检索结果-内蒙古大学图书馆

测试技术学报 2010年第5期24卷 410-413页

作者：许磊李铁高秀丽王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400℃时功耗仅为26 mW,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.

关键词： MEMS 低功耗微型加热器铂各向异性腐蚀

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基于DSP的集成谐振式微悬臂梁便携式气体检测仪

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仪表技术与传感器 2018年第3期 46-50页

作者：徐善轩任伟吴伟任艳波刘民彭欣李昕欣于海涛上海大学量子与分子结构国际中心物理系上海200444 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

针对集成谐振式微悬臂梁气体检测仪小型化的问题,利用DSP(数字信号处理)设计和实现了可快速现场检测的便携式气体检测仪。该仪器基于DSP28335开发,采用开环自动扫频与闭环锁相检测相结合的方式。闭环测试核心是软件锁相环的设计,其中采... 详细信息

针对集成谐振式微悬臂梁气体检测仪小型化的问题,利用DSP(数字信号处理)设计和实现了可快速现场检测的便携式气体检测仪。该仪器基于DSP28335开发,采用开环自动扫频与闭环锁相检测相结合的方式。闭环测试核心是软件锁相环的设计,其中采用DFT(离散傅里叶变换)算法提取相位差,提高了运算的速度和计算相位差的精度。软件设计跟踪算法使其能够一直跟踪频率变化,使锁相更快,精度更高。结合实验室研制的微悬臂梁传感器制备了便携式二甲苯气体检测仪,并对浓度低至30 ppm的二甲苯气体进行了实测,验证了该仪器具有快速的响应速度和检测重复性。

关键词：气体检测仪 DSP 接口电路软件锁相环谐振式微悬臂梁频率跟踪

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比色法研究二硫苏糖醇诱导12 nm粒径纳米金的聚集作用

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分析试验室 2018年第5期37卷 509-513页

作者：陈俊俊费佳钰娄新徽赵建龙袁敏上海理工大学医疗器械与食品学院上海200093 首都师范大学化学系北京100048 传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

利用纳米金的比色效应研究了二硫苏糖醇(DTT)对12 nm粒径的纳米金溶液诱导产生的聚集作用。结果表明:DTT诱导聚集纳米金的作用与大分子溶液对胶体溶液的絮凝作用和稳定作用相似;当DTT分子与纳米金粒子的比值达到(1500±500):1时,DT... 详细信息

利用纳米金的比色效应研究了二硫苏糖醇(DTT)对12 nm粒径的纳米金溶液诱导产生的聚集作用。结果表明:DTT诱导聚集纳米金的作用与大分子溶液对胶体溶液的絮凝作用和稳定作用相似;当DTT分子与纳米金粒子的比值达到(1500±500):1时,DTT可迅速桥联纳米金粒子使其聚集,致使溶液发生明显的颜色变化;降低纳米金溶液浓度可有效缓解DTT的聚集作用。为基于纳米金比色反应的检测方法研究提供了一定的理论基础,也对纳米金粒子和DTT在生物化学和分析化学领域的进一步应用具有指导意义。

关键词：纳米金二硫苏糖醇比色法生物传感器

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基于氧敏感膜荧光特性的溶解氧传感器研制

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仪表技术与传感器 2014年第11期 1-3页

作者：陈强王勤戚海燕王跃章立李铭张洹千金庆辉中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海市环境保护信息中心上海200030 松江区环保局上海201600

溶解氧值是研究水自净能力的一种依据。传统的实验室溶解氧测定方法(如碘量法),在测定上耗时耗力,且不能实现实时获得数据,因此不能实时地监测自然水体等所需应用领域的溶氧变化。文中介绍了一种基于氧分子特异性敏感膜的溶解氧传感器,... 详细信息

溶解氧值是研究水自净能力的一种依据。传统的实验室溶解氧测定方法(如碘量法),在测定上耗时耗力,且不能实现实时获得数据,因此不能实时地监测自然水体等所需应用领域的溶氧变化。文中介绍了一种基于氧分子特异性敏感膜的溶解氧传感器,以高功率蓝光发光二极管为激发光源,激发敏感膜产生特定波长的荧光,通过滤光及光电管光电信号转换,进行信号的采集,水体中氧浓度的多少与检测到的荧光信号强度成反比,通过测定荧光强度即可测定水体中溶解氧的浓度。该传感器具有结构简单、测定迅速、准确、稳定,并具有在线连续监测和数据发送功能,适合于自然水体等水质环境的监测应用。

