检索结果-内蒙古大学图书馆

机械强度 2002年第4期24卷 515-517页

作者：王钻开宗登刚陆德仁中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的... 详细信息

提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的频率和忽略质量块变形与梁质量所得到的频率与ANSYS模拟相比 ,偏差由 90 %下降到 15 %。最后进行了静态测试。

关键词：高量程加速度计静态测试加速度传感器微电子机械系统灵敏度频率

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InGaP/GaAs双结太阳电池的研制

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太阳能学报 2004年第5期25卷 620-623页

作者：张永刚刘天东胡雨生朱诚南矿军洪婷李爱珍中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

报导了自行研制的InGaP/GaAs双结太阳电池,电池的转换效率在21%～24%之间(1AM0,28℃),填充因子在79%～82%之间。文中对其材料结构设计、器件工艺制作以及性能测量表征等方面的问题进行了讨论。

关键词：光伏串接太阳电池化合物半导体 InGaP/GaAs

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振动式微机械陀螺的等效电学模型

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机械工程学报 2003年第3期39卷 117-120,125页

作者：车录锋黄小振熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

根据振动式微机械陀螺的工作原理,建立了其机械特性的等效电路模型。陀螺差分检测电容模型和振动的等效电路模型构成了陀螺的等效电学模型,该模拟模型组合了传感器的机械特性和电学特性。陀螺等效电学模型通过电路模拟工具PSPICE实现,... 详细信息

根据振动式微机械陀螺的工作原理,建立了其机械特性的等效电路模型。陀螺差分检测电容模型和振动的等效电路模型构成了陀螺的等效电学模型,该模拟模型组合了传感器的机械特性和电学特性。陀螺等效电学模型通过电路模拟工具PSPICE实现,可用于分析陀螺的振动特性、对角速度的频响特性,优化陀螺的工作方式;还可以与接口电路混合模拟,分析陀螺和检测电路的整体性能,优化检测电路的设计。

关键词：微机械陀螺等效电学模型振动式

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亚毫安阈值的1.3μm垂直腔面发射激光器

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物理学报 2009年第3期58卷 1954-1958页

作者：劳燕锋曹春芳吴惠桢曹萌龚谦中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

设计并研制了室温连续工作的单模1.3μm垂直腔面发射激光器(VCSEL),阈值电流为0.51mA,最高连续工作温度达到82℃,斜率效率为0.29W/A.采用InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱作为有源增益区,由晶片直接键合技术融合InP基谐振腔和GaAs基GaAs/A... 详细信息

设计并研制了室温连续工作的单模1.3μm垂直腔面发射激光器(VCSEL),阈值电流为0.51mA,最高连续工作温度达到82℃,斜率效率为0.29W/A.采用InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱作为有源增益区,由晶片直接键合技术融合InP基谐振腔和GaAs基GaAs/Al(Ga)As分布布拉格下反射腔镜,并由电子束蒸发法沉积SiO2/TiO2介质薄膜上反射腔镜形成1.3μmVCSEL结构.讨论并分析了谐振腔模式与量子阱增益峰相对位置对器件性能的影响.

关键词：垂直腔面发射激光器晶片直接键合应变补偿多量子阱

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光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计

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光学学报 2004年第11期24卷 1543-1546页

作者：冯飞焦继伟熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响应时间四个方面。理论分析表明 :当法布里珀罗微腔两个反射面... 详细信息

针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响应时间四个方面。理论分析表明 :当法布里珀罗微腔两个反射面的反射率为 0 .5时 ,能获得较大的输出反射光强和反衬度 ,并保证了输出反射光强尽可能地随微镜位移在 0～λ/ 4范围内呈线性变化 ;可动微镜的温度响应值可达 2 .0 5× 10 -4,噪声等效温差为19.5mK ,热响应时间为 1.5 4× 10 -3 s。

