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第十一届全国分子束外延学术会议

作者：陈星佑张永刚顾溢奚苏萍郭作兴周立李爱珍李好斯白音中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 吉林大学教育部材料科学与工程学院汽车材料重点实验室长春130025

波长位于1～3μm波段的短波红外光电探测器及其阵列在航天遥感、夜视、光谱测量等领域都有重要的应用[1].而In Ga1-xAs材料通过调节In组分波长可以覆盖0.87～3.5μm波段,且具有高迁移率等优点,尤其是InGaAs探测器能够室温工作,因此备受...

波长位于1～3μm波段的短波红外光电探测器及其阵列在航天遥感、夜视、光谱测量等领域都有重要的应用[1].而In Ga1-xAs材料通过调节In组分波长可以覆盖0.87～3.5μm波段,且具有高迁移率等优点,尤其是InGaAs探测器能够室温工作,因此备受关注.

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超导纳米线单光子探测系统数字化监控平台研究

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信息技术与网络安全 2019年第6期38卷 69-75页

作者：汪旭尤立星成明蒋燕阳王永良中国科学技术大学微电子学院安徽合肥230026 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 上海赋同科技有限公司上海200000 浙江赋同科技有限公司浙江嘉兴314000

超导纳米线单光子探测是新型光电探测技术,因具有高探测效率、低时间抖动、低暗计数等优良特性被广泛应用到量子信息技术等领域。系统包括电子学模块、制冷模块、探测器和真空模块。通过搭建硬件集成系统和使用软件开发技术,研发出基于... 详细信息

超导纳米线单光子探测是新型光电探测技术,因具有高探测效率、低时间抖动、低暗计数等优良特性被广泛应用到量子信息技术等领域。系统包括电子学模块、制冷模块、探测器和真空模块。通过搭建硬件集成系统和使用软件开发技术,研发出基于传输/网际协议和RS-232串口协议通信的数字化监控平台。该平台能有效提升探测系统的可操作性,有效提高测量实验的工作效率,推进单光子探测技术产业化进程的发展和相关领域的应用。平台能实时采集与分析探测系统中的温度、真空度等参数,同时包括对系统安保监控信息呈动态展示,并自动控制系统从液氦温区到室温(4~300K)的升降温过程。

关键词：超导纳米线单光子探测数字化自动控制量子通信

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应用于变电站接地网的空间磁场检测装置

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功能材料与器件学报 2019年第1期25卷 60-63页

作者：姜海波黄俊澄赵世钦马天驰李伟贵州电网有限责任公司都匀供电局都匀558000 中光华研电子科技有限公司上海200000 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200000

变电站接地网发生短路故障时,导体上的电流以及土壤中的泄漏电流会产生较强的空间磁场,可能影响站内设备的正常工作进而危害变电站的安全运行,现有的方法无法检测土壤中的泄漏电流对空间磁场的影响。对此本文设计了一款以超薄的液晶聚合... 详细信息

变电站接地网发生短路故障时,导体上的电流以及土壤中的泄漏电流会产生较强的空间磁场,可能影响站内设备的正常工作进而危害变电站的安全运行,现有的方法无法检测土壤中的泄漏电流对空间磁场的影响。对此本文设计了一款以超薄的液晶聚合物LCP为介质基板的柔性宽带天线,用于准确检测变电站接地网的空间磁场,该天线的基本辐射单元为宽带单极子天线,采用了微带馈电的馈电方式。经软件仿真结果表明,该天线覆盖在0.5KHz-22KHz工作频段,已经满足了宽带天线的要求。

关键词：变电站接地网宽带天线液晶聚合物

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基于超导TES探测器X射线能谱仪的稀土元素L边荧光谱学研究

基于超导TES探测器X射线能谱仪的稀土元素L边荧光谱学研究

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中国稀土学会2021学术年会

作者：吴秉骏张硕夏经铠刘志信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院大学大科学中心上海科技大学上海科技大学物质科学与技术学院

基于超导转变边探测器(TES, Transition-Edge Sensor)的低温X射线能谱仪兼具高能量分辨率、高探测效率、低噪声等特点,可以大幅提升实验室及光源线站的能谱分析能力[1-3]。TES探测器作为生长在Si衬底上的微纳器件,以高原子序数材料(如Au... 详细信息

