿戴式脉搏波监测系统。通过实验测试,验证了系统具有准确、灵敏、便携、经济和实时等优点,能较好地满足使用者的需求。

关键词：脉搏波穿戴式 Android MSP430单片机

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基于数字电路的二阶Σ-Δ调制微加速度计

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传感器与微系统 2015年第1期34卷 91-93页

作者：李洋黎晓林吴健周晓峰车录锋中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100039

为了简化模拟电路部分的设计,减少模拟电路的干扰,提出了一种基于数字电路的Σ-Δ调制微加速度计。在传统由纯模拟电路搭建的Σ-Δ接口电路基础上,将基于运算放大器的比例放大、微分、积分电路使用现场可编程门阵列(FPGA)进行实现。使... 详细信息

为了简化模拟电路部分的设计,减少模拟电路的干扰,提出了一种基于数字电路的Σ-Δ调制微加速度计。在传统由纯模拟电路搭建的Σ-Δ接口电路基础上,将基于运算放大器的比例放大、微分、积分电路使用现场可编程门阵列(FPGA)进行实现。使用分立元件搭建了PCB板级电路,实现了采样频率为50 k Hz的二阶Σ-Δ闭环调制接口电路。测试结果表明:该加速度计灵敏度为1.4 V/gn,系统基带内闭环噪声密度小于400μgn/Hz1/2。

关键词：数字电路微加速度计 Σ-Δ 现场可编程门阵列

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智能家居与电器用先进传感器

智能家居与电器用先进传感器

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2019《家电科技》学术年会

作者：于海涛李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

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低电压下静电力驱动的数字微流控芯片

低电压下静电力驱动的数字微流控芯片

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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

作者：刘翔皋华敏李铁周萍王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院，北京，100039 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯... 详细信息

微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯片而言，没有可动部件，不需要复杂的微泵微阀结构和控制，成为当前研究的热点。本文基于静电力的驱动原理，只需单层控制电极，工艺简单，通过优化结构，采用高介电常数介质层和减少介质层厚度，大大降低了液滴驱动电压。

关键词：微全分析系统数字微流控芯片静电力驱动

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一种在线式超低量程浊度高精度测量传感器研制

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无线通信技术 2022年第1期31卷 30-35页

作者：管轶华项志强郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院宁波315211 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

本文基于浊度90°散射检测原理,设计并制备了在线式超低量程浊度检测传感器。采用发散角为±4°、波长为850nm的高亮红外LED作为光源,以LED前端透镜结构替代原传感器所需光源准直结构,降低传感器复杂度、缩小体积并提高稳定... 详细信息

本文基于浊度90°散射检测原理,设计并制备了在线式超低量程浊度检测传感器。采用发散角为±4°、波长为850nm的高亮红外LED作为光源,以LED前端透镜结构替代原传感器所需光源准直结构,降低传感器复杂度、缩小体积并提高稳定性;采用灵敏度高、噪声低、体积小的硅光电倍增管作为光敏探测元件;配合所设计的后端微弱信号采集、处理电路对浊度信号进行准确采集。经检测,传感器的在0-1NTU范围内线性度达0.999,检测限低至0.01NTU,实现在线式浊度检测传感器具备超低量程的同时,具有小型化、易集成的特点,可应用于浊度指标的微量在线监测。

关键词：在线式超低量程浊度测量小型集成化微弱信号检测

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