关键词：光读出热成像噪声等效温差微腔焦平面阵列微镜反射面响应时间光学反射光光强

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SIMOX大截面单模脊型光波导的研制

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光电子．激光 2004年第1期15卷 25-28页

作者：林志浪程新利王永进张峰中国科学院上海微系统信息技术研究所离子束实验室上海200050

以注入氧隔离(SIMOX)技术制备的SOI(silicon on insulator)为衬底,利用气相外延生长技术获得了质量良好的厚膜SOI材料,进而通过反应离子刻蚀方法在厚膜SOI材料上成功研制了SIMOX大截面单模脊型光波导。对于波长为1.55μm的光,其传输损... 详细信息

以注入氧隔离(SIMOX)技术制备的SOI(silicon on insulator)为衬底,利用气相外延生长技术获得了质量良好的厚膜SOI材料,进而通过反应离子刻蚀方法在厚膜SOI材料上成功研制了SIMOX大截面单模脊型光波导。对于波长为1.55μm的光,其传输损耗小于0.6dB/cm。

关键词：注入氧隔离 SIMOX 化学气相沉积脊型光波导集成光学厚膜SOI材料

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灌封对高量程微机械加速度计封装的影响

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机械强度 2004年第2期26卷 149-153页

作者：蒋玉齐杜茂华罗乐中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

灌封是高量程微机械加速度计实用化的一个关键步骤。文中根据自制的一种压阻式高量程micro electro me chanicalsystem(MEMS)加速度计芯片及一种实用的封装结构 ,对其有限元模型进行模态分析和高g值加速度载荷下的响应分析。封装结构的... 详细信息

灌封是高量程微机械加速度计实用化的一个关键步骤。文中根据自制的一种压阻式高量程micro electro me chanicalsystem(MEMS)加速度计芯片及一种实用的封装结构 ,对其有限元模型进行模态分析和高g值加速度载荷下的响应分析。封装结构的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大。但弹性模量过小时 ,模态频率反而比未灌封时低 ,可能会干扰输出信号。对器件加载 10万g加速度表明 ,器件的模拟输出电压值随着灌封胶弹性模量或密度的增加而缓慢减小。模拟输出电压值与解析解很接近。

关键词：高量程微机械加速度计灌封封装有限元模态分析弹性模量

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等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究

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摩擦学学报 2004年第4期24卷 304-307页

作者：鲍海飞熊斌陆德仁李昕欣王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合... 详细信息

利用原子力显微镜研究了感应等离子体刻蚀加工过程中单晶硅表面形成的不同厚度的碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦特性,并针对几种不同的摩擦模式探讨了原子力显微镜探针在不同厚度的碳氟聚合物薄膜表面的摩擦行为.结果表明,同硅基体相比,聚合物薄膜的摩擦力信号明显较弱,薄膜的纳米摩擦特性同其厚度密切相关;碳氟聚合物薄膜在同Si3N4针尖接触过程中可向针尖表面转移,从而对针尖起修饰作用,以减轻微观摩擦磨损.

关键词：碳氟聚合物薄膜纳米摩擦特性微机电系统

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一种微机械陀螺自激驱动方式的电学模拟

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仪器仪表学报 2003年第2期24卷 190-192,200页

作者：熊斌车录锋黄小振王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

为提高微机械陀螺的检测精度 ,稳定驱动振动速度幅度 ,提出了微机械陀螺的自激驱动方式 ,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上振动 ,以及保持恒定的驱动振动速度幅度。根据自激驱动电路原理 ,建立了驱动动力学方程的等效电... 详细信息

为提高微机械陀螺的检测精度 ,稳定驱动振动速度幅度 ,提出了微机械陀螺的自激驱动方式 ,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上振动 ,以及保持恒定的驱动振动速度幅度。根据自激驱动电路原理 ,建立了驱动动力学方程的等效电路模型 ,用 PSPICE软件对电路的工作状况进行了模拟。

关键词：微机械陀螺自激驱动电学模拟固有频率等效电路模型 PSPICE软件

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半导体激光器腔面镀膜研究

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半导体光电 2003年第3期24卷 203-205页

作者：吴根柱齐鸣何友军张永刚李爱珍中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料重点实验室上海200050

从理论和实验两方面研究了半导体激光器腔面功率增强膜的镀制方法,得到一些新的镀膜设计方案,改善了传统半导体激光器腔面镀膜工艺。

关键词：端面反射率减反射膜高反射膜行波速率方程

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