基于超导转变边探测器(TES, Transition-Edge Sensor)的低温X射线能谱仪兼具高能量分辨率、高探测效率、低噪声等特点,可以大幅提升实验室及光源线站的能谱分析能力[1-3]。TES探测器作为生长在Si衬底上的微纳器件,以高原子序数材料(如Au)作为吸收体提高其计数率,并以Mo-Au双层薄膜构成其温度敏感结构[3,4]。将其超导转变温度稳定于95 mK左右,可以对从软X射线(～1.5 keV)至硬X射线(～18 keV)的超宽能量范围有很好的电学信号线性响应,并可以精确测量入射X射线光子的能量[4-6]。目前已于上海科技大学建设完成了国内首套基于多像素超导TES探测器的低温X射线能谱仪并已投入实际运行[1]。当稀土元素受到X射线照射时,荧光激发所得的L边光子的能量大小恰好处于TES探测器的最佳工作范围,可以通过能量标定将电学信号精确转换成能量刻度[7,8]。通过一段时间的荧光信号数据积累,可以得到较宽能量范围下的该稀土元素的L边荧光谱,从而可以进行分峰拟合,精确测得不同峰的中心值、峰形状乃至面积比例[8]。对一定比例的不同稀土元素铽(Tb,Z=65)、镝(Dy,Z=66)、钬(Ho,Z=67)氧化物混合物的X射线荧光谱实测结果如下图Fig.1所示,通过标定分析可以分析得到其不同化学组成的成分比例等信息,从而为进一步的稀土资源开发、环境保护等应用提供有效参考[7,9]。

关键词：超导转变边探测器 X射线荧光发射谱稀土元素化学组成分析

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氧化铝抛光液磨料制备及其稳定性研究进展

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上海第二工业大学学报 2015年第2期32卷 104-108页

作者：吴俊星刘卫丽谢华清宋志棠朱月琴上海第二工业大学城市建设与环境工程学院上海201209 上海新安纳电子科技有限公司上海201506 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法。根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法。在分析氧化铝抛光液应用的基础上,提出蓝宝石衬底抛光液将来的发展方向... 详细信息

介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法。根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法。在分析氧化铝抛光液应用的基础上,提出蓝宝石衬底抛光液将来的发展方向,希望为今后的氧化铝抛光液研究提供一些思路。

关键词：化学机械抛光纳米氧化铝表面改性

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高性能InAs/GaAs量子点外腔激光器

高性能InAs/GaAs量子点外腔激光器

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第十届全国分子束外延学术会议

作者：严进一龚谦曹春芳成若海王海龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海市200050 曲阜师范大学物理工程学院山东省曲阜市273165

可调谐外腔半导体激光器通过引入外部光学反馈介质,利用普通的法布里-珀罗腔半导体激光器即可可以实现单模激射和激射波长可调的激光器,作为光源,其具有单一频率、窄线宽、波长可大范围调谐、结构紧凑等诸多优点,在光传感、精密光谱测... 详细信息

可调谐外腔半导体激光器通过引入外部光学反馈介质,利用普通的法布里-珀罗腔半导体激光器即可可以实现单模激射和激射波长可调的激光器,作为光源,其具有单一频率、窄线宽、波长可大范围调谐、结构紧凑等诸多优点,在光传感、精密光谱测量等领域有广泛的应用.与量子阱激光器相比较,量子点激光器作为外腔激光器的增益介质时可获得更宽的波长调谐范围和更低的阈值电流密度.本文中,利用InAs/GaAs量子点激光器和Littrow小型化外腔装置构建了InAs/GaAs量子点外腔激光器,并对其进行了稳定性测试,单模粗调谐测试,无跳模连续调谐测试分析.

关键词：砷化铟量子点砷化镓量子点外腔激光器制造工艺分子束外延设备稳定性分析

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基于光纤微电流传感技术的劣化绝缘子检测

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功能材料与器件学报 2018年第3期24卷 185-190页

作者：何冰靳鹏飞王宗洋裴蕴智李伟国网上海市电力公司检修公司上海200000 江苏大学机械工程学院镇江212000 中光华研电子科技有限公司上海200000 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200000

针对目前高压输电线路上绝缘子发生劣化不易检测的问题,提出一种基于MEMS光纤微电流传感技术的绝缘子劣化检测方法。首先建立带电绝缘子串仿真模型,得到绝缘子串微电流与其周围弱磁场关系,又研究了绝缘子劣化时微电流变化规律,最后利用M... 详细信息

