检索结果-内蒙古大学图书馆

半导体技术 2020年第7期45卷 530-535页

作者：刘运启薛忠营张波中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

利用离子剥离技术在Ge晶圆上制备绝缘体上锗(GOI)时,高剂量H+注入会导致Ge晶格损伤,而且剥离后Ge表面粗糙度较大。为了解决以上问题,在Si衬底上外延Ge/Si0.7Ge0.3/Ge异质结构代替纯Ge制备GOI,研究了异质结构样品有效剥离的临界H+注入条... 详细信息

利用离子剥离技术在Ge晶圆上制备绝缘体上锗(GOI)时,高剂量H+注入会导致Ge晶格损伤,而且剥离后Ge表面粗糙度较大。为了解决以上问题,在Si衬底上外延Ge/Si0.7Ge0.3/Ge异质结构代替纯Ge制备GOI,研究了异质结构样品有效剥离的临界H+注入条件和相应的GOI表面粗糙度。使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)对样品在H+注入和剥离后的裂缝形成过程、表面形貌、界面晶格损伤等进行观察和表征。实验结果表明,由于超薄Si0.7Ge0.3层对注入H+的吸附作用,剥离临界H+注入剂量由5.0×1016 cm-2下降到3.5×1016 cm-2,且在降低注入成本的同时也有效减少了H+注入对Ge晶格的损伤;由于剥离只发生在超薄Si0.7Ge0.3层,GOI表面粗糙度降低到1.42 nm (10μm×10μm)。该方法为制备高质量GOI材料提供了一种新思路。

关键词：绝缘体上锗(GOI) Ge/Si0.7Ge0.3/Ge 低剂量 H^+吸附剥离

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LATP改性PVDF-PAN复合隔膜的制备及应用

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电池 2021年第4期51卷 325-328页

作者：王畅谢晓华石斌李新禄重庆大学材料科学与工程学院重庆400000 贵州梅岭电源有限公司特种化学电源国家重点实验室贵州遵义563000 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

以高离子电导率的固态电解质磷酸钛铝锂[Li_(1.4)Al_(0.4)Ti_(1.6)(PO_(4))_(3),LATP]纳米材料为上下层,聚偏氟乙烯(PVDF)-聚丙烯腈(PAN)纳米纤维隔膜为中间层,制备高界面相容性的LATP改性PVDF-PAN复合隔膜。利用XRD、SEM、热重分析(TG... 详细信息

以高离子电导率的固态电解质磷酸钛铝锂[Li_(1.4)Al_(0.4)Ti_(1.6)(PO_(4))_(3),LATP]纳米材料为上下层,聚偏氟乙烯(PVDF)-聚丙烯腈(PAN)纳米纤维隔膜为中间层,制备高界面相容性的LATP改性PVDF-PAN复合隔膜。利用XRD、SEM、热重分析(TG)及充放电测试,对隔膜的性能进行分析。与纯PVDF-PAN纳米纤维隔膜相比,LATP改性PVDF-PAN复合隔膜具有较好的吸液率、热稳定性和电化学性能,起始分解温度可达443℃。组装的锂离子电池以0.2 C倍率在4.2~3.0 V循环300次,容量保持率为96.22%,界面阻抗由25.32Ω降低至14.38Ω,表现出良好的界面相容性。

关键词：静电纺丝聚偏氟乙烯(PVDF) 聚丙烯腈(PAN) 隔膜固态电解质界面相容性磷酸钛铝锂(LATP)

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融合Gist特征与卷积自编码的闭环检测算法

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激光与光电子学进展 2019年第18期56卷 190-198页

作者：邱晨力黄东振刘华巍袁晓兵李宝清中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室上海201800 中国科学院大学北京100049

闭环检测算法可消除视觉同时定位与建图(VSLAM)系统的累计误差,并对构建全局一致性地图有重要作用。针对现有传统闭环检测算法在视角与场景外观变化下准确率与稳健性降低,及部分基于深度学习方法特征提取与闭环识别实时性不佳的问题,设... 详细信息

闭环检测算法可消除视觉同时定位与建图(VSLAM)系统的累计误差,并对构建全局一致性地图有重要作用。针对现有传统闭环检测算法在视角与场景外观变化下准确率与稳健性降低,及部分基于深度学习方法特征提取与闭环识别实时性不佳的问题,设计了一种融合Gist特征与卷积自编码的闭环检测算法,将Gist特征作为卷积自编码网络重构目标,可增强模型在外观变化下的场景特征表达能力;同时通过透视变换构造视角变化训练图像对,以提升模型在视角变化下闭环检测的准确率与稳健性。所设计的模型较精简,可实现实时关键帧特征提取与闭环检测。在Gardens Point与Nordland数据集的实验结果表明,相较于传统视觉词袋模型(BoVW)、Gist算法及现有部分深度学习方法,本文算法可以达到更高的准确率和稳健性。

