检索结果-内蒙古大学图书馆

中国微米纳米技术第七届学术年会

作者：肖素艳车录锋李昕欣王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

本文基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载... 详细信息

本文基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上;第二种方法是用胶粘剂将P16051膜暂时粘在载体硅片上,然后分别在两种柔性PI衬底上制作铂薄膜热敏电阻温度传感器,最后将器件从硅片载体上分离下来.采用低温(小于300℃)工艺技术减小了PI柔性衬底的热循环.实验测试结果表明,PI衬底上的铂薄膜热敏电阻具备良好的线性度,其电阻温度系数接近于0.0023/℃.

关键词：温度传感器柔性衬底 MEMS技术聚酰亚胺铂薄膜电阻

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便携式微生物检测仪和配套试剂盒的研制

便携式微生物检测仪和配套试剂盒的研制

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第十二届全国化学传感器学术会议

作者：葛玉卿许宝建景奉香金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

针对目前饮用水和食品监测和控制中缺乏快速、灵敏、可靠检测致病菌的现状,采用生物发光法结合免疫磁分离技术实现快速检测目标致病菌,自主研发了具有无线传输功能的便携式微生物检测仪和配套肠出血性大肠杆菌检测试剂盒,实现致病菌信... 详细信息

针对目前饮用水和食品监测和控制中缺乏快速、灵敏、可靠检测致病菌的现状,采用生物发光法结合免疫磁分离技术实现快速检测目标致病菌,自主研发了具有无线传输功能的便携式微生物检测仪和配套肠出血性大肠杆菌检测试剂盒,实现致病菌信息快速检测与传感,并基于物联网技术构成致病菌无线监控平台与微系统,使用免疫磁珠分离肠出血性大肠杆菌，经验证使用便携式微生物检测仪检测灵敏度可达到lOCFU/mL，检测时间不超过50min。本传感器和微系统技术在典型食品安全领域获得重要应用，为保证我国食品安全提供先进可靠的传感检测技术。

关键词：微生物检测仪微生物试剂盒制备工艺肠出血性大肠杆菌致病菌信息

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MEMS加速度传感器及其在地球物理勘探中的应用

MEMS加速度传感器及其在地球物理勘探中的应用

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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

作者：车录锋中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海 200050

利用多种传感器可以对地球进行透视探测，从而指导资源勘探。检波器研制是地震勘探的关键技术，其性能直接影响到地震数据采集的质量，已成为制约石油物探技术发展的主要瓶颈。基于MEMS加速度传感器的数字检波器在频带、动态范围和轴向...

利用多种传感器可以对地球进行透视探测，从而指导资源勘探。检波器研制是地震勘探的关键技术，其性能直接影响到地震数据采集的质量，已成为制约石油物探技术发展的主要瓶颈。基于MEMS加速度传感器的数字检波器在频带、动态范围和轴向抗干扰性等性能指标上优于传统检波器，将在高分辨率、高保真、高精度地震勘探方面实现重大突破。介绍了国外MEMS检波器的研究现状以及国内取得的重要进展。自主设计制造了基于硅硅四层键合的高性能加速度传感器，进行了多次野外地震勘探试验，取得了良好的应用效果。

关键词：

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硅基MEMS振荡器的静电反馈技术研究

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电子设计工程 2016年第21期24卷 156-159页

作者：张磊游卫龙杨恒李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100040

硅基MEMS振荡器的频率温度系数高达-30 ppm/℃,是石英晶体振荡器的100倍以上,因此必须进行频率温度补偿。静电反馈是一种低功耗补偿技术,但是静电力小,对于频率较高的振荡器效果不理想。设计了一种具有高Q值的I2BAR结构的高频振荡器,通... 详细信息

硅基MEMS振荡器的频率温度系数高达-30 ppm/℃,是石英晶体振荡器的100倍以上,因此必须进行频率温度补偿。静电反馈是一种低功耗补偿技术,但是静电力小,对于频率较高的振荡器效果不理想。设计了一种具有高Q值的I2BAR结构的高频振荡器,通过优化振荡结构、制作纳米尺度间隙、采用高掺杂衬底来提高静电反馈的作用。建立了器件的机电耦合解析模型,并根据器件的物理结构和尺寸建立了包含寄生效应的等效电学模型,进行PSpice仿真。实验测得振荡器在30 Pa气压下具有48 000的Q值,当电压从1 V增加到25 V,频率变化-1 194 ppm,频率温度特性为-14 ppm/℃,表明通过静电反馈能够补偿85℃范围内温度变化引起的频率偏移。

关键词： MEMS振荡器静电反馈电学模型温度补偿

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两维碰撞加速度传感器及其实用化

两维碰撞加速度传感器及其实用化

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第11届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：周伟刘民姜伟李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固有频率15kHz。传感器... 详细信息

基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固有频率15kHz。传感器贴装在PCB板上,由经济实用的放大电路进行处理,可以实现两维的加速度测量,电压输出1～4V,带宽500Hz。传感器在车辆运输等实际环境下进行了试用,性能可靠稳定,具有良好的实用化前景。

