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语言

  • 361 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室"
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排序:
一种FIB刻蚀结合KOH腐蚀的制造纳米梁的新方法
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功能材料与器件学报 2010年 第2期16卷 163-168页
作者: 成海涛 杨恒 王跃林 中国科学院研究生院 北京100864 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050
常规的通过干法刻蚀制作纳米梁的方法会不可避免地在梁上引入晶格损伤层。本文提出一种制造无晶格损伤层纳米梁的新工艺方法。在常规光刻后,辅助利用FIB(聚焦离子束)刻蚀修改硅梁中部上方的SiO2掩模。根据单晶硅的材料和工艺特点,通过KO... 详细信息
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单壁碳纳米管拉伸试验的分子动力学模拟
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中国科学(E辑) 2008年 第3期38卷 411-420页
作者: 付称心 陈云飞 焦继伟 东南大学成贤学院机械工程系 南京210096 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海201800
采用Brenner势函数描述碳纳米管中碳原子间的相互作用,通过分子动力学方法对几种单壁碳纳米管进行轴向拉伸试验研究,得出其Young模量为4.2 TPa,强度极限为1.40~1.77 TPa.在对碳管拉伸过程中,发现只要应变不达到断裂极限,卸载时的应力-... 详细信息
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用于超高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研制
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真空科学技术学报 2005年 第6期25卷 422-426页
作者: 杨尊先 于映 李昕欣 福州大学电子科学与应用物理系 福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
本文研制一种用于超高密度数据存储的硅基纳机电探针阵列器件.简要介绍了器件结构及其工作原理,并通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现器件的结构设计.并运用先进的微纳加工工艺技术制造出相应的器件,具体包括:先进的纳米硅尖制... 详细信息
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基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路
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仪表技术传感 2013年 第3期 7-10页
作者: 柴光飞 刘民 于海涛 许鹏程 徐铁刚 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计了基于FPGA的谐振式微悬臂梁传感器接口电路,将接口电路与谐振式微悬臂梁传感器组成闭环自激振荡系统。为满足接口电路智能化与输出频率稳定性的要求,设计了带有自动扫频功能的锁相环,以此锁相环为核心并结合外围放大、滤波、移相... 详细信息
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基于表面微机械技术的压阻式加速度传感
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仪表技术传感 2011年 第11期 4-7页
作者: 魏长征 周伟 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低应力氮化硅薄膜为结构材料,多晶硅作为压阻材料,引入了准LIGA的电镀铜工艺,实现了一款低成本、与IC制造工... 详细信息
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新型L形梁压阻微加速度传感
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半导体技术 2009年 第12期34卷 1177-1180页
作者: 高廷金 熊斌 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
介绍了一种新型的基于MEMS体硅加工工艺的L形梁压阻微加速度传感器。在加工过程中采用Si—Si直接键合完成底板与传感器支撑框体之间的粘合,使得后续加工工艺更加简单;采用DRIE释放梁结构,从而保证了梁结构的完整性。分析了该传感器的结... 详细信息
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基于Si塑性变形的二维驱动器的设计
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半导体技术 2011年 第8期36卷 577-581页
作者: 陈琳 李伟 戈肖鸿 车录锋 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成。驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘填充槽,以实现垂直驱动部分和水平驱动部分的电绝缘,然后利用DR... 详细信息
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基于SOI材料的刻蚀光栅分波器的制作工艺
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Journal of Semiconductors 2005年 第1期26卷 138-142页
作者: 王文辉 唐衍哲 戈肖鸿 吴亚明 杨建义 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学信息与电子工程学系 杭州310027
研究了基于绝缘材料上的硅 (SOI)材料的平面波导刻蚀光栅分波器的主要制作工艺 .利用电感耦合等离子体刻蚀 (ICP)技术 ,在SOI材料上制作了垂直度大于 89°的光滑的光栅槽面 .氧化抛光后刻蚀侧壁的表面均方根粗糙度 (RMS)有 3nm的改... 详细信息
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Modified Reynolds Equation for Squeeze-Film Air Damping of Slotted Plates in MEMS Devices
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Journal of Semiconductors 2006年 第3期27卷 473-477页
作者: 孙远程 鲍敏杭 杨恒 黄宜平 复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200030
A differential equation for calculating squeeze-film air damping in slotted plates is developed by modifying the Reynolds equation. A term is added to account for the effect of airflow through the slots on the air dam... 详细信息
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纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究
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传感技术 2004年 第1期23卷 73-76页
作者: 杨尊先 程保罗 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学信息与电子工程学系 浙江杭州310027
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖... 详细信息
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