关键词：机器视觉同时定位与建图闭环检测卷积自编码深度学习

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基于单层二硫化钨光控太赫兹调制器的研究

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红外与毫米波学报 2019年第5期38卷 655-661页

作者：付亚州谭智勇王长曹俊诚中国科学院上海微系统与信息技术研究所太赫兹固态技术重点实验室上海200050 中国科学院大学材料与光电研究中心北京100049

在太赫兹技术的应用中,控制太赫兹波的传输非常重要,太赫兹调制器被认为是下一代太赫兹无线通信中的重要器件.成功地研究了一种硅上生长单层二硫化钨的新型光泵浦太赫兹调制器,由于在硅衬底和二硫化钨的交界处出会形成异质结,二硫化钨... 详细信息

在太赫兹技术的应用中,控制太赫兹波的传输非常重要,太赫兹调制器被认为是下一代太赫兹无线通信中的重要器件.成功地研究了一种硅上生长单层二硫化钨的新型光泵浦太赫兹调制器,由于在硅衬底和二硫化钨的交界处出会形成异质结,二硫化钨充当着催化剂的作用,在光泵浦的作用下,在异质结处催化出更多的载流子,因此实现了更大的调制深度.结果表明,在泵浦光波长为660 nm、功率仅为117 mW时,该调制器的调制深度达到了63.6%.这种新型二维过渡金属硫化物对太赫兹波的调制有着更高的效率,使其在太赫兹技术中有很好的应用前景.

关键词：太赫兹光控调制器单层二硫化钨催化

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硅基光混频器的研究进展

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光电子技术 2021年第2期41卷 79-86页

作者：王佳垚岳文成刘雨菲李欣雨涂芝娟余明斌中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049 上海微技术工业研究院上海201800

硅基光电子集成回路在高速相干光传输系统中具有巨大的应用潜力。作为相干光通信领域重要的光学相干解调器件,硅基光混频器对实现良好的相干检测具有重要的意义。文中从光混频器的原理出发,介绍了基于不同结构的硅基90°光混频器的... 详细信息

硅基光电子集成回路在高速相干光传输系统中具有巨大的应用潜力。作为相干光通信领域重要的光学相干解调器件,硅基光混频器对实现良好的相干检测具有重要的意义。文中从光混频器的原理出发,介绍了基于不同结构的硅基90°光混频器的研究进展。其中,平面光波导型90°光混频器主要有两大类:基于3 dB耦合器及移相器的90°光混频器具有相位偏差小、性能稳定的特点;基于多模干涉耦合器的90°光混频器具有结构简单、尺寸小的特点。此外,研究还回顾了适用于多进制相位调制格式的不同相位解调的光混频器,并对硅基光混频器的未来发展趋势做出了预测。

关键词：硅基光电子集成光学光混频器多模干涉耦合器

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高精度海洋温/盐/酸度集成微纳传感器制造与测试

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传感器与微系统 2021年第1期40卷 74-77页

作者：胡凯凯尹加文麦裕良栾安博郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 广东省石油化工研究院技术开发中心广东广州510665 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgC... 详细信息

面向“智慧海洋”应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO 2)为工作电极和液接式Ag/AgCl参比电极构成的两电极体系。采用电化学工作站分别测量了三个传感器的基本参数和性能,其中温度传感器的电阻为(2240±5)Ω,灵敏度为8.636Ω/℃,测量精度达到±0.01℃;电导率传感器在0.01 mol/L KCl溶液中精度为±0.0005 S/m;pH传感器灵敏度为42.86 mV/pH。由于采用微机电加工技术,传感器尺寸小、成本低、可批量制造,将为海洋环境参数的高精度网格化测量提供核心传感器。

关键词：海洋温/盐/酸度微纳传感器微机电系统(MEMS)技术批量制造高精度网格化测量

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煤矿井下无线电波防爆安全阈值计算方法

煤矿井下无线电波防爆安全阈值计算方法

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第30届全国煤矿自动化与信息化学术会议暨第11届中国煤矿信息化与自动化高层论坛

作者：潘涛彭铭中国科学院上海微系统与信息技术研究所无线传感网与通信重点实验室中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院