关键词：加速度传感器碰撞冲击测量两维碰撞 MEMS加工模块化封装

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痕量危险化学品荧光传感材料与器件

痕量危险化学品荧光传感材料与器件

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中国化学会第29届学术年会

作者：贺庆国付艳艳高宜逊陈蕾朱德峰曹慧敏程建功中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室中国科学院大学

近年来,由于众所周知的国家安全和环境问题的需要,危险化学品的痕量探测成为近年来关注的焦点。荧光传感技术尤其是荧光共轭聚合物由于其灵敏度高、选择性好、响应快等受到广泛关注。通过特殊的化学反应、能级调节和形貌控制等合成了系... 详细信息

近年来,由于众所周知的国家安全和环境问题的需要,危险化学品的痕量探测成为近年来关注的焦点。荧光传感技术尤其是荧光共轭聚合物由于其灵敏度高、选择性好、响应快等受到广泛关注。通过特殊的化学反应、能级调节和形貌控制等合成了系列的高性能传感材料。以取向性纳米线阵列为基底,利用倏逝波等效应,实现了弱光激发信号放大,提高了传感性能,制备了高性能荧光传感器件。

关键词：危险化学品痕量检测荧光纳米结构器件

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一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术

一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术

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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：史明甫焦继伟包晓清冯飞杨恒李铁王跃林中国科学院研究生院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室上海上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室上海

本文研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米... 详细信息

本文研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米沟道阵列.在两种不同的离子束刻蚀条件下,在2 μm图形内分别制备出单纳米沟道和双纳米沟道,最小宽度可达440 nm.

关键词：微/纳机械系统纳米沟道离子束刻蚀

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微图案技术及在组织工程中的应用

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中国组织工程研究 2018年第30期22卷 4900-4905页

作者：邱昌俊浑婷婷赵莹彤赵峰何静雯孙艳北京航空航天大学生物与医学工程学院生物力学与力生物学教育部重点实验室北京市100191 生物医学工程高精尖创新中心北京航空航天大学北京市102402 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海市200050

背景:随着微图案技术的不断创新和发展,其在细胞生物学、组织工程和再生医学等相关研究中也有着更加广泛的应用,为体外构建人工组织提供了新的动力。目的:总结并讨论微图案技术的分类、特点及其在组织工程中的应用。方法:检索2001至2017... 详细信息

背景:随着微图案技术的不断创新和发展,其在细胞生物学、组织工程和再生医学等相关研究中也有着更加广泛的应用,为体外构建人工组织提供了新的动力。目的:总结并讨论微图案技术的分类、特点及其在组织工程中的应用。方法:检索2001至2017年Web of Science数据库、Pub Med数据库及中国知网与微图案技术及其在组织工程中应用相关的文献,英文检索词为"micro-pattern technique,tissue engineering",中文检索词为"微图案技术,组织工程"。结果与结论:通过微图案技术可形成图案化的细胞排列,进而控制干细胞的形状,调控干细胞融合和分化等,以形成可用于组织替代物的人工组织工程产品,被广泛应用于骨组织工程、肌肉组织工程、血管组织工程及神经组织工程及肝脏组织工程研究中。然而,利用微图案技术构建人工组织的过程中,仍有许多细胞生物学机制和内在机制亟待进一步探索和阐明,例如:如何通过微图案技术构建人工肌肉组织,如何纯化许旺细胞,以及进一步促进微图案技术在血管组织工程和肝脏组织工程中的发展和创新等问题。

关键词：细胞图案化细胞形状细胞分化微图案技术组织工程细胞外基质 3D打印技术纤维支架生物材料细胞外基质细胞分化组织工程

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一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器

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功能材料与器件学报 2004年第3期10卷 355-358页

作者：韩晓峰吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院研究生院北京100039

设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率。该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB。

关键词：可调谐光衰减器双脊型波导 SOI材料光网络无源光器件光波分复用系统

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石墨烯复合修饰电极的电化学应用

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化学传感器 2010年第4期30卷 9-13页

作者：陈志华葛玉卿金庆辉柳建设赵建龙东华大学环境科学与工程学院上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

石墨烯作为一种二维结构的新型材料,其优异性能得到了人们的广泛关注。该文分析了石墨烯和功能化石墨烯的优异性质,总结了石墨烯作为新型传感材料的应用优势,并介绍了石墨烯对于酶电极的电子传导促进和检测优化以及石墨烯与其它有机物... 详细信息

石墨烯作为一种二维结构的新型材料,其优异性能得到了人们的广泛关注。该文分析了石墨烯和功能化石墨烯的优异性质,总结了石墨烯作为新型传感材料的应用优势,并介绍了石墨烯对于酶电极的电子传导促进和检测优化以及石墨烯与其它有机物修饰后的复合电极对各种生物小分子的检测分析,同时对各种基于石墨烯材料的电化学传感器进行了简单介绍。展望了石墨烯修饰电极在生物检测与环境监测等方面的电化学应用前景。

关键词：石墨烯电化学生物检测传感器

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