关键词：溶解氧氧敏感膜荧光光传感器光电信号转换在线检测

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硅基电磁式MEMS微扬声器结构设计和制作

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磁性材料及器件 2014年第2期45卷 23-27页

作者：刘文俊王敏昌秦嵩颜培力宓斌伟张颖张铁军焦继伟中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100039 总参陆航部驻上海地区军事代表室上海200233

设计制作了一种高音质电磁微机电系统(MEMS)扬声器,该结构由悬臂梁支撑的硅基薄膜、固定在硅基薄膜上的钐钴磁体以及制作在PCB板上的铜线圈组成。扬声器微结构利用体微加工工艺制作,微梁支撑的硅基薄膜刚度较大,在音频范围内只有三个振... 详细信息

设计制作了一种高音质电磁微机电系统(MEMS)扬声器,该结构由悬臂梁支撑的硅基薄膜、固定在硅基薄膜上的钐钴磁体以及制作在PCB板上的铜线圈组成。扬声器微结构利用体微加工工艺制作,微梁支撑的硅基薄膜刚度较大,在音频范围内只有三个振动模态,远少于传统电磁式微扬声器使用的聚合物薄膜振动模态数,减少了尖声信号出现,提高了声音的质量。悬臂梁结构可以提供较大的振动幅度以及很好的振动线性度,从而获得更高的声压。扬声器结构硅基薄膜直径1mm,厚度25μm,悬臂梁宽度20μm,厚度25μm,具有音质好、声压大的特点。

关键词：微扬声器硅基薄膜结构设计

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先进体硅机械加工技术——从微米到纳米

先进体硅机械加工技术——从微米到纳米

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第一届长三角地区传感技术学术交流会

作者：李昕欣王跃林李铁杨恒焦继伟传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所

介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-DRIE深刻... 详细信息

介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-DRIE深刻蚀工艺实现的多种先进MEMS结构和开发的传感器。充分结合硅材料的各向异性和加工技术的高度选择性,体硅加工技术可以有力延伸到制造具有纳米特征尺度的纳机电器件。本文以集成探针和纳米硅谐振梁的体硅加工为例,表明了体硅加工技术的能力和发展前景。

关键词：机械加工技术

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集成Ti/TiO_(2)敏感电极和液接式Ag/AgCl参比电极的pH微纳传感器

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微纳电子技术 2022年第3期59卷 250-256,263页

作者：黄旭东张井合胡凯凯蒋晨星王振宇郜晚蕾金庆辉宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 北航金华北斗应用研究院浙江金华321002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

常见的pH传感器大多采用电位法进行检测,基于电位法进行检测的传感器由敏感电极和参比电极组成。在尺寸仅为5 mm×5 mm的传感器芯片上制备了钛电极、银电极和铂电阻丝。采用电化学氧化的方法对钛电极进行阳极氧化制成Ti/TiO_(2)敏... 详细信息

常见的pH传感器大多采用电位法进行检测,基于电位法进行检测的传感器由敏感电极和参比电极组成。在尺寸仅为5 mm×5 mm的传感器芯片上制备了钛电极、银电极和铂电阻丝。采用电化学氧化的方法对钛电极进行阳极氧化制成Ti/TiO_(2)敏感电极。采用电化学氯化的方法对银电极进行阳极氯化,再将饱和KCl溶液(3 mol/L)注入参比槽制成Ag/AgCl参比电极。铂电阻丝作为测温元件用于对pH值进行校准,电阻灵敏度约为14.21Ω/℃。在室温下、溶液温度为(13±1)℃时,测试芯片在不同pH值(4~10)溶液中的电压。通过线性分析得到传感器的分辨率约为17.92 mV/pH。控制溶液温度不变,对芯片在不同pH值(4.00、6.00、8.00和10.00)溶液中的电压进行测试,并得到该温度下的传感器分辨率。在不同溶液温度下对传感器的分辨率进行测试。测得不同溶液温度(25、20、15和10℃)下传感器的分辨率分别为28.31、23.45、19.33和13.62 mV/pH。通过温度补偿公式对pH值进行校准,计算得到的理论pH值与实际测量值的偏差≤0.25。传感器芯片具有体积小且易于集成的特点,可应用于各种水环境的检测。

