检索结果-内蒙古大学图书馆

纳米技术与精密工程 2016年第6期14卷 395-401页

作者：戚永乐张瑞英仇伯仓王逸群王庶民中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室苏州215123 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件及相关材料研究部苏州215123 中国科学技术大学纳米学院苏州215123 清华大学深圳研究院深圳518055 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台苏州215123 中国科学院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室上海200050

本文主要介绍了通过步进式光刻、反相剥离和F基等离子体刻蚀工艺在晶元级Si衬底上制备SiO_2图形的过程,在6 in(15.24 cm)Si衬底上实现了均匀的周期分别为1.0μm和1.6μm、深宽比分别为2.3和1.4的SiO_2周期性掩膜.尤其在周期为1μm的条件... 详细信息

本文主要介绍了通过步进式光刻、反相剥离和F基等离子体刻蚀工艺在晶元级Si衬底上制备SiO_2图形的过程,在6 in(15.24 cm)Si衬底上实现了均匀的周期分别为1.0μm和1.6μm、深宽比分别为2.3和1.4的SiO_2周期性掩膜.尤其在周期为1μm的条件下,窗口通过过曝光和反相剥离工艺减小到330 nm,该尺寸超越了试验用步进式光刻设备的极限精度尺寸.在通过HF和KOH溶液处理后,得到了带有V型槽和较光滑侧壁的SiO图形的Si衬底,该图形适用于Ⅲ-Ⅴ半导体通过深宽比位错捕获技术的材料生长.这种均匀的晶元级图案制备方案促进了图形化Si衬底技术和Si基Ⅲ-Ⅴ半导体异质外延.

关键词：图形衬底异质外延高深宽比

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TiFe基储氢合金的BaZrO_3坩埚熔炼制备及其储氢性能

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重庆大学学报（自然科学版） 2016年第2期39卷 107-113页

作者：李重河周汉陈光耀胡仁民吴铸李志林省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海200072 上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室上海200072 上海大学材料科学与工程学院上海200072 上海特种铸造工程技术研究中心上海201605 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

利用自制25kg级BaZrO3坩埚,通过ZG-0.05型真空感应熔炼制备TiFe基储氢合金。熔炼条件为：0.6 MPa氩气保护气氛,精炼时间5~10min,精炼温度1 450℃左右。采用ICP原子发射光谱分析仪分析所熔合金的化学成分,利用金相显微镜、扫描电子显微镜... 详细信息

利用自制25kg级BaZrO3坩埚,通过ZG-0.05型真空感应熔炼制备TiFe基储氢合金。熔炼条件为：0.6 MPa氩气保护气氛,精炼时间5~10min,精炼温度1 450℃左右。采用ICP原子发射光谱分析仪分析所熔合金的化学成分,利用金相显微镜、扫描电子显微镜、XRD衍射仪研究了合金的金相组织、表面形貌、微区元素分布、物相结构,用气体反应控制器测定了合金的PCT曲线。研究表明：由BaZrO3坩埚熔炼的TiFe基储氢合金氧质量分数与石墨坩埚熔炼的合金氧质量分数均小于0.1%,而石墨坩埚熔炼的合金碳质量分数为0.417%。BaZrO3坩埚熔炼后的合金完全由等轴晶构成,而石墨坩埚熔炼后的合金则由等轴晶组织和在晶粒内或沿晶界分布的球形TiC颗粒组成。BaZrO3坩埚所熔炼的合金不仅最大吸氢量比石墨坩埚熔炼的合金的最大吸氢量大,而且吸放氢平台压力也低。

关键词： TiFe合金储氢性能 BaZrO3坩埚真空感应熔炼增碳

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单壁碳纳米管的肺毒性及氧化应激机制

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第二军医大学学报 2016年第7期37卷 815-820页

作者：吕高建汤莹沈亚峰雷长海赵文茹陈新杨勇骥华东理工大学材料科学与工程学院超细材料制备与应用教育部重点实验室上海200237 第二军医大学基础部生物物理学教研室上海200433 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

目的研究单壁碳纳米管(single-wall carbon nanotubes,SWCNTs)的肺毒性,并探讨其毒性机制,为安全生产和应用SWCNTs提供实验依据。方法 A549细胞用质量浓度为0、25、50、100、150、200μg/mL的SWCNTs溶液孵育24h,用CCK-8和乳酸脱氢酶(lac... 详细信息

