检索结果-内蒙古大学图书馆

机械工程材料 2003年第2期27卷 31-33页

作者：王钧石柳襄怀王曦陈元儒西南交通大学材料科学与工程学院四川成都610031 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室上海200050

用渗硼和新型的等离子体浸没式氮离子注入技术(PⅢ)对Cr12MoV钢进行复合处理,制备出了含有立方氮化硼的表面硬化层。经X光电子能谱和X射线衍射分析发现硬化层中的组织主要是立方氮化硼(c BN)、六方氮化硼(h BN)、FeB和Fe2B。在与单独渗... 详细信息

用渗硼和新型的等离子体浸没式氮离子注入技术(PⅢ)对Cr12MoV钢进行复合处理,制备出了含有立方氮化硼的表面硬化层。经X光电子能谱和X射线衍射分析发现硬化层中的组织主要是立方氮化硼(c BN)、六方氮化硼(h BN)、FeB和Fe2B。在与单独渗硼处理的Cr12MoV钢试样进行对比时,对立方氮化硼表面硬化层进行了维氏显微硬度和滑动摩擦试验。结果表明:硬化层具有高达48GPa的高硬度和优良的摩擦性能。

关键词：立方氮化硼表面硬化层渗硼等离子体浸没式离子注入(PⅢ) 显微硬度摩擦性能

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MEMS传感器性能提高相关技术研究

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仪表技术与传感器 2003年第1期 8-9,25页

作者：黄树森李昕欣王跃林鲍敏杭中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 复旦大学微电子学系上海200433

在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构。

关键词：微电子机械系统微传感器微执行器微机械技术

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覆盖热反射层的红外热电堆改进设计

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功能材料与器件学报 2003年第4期9卷 481-485页

作者：刘月英沈德新熊斌中国科学院上海微系统及信息技术研究所传感技术重点实验室上海200050

介绍一种封闭薄膜式红外热电堆上增涂金属反射层的新型设计。增涂的反射层通过向环境空间反射和传导冷端吸收的热量来增大传感器的响应率和探测率。同时,这种设计有效地改善了系统的可靠性,并降低了传感器由于环境温度漂移引起的性能参... 详细信息

介绍一种封闭薄膜式红外热电堆上增涂金属反射层的新型设计。增涂的反射层通过向环境空间反射和传导冷端吸收的热量来增大传感器的响应率和探测率。同时,这种设计有效地改善了系统的可靠性,并降低了传感器由于环境温度漂移引起的性能参数不稳定,从而增强了整个系统的抗干扰能力。

关键词：热电堆微电机械系统反射层改进设计

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电绝缘用ta-C薄膜的微观结构与电学特性

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功能材料与器件学报 2003年第4期9卷 415-418页

作者：宋朝瑞俞跃辉邹世昌张福民王曦中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室上海200050

采用ta-C薄膜用于SOI结构中的绝缘层,在高温高功率器件中有很大的应用潜力。应用真空磁过滤弧源沉积(FAD)的方法制备了ta-C薄膜。通过AFM、non-RBS、IR、I-V、C-V等方法对薄膜的表面形貌、微观结构和电学性能进行了研究。研究表明,ta-C... 详细信息

采用ta-C薄膜用于SOI结构中的绝缘层,在高温高功率器件中有很大的应用潜力。应用真空磁过滤弧源沉积(FAD)的方法制备了ta-C薄膜。通过AFM、non-RBS、IR、I-V、C-V等方法对薄膜的表面形貌、微观结构和电学性能进行了研究。研究表明,ta-C薄膜的sp^3键含量高达87％,且具有很高的表面光洁度(粗糙度低于0.5nm)及较好的电绝缘性能,击穿场强达到4.7MV/cm。

关键词： ta-C薄膜微观结构电学特性电绝缘性能真空磁过滤弧源沉积 SOI

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大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响

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工程设计学报 2003年第5期10卷 271-274页

作者：董林玺焦继伟陈永王跃林浙江大学信息与电子工程学系浙江杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器,并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究.测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504.这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式,它... 详细信息

设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器,并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究.测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504.这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式,它无需真空封装,可以在大气环境下工作,且灵敏度提高.对陀螺原型的测试结构表明,其在大气下检测模态的Q值可以达到715.