针对目前高压输电线路上绝缘子发生劣化不易检测的问题,提出一种基于MEMS光纤微电流传感技术的绝缘子劣化检测方法。首先建立带电绝缘子串仿真模型,得到绝缘子串微电流与其周围弱磁场关系,又研究了绝缘子劣化时微电流变化规律,最后利用MEMS光纤传感器检测绝缘子串周围磁场,可实现对绝劣化绝缘子的无接触式检测,通过实验分析与计算,验证了该方法具有很好的精度,为劣化绝缘子检测提供了一种新的和安全的方式。

关键词：绝缘子串微电流 MEMS光纤微电流传感器劣化绝缘子检测

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金刚石薄膜三维卷曲微结构的制备及其光学微腔研究

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功能材料与器件学报 2022年第4期28卷 395-400页

作者：武楷博田子傲梅永丰复旦大学材料科学系上海200433 复旦大学智慧纳米机器人与纳米系统国际研究院上海200438 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海2000503 复旦大学光电研究院上海200438 复旦大学义乌研究院浙江322000

特征长度位于纳米至微米级尺度的三维(3D)微结构具有丰富而独特的性质与功能,成为了下一代微纳器件的重要组成部分。本文实现了通过应力工程将具有百纳米级厚度的纳米晶金刚石纳米薄膜卷曲构筑成微管、微环、微锯齿条带以及微弹簧等复... 详细信息

特征长度位于纳米至微米级尺度的三维(3D)微结构具有丰富而独特的性质与功能,成为了下一代微纳器件的重要组成部分。本文实现了通过应力工程将具有百纳米级厚度的纳米晶金刚石纳米薄膜卷曲构筑成微管、微环、微锯齿条带以及微弹簧等复杂三维微结构,观测到乙醇表面张力诱导金刚石纳米薄膜脱附衬底的现象。并且,本文研究了金刚石自卷曲微管的回音壁模式光谱特性及色心的腔耦合增强特性,通过精细结构设计实现了高阶谐振模式的有效调控。

关键词：金刚石自卷曲回音壁模式光学微腔

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高性能单光子探测技术研究进展

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中国基础科学 2020年第1期22卷 25-29页

作者：尤立星张腊宝史生才张军中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 南京大学电子科学与工程学院南京210000 中国科学院紫金山天文台毫米波与亚毫米波技术实验室南京210034 中国科学技术大学微尺度物质科学国家研究中心合肥230026

"高性能单光子探测技术"项目针对光量子信息和量子调控,特别是广域量子通信网络对高性能单光子探测器(SPD)的需求,开展超导纳米线单光子探测器(SNSPD)、超导相变边缘单光子探测器(TES)、InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)以及上... 详细信息

"高性能单光子探测技术"项目针对光量子信息和量子调控,特别是广域量子通信网络对高性能单光子探测器(SPD)的需求,开展超导纳米线单光子探测器(SNSPD)、超导相变边缘单光子探测器(TES)、InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)以及上转换单光子探测器(UCD)研究。项目于2017年7月立项,项目执行期为5年,共包括4个课题。项目各课题研究工作正在按照计划有序推进,已顺利完成中期既定的任务和目标。SNSPD器件和APD及UCD等单光子探测器件性能已取得部分突破;特别是高效率SNSPD和小型化InGaAs/InP APD方面成果已经达到了国际领先水平。通过和专项其他项目承担单位合作,在应用演示方面取得了量子通信、光量子模拟、量子随机数和贝尔不等式验证等多项重大应用成果。部分器件指标及应用演示成果提前达到了项目结题考核指标。

关键词：单光子探测器超导纳米线单光子探测器超导相变边缘单光子探测器上转换单光子探测器 InGaAs/InP雪崩光电二极管探测效率暗计数

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基于光纤传感的非覆冰期输电线路状态监测技术研究

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功能材料与器件学报 2020年第1期26卷 31-34页

作者：袁华璐裴蕴智靳鹏飞中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州510000 中光华研电子科技有限公司上海200000 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200000

在OPGW直流融冰监测技术研究的基础上,我们基于光纤传感技术对非覆冰期高压输电线路状态监测进行了研究,以提高输电线路状态综合检测的丰富性及投资效用。主要对非覆冰期超高压输电线路所受应力、温度两个主要外界影响因素进行研究,实... 详细信息

在OPGW直流融冰监测技术研究的基础上,我们基于光纤传感技术对非覆冰期高压输电线路状态监测进行了研究,以提高输电线路状态综合检测的丰富性及投资效用。主要对非覆冰期超高压输电线路所受应力、温度两个主要外界影响因素进行研究,实验结果表明,基于光纤传感的非覆冰期输电线路状态监测技术可以有效的对这两种外界环境进行识别。

关键词：光纤传感应力温度非覆冰期监测

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