目的研究单壁碳纳米管(single-wall carbon nanotubes,SWCNTs)的肺毒性,并探讨其毒性机制,为安全生产和应用SWCNTs提供实验依据。方法 A549细胞用质量浓度为0、25、50、100、150、200μg/mL的SWCNTs溶液孵育24h,用CCK-8和乳酸脱氢酶(lactate dehydrogenase,LDH)试剂盒分别检测SWCNTs对A549细胞活性和细胞膜的影响,Hoechst33342和PI荧光双染法检测细胞死亡情况,透射电镜(TEM)观察细胞超微结构变化,并检测细胞内活性氧(reactive oxygen species,ROS)水平、谷胱甘肽(glutathione,GSH)浓度和超氧化物歧化酶(superoxide dismutase,SOD)活力以评估氧化应激情况。分别将0.5mg/mL和1mg/mL的SWCNTs溶液通过气管灌流的方法使大鼠肺部染毒,3d后取大鼠肺脏,常规H-E染色,检测肺组织病理学变化。结果 SWCNTs对A549细胞表现出明显毒性,使细胞活性降低,死亡细胞增多,细胞膜和细胞结构损伤严重,细胞内ROS水平升高,GSH浓度和SOD活力降低。体内毒性检测结果表明SWCNTs在大鼠肺组织内积累,造成肺泡壁水肿增厚。结论体外细胞毒性检测和动物毒性检测结果表明SWCNTs具有较大的肺毒性,其主要毒性机制是氧化应激反应。

关键词：单壁碳纳米管肺毒性氧化性应激氧化还原平衡

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一种基于异构云无线接入网的资源管理方案

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电子技术应用 2016年第10期42卷 104-107页

作者：贾国庆裴冬青海民族大学物理与电子信息工程学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所无线传感网与通信重点实验室

基于有限网络资源和多用户队列的异构云无线接入网络,分析了两种不同用户到达场景:有突发用户到达和没有突发用户到达。提出了一种基于异构云无线接入网的高稳定动态资源管理方案:针对多队列的稳定性提出了一种基于动态背压技术的框架,... 详细信息

基于有限网络资源和多用户队列的异构云无线接入网络,分析了两种不同用户到达场景:有突发用户到达和没有突发用户到达。提出了一种基于异构云无线接入网的高稳定动态资源管理方案:针对多队列的稳定性提出了一种基于动态背压技术的框架,利用李雅普诺夫漂移保持用户需求队列稳定;使用一种基于匈牙利算法的分配方案,以便尽量有效地将网络资源分配给各个队列成员。仿真结果表明,提出的资源管理方案能够有效保证多队列的稳定性,相较于传统的比例公平或随机分配算法,系统开销较小。

关键词：异构云网络接入控制无线资源分配排队论

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宽谱太赫兹量子级联激光器频梳研究

宽谱太赫兹量子级联激光器频梳研究

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第二届全国太赫兹科学技术学术年会

作者：黎华曹俊诚中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院太赫兹固态技术重点实验室

在1-5THz频率范围内,太赫兹量子级联激光器(THzQCL)是最好的基于半导体、全固态、电泵浦的辐射源,脉冲输出功率可达到瓦级,连续波输出功率为百毫瓦级。由于其高功率和易集成等特点,THz QCL在通信、成像和精细谱测量方面具有重要应用价... 详细信息

在1-5THz频率范围内,太赫兹量子级联激光器(THzQCL)是最好的基于半导体、全固态、电泵浦的辐射源,脉冲输出功率可达到瓦级,连续波输出功率为百毫瓦级。由于其高功率和易集成等特点,THz QCL在通信、成像和精细谱测量方面具有重要应用价值。在精细谱测量方面,基于宽谱THz QCL的频梳具有独特的优势和潜在的应用价值。自2005年频梳的研究工作获得诺贝尔物理学奖之后,各个频段的频梳研究不断成为研究热点。本论文采用多有源区堆叠结构,实现了双面金属波导宽谱THz QCL器件。系统分析了宽谱THzQCL在不同驱动电流下的拍频信号和微波注入调制行为。采用基于飞秒激光器电光采样下转换技术首次实现了宽谱THz QCL的下转换,将频率从THz下转换到MHz,从而大大提高了频率分辨率。研究发现当下转换谱相位噪声很大的时候,器件工作在一种非稳定状态,对应的拍频信号为宽谱(GHz)。通过外部射频注入调制和锁模,下转换谱相位噪声可以很大程度被抑制,从而恢复了谱相干性,同时THz发射谱变宽。采用相位锁定技术,我们分析了THz QCL下转换谱的锁模行为。测量结果指出在某一个频率线跟飞秒激光器重复频率锁定之后,其它频率谱线有的可以锁定,而另外一些谱线仍然不能完全锁定,而是在一定的范围内晃动。解决宽谱THzQCL的折射率色散关系问题是实现所有谱线锁模的关键技术。本文的研究工作为实现THz QCL频梳奠定了重要基础。

关键词：太赫兹量子级联激光器射频注入频梳

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太赫兹半导体量子器件研制与应用

太赫兹半导体量子器件研制与应用

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第二届全国太赫兹科学技术学术年会

作者：曹俊诚中国科学院太赫兹固态技术重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所

太赫兹(THz)辐射源和探测器是THz技术应用的核心器件。在众多THz辐射的产生方式中,基于半导体的THz量子级联激光器(QCL)由于其能量转换效率高、体积小、轻便和易集成等优点,成为本领域的研究热点之一。THz量子阱探测器(THzQWP)是红外量... 详细信息