关键词：滑膜阻尼电容检测栅形结构

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太赫兹辐射源与探测器研究进展

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功能材料与器件学报 2003年第2期9卷 111-117页

作者：曹俊诚中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

太赫兹(THz)技术涉及电磁学、光电子学、半导体物理学、材料科学以及微加工技术等多个学科,它在信息科学、生物学、医学、天文学、环境科学等领域有重要的应用价值。THz振荡源与THz探测器则是THz频段应用的关键器件,也是THz技术研究领... 详细信息

太赫兹(THz)技术涉及电磁学、光电子学、半导体物理学、材料科学以及微加工技术等多个学科,它在信息科学、生物学、医学、天文学、环境科学等领域有重要的应用价值。THz振荡源与THz探测器则是THz频段应用的关键器件,也是THz技术研究领域的最前沿问题。本文简要概括了THz电磁波的重要特点、应用价值以及THz辐射源和探测器的最新研究进展。

关键词：太赫兹辐射源电磁波探测器负有效质量非线性动力学研究进展 THz电磁波

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InGaP/GaAs双结太阳电池

InGaP/GaAs双结太阳电池

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2003年中国太阳能学会学术年会

作者：张永刚刘天东胡雨生朱诚南矿军洪婷李爱珍中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

本文报道了我们设计研制的InGaP/GaAs双结太阳电池,电池的转换效率在22%～24%之间(1AM0,28℃),填充因子约80%。文中对其材料结构、器件工艺制作以及性能测量表征等方面的问题进行了讨论。

关键词：光伏串接太阳电池化合物半导体 InGaP/GaAs

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大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作

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功能材料与器件学报 2003年第3期9卷 313-318页

作者：王浙辉李铁王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57... 详细信息

报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57μm。测到第一模态频率是500Hz。利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾。这样的位移足够使用Corning OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准,从而获得低插入损耗。

关键词：光开关微动作器大位移静电驱动有限元分析设计制作微机械光通信自对准

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栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究

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功能材料与器件学报 2003年第4期9卷 423-428页

作者：付盛荣熊斌车录锋王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响。在0.01-200°/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01°/s的输入角速度变化。考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的... 详细信息

主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响。在0.01-200°/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01°/s的输入角速度变化。考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10°/s时,整个系统即无法分辨0.01°/s的输入角速度变化。针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题。

关键词：栅结构微陀螺分辨率大角速度信号输入惯性传感器件

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锂离子蓄电池电解液研究进展

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电源技术 2003年第5期27卷 479-483页

作者：高阳谢晓华解晶莹刘庆国北京科技大学固体电解质研究室北京100083 哈尔滨工程大学化工学院黑龙江哈尔滨100051 中国科学院微系统与信息技术研究所上海200050

锂离子蓄电池电解液及其添加剂的研究日益受到研究者的重视。电解液作为锂离子蓄电池重要组成部分对电池性能影响很大。综述了现阶段锂离子蓄电池电解液的溶剂、锂盐、低温性能以及热稳定性方面的研究状况。添加剂是有效改善锂离子蓄电... 详细信息

锂离子蓄电池电解液及其添加剂的研究日益受到研究者的重视。电解液作为锂离子蓄电池重要组成部分对电池性能影响很大。综述了现阶段锂离子蓄电池电解液的溶剂、锂盐、低温性能以及热稳定性方面的研究状况。添加剂是有效改善锂离子蓄电池电解液性能的手段,概述了目前添加剂几个主要方面———SEI成膜添加剂、电导率提高添加剂、电池安全保护添加剂的研究进展。

关键词：锂离子蓄电池电解液添加剂化学电源金属锂负极

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