关键词： pH微纳传感器 Ti/TiO_(2)敏感电极液接式参比电极微纳集成制造电化学氧化/氯化

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大型起重机械在线监测的无线传感器网络节点设计

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传感器与微系统 2015年第9期34卷 76-79页

作者：刘大洋赵伟杨恒中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

从大型起重机械结构健康监测的实际应用出发,结合无线传感器网络分布式、高鲁棒性的特点,设计了一种基于Zig Bee的可对大型起重机械长期在线监测的无线传感器节点系统,并结合Lab VIEW针对节点的通信距离、数据传输可靠性以及功耗等进行... 详细信息

从大型起重机械结构健康监测的实际应用出发,结合无线传感器网络分布式、高鲁棒性的特点,设计了一种基于Zig Bee的可对大型起重机械长期在线监测的无线传感器节点系统,并结合Lab VIEW针对节点的通信距离、数据传输可靠性以及功耗等进行了现场实验,证明了节点能够很好地完成结构健康监测数据的采集与发送,能够满足在实际现场环境中大型起重机械结构健康监测对通信距离和可靠性以及节点功耗的要求。

关键词：起重机械结构健康监测无线传感器网络

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DNA功能化纳米金结合基因芯片可视化检测microRNAs

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中国科学：生命科学 2016年第3期46卷 314-320页

作者：王萍赵建龙胡斌程祖乐白亚楠金庆辉刘慧颖毛红菊李三强赵建龙河南科技大学医学院肝脏损伤与修复分子医学重点实验室洛阳471003 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海徐汇中心医院生物传感技术临床研究中心上海200040 中国科学院大学北京100049 大连医科大学口腔医学院口腔修复教研室大连116023

开发了一种纳米金探针结合基因芯片用于micro RNAs（mi RNAs）检测的高灵敏度便携式生物传感器.靶标mi RNAs特异性捕获探针固定在芯片上,通过与纳米金探针杂交进行检测,最后利用过氧化氢（H2O2）还原四氯金酸（HAu Cl4）来放大检测信号... 详细信息

开发了一种纳米金探针结合基因芯片用于micro RNAs（mi RNAs）检测的高灵敏度便携式生物传感器.靶标mi RNAs特异性捕获探针固定在芯片上,通过与纳米金探针杂交进行检测,最后利用过氧化氢（H2O2）还原四氯金酸（HAu Cl4）来放大检测信号.利用单个纳米金探针结合基因芯片可以检测到10 pmol/L的靶标mi RNAs,测得mi R-126在胎牛血清中的回收率为81.5%~109.1%.用这种生物传感器检测肺癌组织样本总RNA中的mi R-126,结果与定量PCR结果具有一致性.利用双纳米金探针进一步提高了检测灵敏度,可以检测到1 fmol/L的mi R-125a-5p.整个分析时间不超过1 h,并且实验结果可以用肉眼观察.这个平台可以同时检测肺癌相关mi R-126和mi R-125a-5p,并且具有费用低、快速和便捷的优势,有望用于mi RNAs的超灵敏可视化检测.

关键词： microRNA 纳米金基因芯片生物传感器可视化检测

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单片集成MEMS红外传感器的读出电路设计

单片集成MEMS红外传感器的读出电路设计

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第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：姚镭李铁郝跃国熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家重点实验室上海 200050

实现了一种用于放大MEMS红外传感器微弱输出信号的低噪声读出电路。电路架构基于斩波技术(CHS),理论分析其能有效降低低频噪声。利用苏州和舰科技(HJTC)的商用0.18umCMOS工艺流程制作的试样芯片。测试结果证实了此电路的工作原理。整个... 详细信息

实现了一种用于放大MEMS红外传感器微弱输出信号的低噪声读出电路。电路架构基于斩波技术(CHS),理论分析其能有效降低低频噪声。利用苏州和舰科技(HJTC)的商用0.18umCMOS工艺流程制作的试样芯片。测试结果证实了此电路的工作原理。整个电路系统的增益为84.9dB,带宽160Hz,等效输入噪声87nV/rtHz。

关键词：读出电路设计红外传感器功能模块斩波技术

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