太赫兹(THz)辐射源和探测器是THz技术应用的核心器件。在众多THz辐射的产生方式中,基于半导体的THz量子级联激光器(QCL)由于其能量转换效率高、体积小、轻便和易集成等优点,成为本领域的研究热点之一。THz量子阱探测器(THzQWP)是红外量子阱探测器向THz波段的延伸,是一类重要的THz辐射探测器。本报告报道了THzQCL和THzQWP器件物理、材料生长、器件制备以及基于THzQCL和THzQWP的实时成像及同步通信演示。

关键词：太赫兹量子级联激光器量子阱探测器太赫兹成像太赫兹通信

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基于双目立体视觉的行人身高测量方法

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信息技术 2016年第1期40卷 91-95,99页

作者：杜若琪谷宇章张诚王营冠中国科学院上海微系统与信息技术研究所无线传感网与通信重点实验室上海200050

为满足测量密集行人身高的需求,文中提出了一种基于双目立体视觉的行人身高测量方法。通过非接触式的视频处理,背景差分与视差图相结合得到三维空间点,利用点聚类分离目标,分析目标的运动轨迹,得出行人身高。实验表明,该方法在多人同时... 详细信息

为满足测量密集行人身高的需求,文中提出了一种基于双目立体视觉的行人身高测量方法。通过非接触式的视频处理,背景差分与视差图相结合得到三维空间点,利用点聚类分离目标,分析目标的运动轨迹,得出行人身高。实验表明,该方法在多人同时行走,行人较密集,肩靠肩行走时能够正确计算行人身高,适用于人流量大的场合。

关键词：行人身高背景差分视差图点聚类运动轨迹

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ICP参数和掩膜材料对SiC刻蚀界面的影响

ICP参数和掩膜材料对SiC刻蚀界面的影响

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第十五届全国固体薄膜学术会议

作者：李静杰程新红郑理沈玲燕王谦张栋梁钱茹俞跃辉中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京 101407 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能国家重点实验室上海200050

本文采用SF6和O2两种不同的气体对SiC进行ICP沟槽刻蚀,当O2的流量增加时,O2和F离子会与C生成易挥发的CO,CO2和COF2,进而增加了SiC的刻蚀速率(如图1所示)。

关键词： SiC刻蚀表面粗糙度刻蚀选择比微沟槽效

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二极管型红外焦平面阵列的噪声分析及结构优化设计（英文）

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红外与毫米波学报 2015年第6期34卷 647-653页

作者：朱慧慧冯飞王跃林李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

二极管非制冷红外焦平面阵列(IRFPA)探测器具有广阔的前景,然而它的性能受噪声源的制约,为了得到高性能的探测器,必须研究噪声源并减小其影响.概述了探测器噪声源,量化并研究了不同噪声对探测器的影响,最后得到了二极管IRFPA的性能极限... 详细信息

二极管非制冷红外焦平面阵列(IRFPA)探测器具有广阔的前景,然而它的性能受噪声源的制约,为了得到高性能的探测器,必须研究噪声源并减小其影响.概述了探测器噪声源,量化并研究了不同噪声对探测器的影响,最后得到了二极管IRFPA的性能极限,此外,计算得到了最优的结构参数.理论研究表明温度起伏噪声对应的最小噪声等效温差(NETD)为2.36mK,此时探测器热导为辐射热导,其值为2.06 nW/K.当单元尺寸为25μm×25μm的探测器的正向偏置电流为33μA,占空比为54%时可得到最优NETD为46.5 mK.

关键词：非制冷红外焦平面阵列二极管噪声等效温差

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FTIR测量的量子型光电探测器响应光谱校正

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红外与毫米波学报 2015年第6期34卷 737-743页

作者：张永刚周立顾溢马英杰陈星佑邵秀梅龚海梅方家熊中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室上海200083

针对采用FTIR方法测量量子型光电探测器的光电流谱并据此校正获得器件的实际响应光谱问题,提出了两种简便可行的校正方案,即计算仪器函数校正方案和标准探测器传递校正方案;对其可行性、限制因素及注意事项进行了详细讨论.用两种方案对... 详细信息

针对采用FTIR方法测量量子型光电探测器的光电流谱并据此校正获得器件的实际响应光谱问题,提出了两种简便可行的校正方案,即计算仪器函数校正方案和标准探测器传递校正方案;对其可行性、限制因素及注意事项进行了详细讨论.用两种方案对多种短波红外InGaAs光电探测器进行了测量校正,获得了与实际符合的响应光谱.为验证方案的适用性,还与采用经精确标定的光栅分光测量系统测得的结果进行了比对,确认了其适用性.结果表明,采用FTIR测量方法并结合适当的校正方案可以获得符合实际的响应光谱.

关键词：响应光谱校正光电探测器量子型傅里叶变换红外

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