咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 1,478 篇 期刊文献
  • 411 篇 会议
  • 3 件 标准
  • 2 篇 专利

馆藏范围

  • 1,894 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1,634 篇 工学
    • 702 篇 电子科学与技术(可...
    • 447 篇 材料科学与工程(可...
    • 368 篇 仪器科学与技术
    • 259 篇 光学工程
    • 222 篇 机械工程
    • 156 篇 信息与通信工程
    • 133 篇 计算机科学与技术...
    • 113 篇 控制科学与工程
    • 104 篇 电气工程
    • 85 篇 化学工程与技术
    • 61 篇 软件工程
    • 30 篇 动力工程及工程热...
    • 22 篇 航空宇航科学与技...
    • 21 篇 生物医学工程(可授...
    • 21 篇 生物工程
    • 9 篇 农业工程
  • 310 篇 理学
    • 191 篇 物理学
    • 70 篇 化学
    • 32 篇 系统科学
    • 19 篇 生物学
    • 8 篇 数学
  • 59 篇 管理学
    • 55 篇 管理科学与工程(可...
  • 44 篇 医学
    • 11 篇 临床医学
    • 11 篇 公共卫生与预防医...
    • 10 篇 基础医学(可授医学...
    • 10 篇 医学技术(可授医学...
  • 29 篇 艺术学
    • 29 篇 设计学(可授艺术学...
  • 18 篇 农学
    • 8 篇 作物学
  • 18 篇 军事学
    • 16 篇 军队指挥学
  • 8 篇 经济学
    • 7 篇 应用经济学
  • 3 篇 教育学
  • 1 篇 法学
  • 1 篇 文学

主题

  • 67 篇 太赫兹
  • 48 篇 量子级联激光器
  • 41 篇 相变存储器
  • 40 篇 微机电系统
  • 31 篇 分子束外延
  • 30 篇 无线传感器网络
  • 24 篇 soi
  • 23 篇 mems
  • 22 篇 石墨烯
  • 22 篇 squid
  • 22 篇 ingaas
  • 18 篇 量子阱探测器
  • 18 篇 光电探测器
  • 17 篇 微机械陀螺
  • 17 篇 垂直腔面发射激光...
  • 16 篇 微电子机械系统
  • 16 篇 半导体激光器
  • 16 篇 传感器
  • 16 篇 卷积神经网络
  • 15 篇 气态源分子束外延

机构

  • 490 篇 中国科学院上海微...
  • 374 篇 中国科学院上海微...
  • 352 篇 中国科学院大学
  • 146 篇 中国科学院上海微...
  • 138 篇 中国科学院研究生...
  • 122 篇 中国科学院上海微...
  • 102 篇 中国科学院上海微...
  • 87 篇 上海科技大学
  • 73 篇 上海大学
  • 48 篇 中国科学院上海微...
  • 47 篇 浙江大学
  • 45 篇 信息功能材料国家...
  • 42 篇 中国科学院超导电...
  • 39 篇 上海无线通信研究...
  • 38 篇 中国科学院无线传...
  • 33 篇 中国科学院上海微...
  • 31 篇 中国科学院太赫兹...
  • 30 篇 上海交通大学
  • 27 篇 复旦大学
  • 26 篇 中国科学院上海微...

作者

  • 135 篇 王跃林
  • 118 篇 曹俊诚
  • 110 篇 宋志棠
  • 95 篇 张永刚
  • 80 篇 赵建龙
  • 79 篇 李昕欣
  • 71 篇 金庆辉
  • 68 篇 谢晓明
  • 66 篇 李爱珍
  • 55 篇 龚谦
  • 55 篇 顾溢
  • 53 篇 熊斌
  • 52 篇 尤立星
  • 52 篇 王营冠
  • 50 篇 吴惠桢
  • 49 篇 谭智勇
  • 46 篇 孔祥燕
  • 46 篇 车录锋
  • 45 篇 封松林
  • 45 篇 吴亚明