国家标准GB/T3836.1—2021《爆炸性环境第1部分:设备通用要求》和国际标准IEC 60079-0:2017 《Explosive atmospheres—Part 0:Equipment—General requirements》有关无线电波防爆安全阈值计算方法的相关内容较少,不利于评估5G、WIFI6、UWB、ZigBee等矿井无线通信系统发射的无线电波引发瓦斯爆炸的风险。本文介绍了欧洲标准CLC/TR50427:2004《Assessment of inadvertent ignition of flammable atmospheres by radio-frequency radiation—Guide》中关于煤矿井下无线电波防爆安全阈值计算方法的相关内容,包括无线电波辐射场强计算方法和作为接收天线的结构中的可提取功率(或能量)计算方法。

关键词：矿井无线电波安全阈值计算方法

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基于级联卷积网络的面部关键点定位算法

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中国科学院大学学报（中英文） 2020年第4期37卷 562-569页

作者：孙铭堃梁令羽汪涵何为赵鲁阳中国科学院上海微系统与信息技术研究所宽带无线移动通信研究室上海201800 中国科学院大学北京100049

目前,人的面部关键点定位算法在限定环境下已达到很高的识别率,但在非限定环境下,仍易受到环境光线不均、测试角度范围广、检测目标姿态多样及遮挡模糊等因素的影响。提出一种级联卷积网络以提高关键点定位的精度与鲁棒性。在进行人脸... 详细信息

目前,人的面部关键点定位算法在限定环境下已达到很高的识别率,但在非限定环境下,仍易受到环境光线不均、测试角度范围广、检测目标姿态多样及遮挡模糊等因素的影响。提出一种级联卷积网络以提高关键点定位的精度与鲁棒性。在进行人脸检测时,该算法在Light-VGGNet的基础上提出一种DPM-CNN网络结构,引入五官可变形部件,将人脸检测与五官定位同时进行,提高人脸检测精度并降低人脸检测对面部关键点定位的影响。在进行内部关键点定位时,采用由粗到细的算法思想,将两层不同的网络级联实现对内外关键点的定位。利用FDDB数据集进行测试,无论在人脸检测,还是面部关键点定位上,所提出的卷积网络结构准确度和检测速度均高于其他算法,在非限定环境下表现出很好的鲁棒性。

关键词：非限定环境级联卷积网络 Light-VGGNet DPM-CNN 人脸检测面部关键点定位

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以介孔二氧化硅为固定相的高性能微色谱柱

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分析化学 2019年第6期47卷 832-837页

作者：杨雪蕾赵斌冯飞周海梅杨恒李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院大学材料与光电研究中心

基于微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)技术设计制造了一种含有椭圆微柱阵列的半填充微色谱柱,此微色谱柱内壁以孔径约2 nm、具有大比表面积的介孔二氧化硅(Mesoporous silica,MS)薄膜为固定相。在相同进样量下,采用... 详细信息

基于微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)技术设计制造了一种含有椭圆微柱阵列的半填充微色谱柱,此微色谱柱内壁以孔径约2 nm、具有大比表面积的介孔二氧化硅(Mesoporous silica,MS)薄膜为固定相。在相同进样量下,采用程序升温模式进行测试,以介孔二氧化硅为固定相的微色谱柱,可实现烷烃(C5～C10)的基线分离,其中戊烷与溶剂(杂质)峰分离度达3.6,与以二甲基硅油(Polydimethylsiloxane,PDMS)为固定相的微色谱柱相比,辛烷理论塔板数提高了46%,可达14458 plates,壬烷的峰面积提高了349.8%。

关键词：介孔二氧化硅半填充微色谱柱微机电系统

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低温超导瞬变电磁法在内蒙古四子王旗地质勘探中的应用

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吉林大学学报（地球科学版） 2020年第4期50卷 1211-1218页

作者：包苏新董丙元裴易峰荣亮亮邱隆清杜尚宇中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院超导电子学卓越创新中心上海200050 中国科学院大学北京100049 吉林大学仪器科学与电气工程学院长春130026

瞬变电磁法(transient electromagnetic method,TEM)是金属矿探查的有效手段。超导瞬变电磁法采用高灵敏度低温超导量子干涉器件(superconducting quantum interference device,SQUID)直接接收瞬变电磁二次场,具有本征噪声低(5~7fT/√Hz)和带宽大(>200kHz)等特点,勘探浅层分辨率高、探测深度大,优势明显。本文将SQUID系统与商用EM67系统进行了异常环对比实验,验证了以SQUID代替感应线圈作为接收装置的优势与实用性;将该方法应用于内蒙古四子王旗大井坡北部区域的电磁勘探工作,获取了高质量探测数据,反演结果显示浅层和中深层(>2000m)为连续性低阻层;在已有地质资料和物探资料的基础上,结合反演结果可知,测线附近浅层500m存在北东向断裂带,并推断深部2000m处分布着同向断裂带。

关键词：瞬变电磁法超导量子干涉器件四子王旗断裂带

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