咨询与建议
  • 全部搜索
  • 期刊论文
  • 图书
  • 学位论文
  • 标准
  • 纸本馆藏
  • 外文资源发现
  • 数据库导航
  • 超星发现
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 24 篇 期刊文献
  • 18 篇 会议

馆藏范围

  • 42 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 42 篇 工学
    • 30 篇 材料科学与工程（可...
    • 29 篇 电子科学与技术（可...
    • 3 篇 电气工程
    • 2 篇 机械工程
    • 1 篇 信息与通信工程
    • 1 篇 计算机科学与技术...
  • 5 篇 理学
    • 5 篇 物理学

主题

  • 10 篇 化学机械抛光
  • 6 篇 抛光液
  • 4 篇 离子束辅助沉积
  • 4 篇 soi
  • 3 篇 相变
  • 3 篇 超大规模集成电路
  • 3 篇 高阻soi
  • 3 篇 ge2sb2te5
  • 2 篇 键合强度
  • 2 篇 电化学
  • 2 篇 相变存储器
  • 2 篇 高压器
  • 2 篇 等离子体
  • 2 篇 浮体效应
  • 2 篇 氧化
  • 2 篇 平坦化
  • 2 篇 等离子体活化
  • 2 篇 碳纳米管
  • 2 篇 击穿电压
  • 2 篇 电学性能

机构

  • 14 篇 中国科学院上海微...
  • 11 篇 中国科学院上海微...
  • 4 篇 中国科学院上海微...
  • 3 篇 中国科学院研究生...
  • 2 篇 南京大学
  • 2 篇 中国科学院上海微...
  • 2 篇 中国科学院上海微...
  • 2 篇 中国科学院上海微...
  • 2 篇 河北工业大学
  • 2 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中国科学院上海原...
  • 1 篇 汉城大学
  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 中国科学院
  • 1 篇 香港城市大学
  • 1 篇 万象硅峰电子股份...
  • 1 篇 中国科学院上海微...
  • 1 篇 西安电子科技大学
  • 1 篇 华东师范大学
  • 1 篇 江苏第三代半导体...

作者

  • 26 篇 宋志棠
  • 15 篇 封松林
  • 12 篇 刘卫丽
  • 11 篇 张楷亮
  • 8 篇 林成鲁
  • 6 篇 蒋军
  • 6 篇 柳襄怀
  • 6 篇 张苗
  • 6 篇 冯涛
  • 5 篇 张正选
  • 4 篇 刘波
  • 4 篇 王曦
  • 4 篇 江炳尧
  • 4 篇 詹达
  • 4 篇 刘奇斌
  • 4 篇 马小波
  • 4 篇 骆苏华
  • 4 篇 任琮欣
  • 3 篇 王石冶
  • 3 篇 林青

语言

  • 42 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体功能薄膜工程与技术研究中心"
共 42 条 记 录，以下是41-50 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜
用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜
收藏
分享
引用
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
作者： 邢玉梅 陶凯 俞跃辉 宋朝瑞 郑志宏 半导体功能薄膜工程技术研究中心 中国科学院上海微系统与信息技术研究所(上海)
采用离子束辅助增强沉积系统(IBED)在SIMOX SOI顶层硅上生长氧化铪薄膜,随后分别采用O或N气氛下迅速退火以及N气氛下炉管退火,利用掠角X射线衍射技术(GAXRD)考察了退火对氧化铪薄膜结晶性能的影响;同时借助X射线光电子能谱(XPS)研究了... 详细信息
来源： 评论
高阻SOI在射频电路中的应用优势
高阻SOI在射频电路中的应用优势
收藏
分享
引用
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
作者： 骆苏华 刘卫丽 张苗 刘奇斌 林成鲁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所国家半导体功能薄膜工程技术研究中心(上海)
本文主要概述了基片电阻率对集成电路性能的影响,采用高阻SOI大大提高了RF电路性能,为CMOS在GHz频域的应用提供了发展基础.
来源： 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共5页 <<  < 1 2 3 4 5 >  >>
回到顶部
执行限定条件