语言

  • 1,894 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术实验室"
1894 条 记 录,以下是1701-1710 订阅
排序:
硅衬底超精密CMP中抛光液的研究
硅衬底超精密CMP中抛光液的研究
收藏 引用
第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
作者: 钟旻 张楷亮 宋志棠 封松林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 半导体功能薄膜工程技术研究中心信息功能材料国家重点实验室200050上海
化学机械抛光(CMP)是当今IC生产的重要工艺之一,本文针对硅衬底的化学机械抛光,采用自制的大粒径硅溶胶抛光液进行抛光实验,研究了抛光液中主要组分对抛光速率和表面平整度的影响,以提高抛光速率和抛光质量,采用测厚仪、AFM、台阶仪对... 详细信息
来源: 评论
制备条件对Ge2Sb2Te5薄膜电学性能的影响
制备条件对Ge2Sb2Te5薄膜电学性能的影响
收藏 引用
第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
作者: 夏吉林 刘波 宋志棠 封松林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 半导体功能薄膜工程技术研究中心信息功能材料国家重点实验室上海200050
本文研究了磁控溅射制备Ge2Sb2Te5薄膜时,制备条件诸如功率、气压等对薄膜性能的影响.主要通过测量薄膜方块电阻随退火温度的变化情况,探索Ge2Sb2Te5薄膜的成长机理.实验结果表明,不同溅射功率下制备的薄膜经不同温度退火后方块电阻没... 详细信息
来源: 评论
从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨
从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨
收藏 引用
第九届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 李昕欣 王跃林 鲍敏杭 焦继伟 李铁 杨恒 罗乐 车录锋 传感技术国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 复旦大学 微电子学系上海200433
本文回顾和概括了MEMS传感器进入微米尺度后解决的几个关键性问题.文中结合微传感器发展的典型事例进行分析,并对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定.在总结的基础上分析目前传感器走向纳米尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳... 详细信息
来源: 评论
Ge2Sb2Te5抛光液的电化学及其化学机械抛光研究
Ge2Sb2Te5抛光液的电化学及其化学机械抛光研究
收藏 引用
第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
作者: 刘奇斌 张楷亮 王良咏 封松林 宋志棠 中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体功能薄膜工程研究中心 信息功能材料国家重点实验室中国科学院研究生院
Ge2Sb2Te5目前被公认为在相变存储器(PCRAM)中最好的材料.本文主要是从电化学角度考查Ge2Sb2Te5薄膜在化学机械抛光液中作用.我们研究了Ge2Sb2Te5薄膜在不同的PH值和H2O2浓度下的电化学特性.在实验中我们用的电化学设备是SolartronSI12... 详细信息
来源: 评论
C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究
C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究
收藏 引用
2005年全国功能材料学术年会
作者: 吴雪梅 诸葛兰剑 柳襄怀 苏州大学物理系 江苏省薄膜材料重点实验室(江苏苏州) 中国科学院上海微系统与信息技术研究所(上海)
利用双离子束溅射和射频磁控溅射技术在Mo基底上分别制备了C膜和Hf膜,并利用化学方法制备了BaO涂层以模拟行波管栅极结构,随后在N保护下,通过在900~1300K范围内退火,研究样品处于高温工作环境下表面相结构和成分的变化,以此解决了C、Hf... 详细信息
来源: 评论
半导体硅片双面超精密化学机械抛光的研究
半导体硅片双面超精密化学机械抛光的研究
收藏 引用
第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
作者: 张楷亮 宋志棠 钟晻 郑鸣捷 刘卫丽 封松林 董尧德 汪贵发 楼春兰 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 半导体功能薄膜材料工程技术研究中心信息功能材料国家重点实验室200050上海 万象硅峰电子股份有限公司 324300浙江
为提高硅晶片双面超精密抛光的抛光速率,在分析双抛工艺过程基础上,采用自制大粒径二氧化硅胶体磨料配制了SIMIT8030-Ⅰ型新型纳米抛光液,在双垫双抛机台上进行抛光试验.抛光液、抛光前后厚度、平坦性能及粗糙度通过SEM、ADE-9520型晶... 详细信息
来源: 评论
C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究
C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究
收藏 引用
2005年功能材料学术年会
作者: 吴雪梅 诸葛兰剑 柳襄怀 苏州大学物理系江苏省薄膜材料重点实验室 苏州大学物理系江苏省薄膜材料重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
利用双离子束溅射和射频磁控溅射技术在Mo基底上分别制备了C膜和Hf膜,并利用化学方法制备了BaO涂层以模拟行波管栅极结构,随后在N2保护下,通过在900-1300K范围内退火,研究样品处于高温工作环境下表面相结构和成分的变化,以此解释了C、H... 详细信息
来源: 评论
高容量的Ti-V基BCC相储氢合金
收藏 引用
高等学校化学学报 2004年 第2期25卷 351-353页
作者: 余学斌 吴铸 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 能源科学与技术研究室上海200050
The hydrogen storage performance of single BCC phase Ti-V-based alloys was investigated. A hydrogen absorption capacity of 4.2% was achieved at 293 K at a modest pressure(3 MPa) for Ti-40V-10Cr-10Mn alloy. The effecti... 详细信息
来源: 评论
一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作
收藏 引用
红外与毫米波学报 2004年 第2期23卷 125-130页
作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双... 详细信息
来源: 评论
离子束增强沉积氮化铝薄膜的电绝缘性能研究
收藏 引用
压电与声光 2004年 第6期26卷 494-496,502页
作者: 宋朝瑞 俞跃辉 邹世昌 郑志宏 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 上海200050
AlN薄膜作为绝缘层材料,在微电子领域的高温高功率器件中有很大应用潜力。采用离子束增强沉积(IBED)法制备了AlN薄膜,采用X光电子能谱(XPS)和电容-电压/电流-电压(C-V/I-V)等方法对AlN薄膜的微观结构和绝缘性能进行了研究,得到了影响薄... 详细信息
来源: 评论