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检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室"
1792 条 记 录,以下是51-60 订阅
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气态源分子束外延Al_xGa_(1-x)As(x=0~1)材料中Si的掺杂行为研究(英文)
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红外与毫米波学报 2007年 第1期26卷 1-4,9页
作者: 李华 李爱珍 张永刚 齐鸣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
研究了Si在AlxGa1-xAs(0≤x≤1)中的掺杂行为.为比较Al組份对Si掺杂浓度的影响,在用气态源分子束外延生长(GSMBE)掺Si n型AlxGa1-xAs(0≤x≤1)的有样品时,n型掺杂剂Si炉的温度恒定不变.用Hall效应测量外延层的自由载流子浓度和迁移率,... 详细信息
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短波红外InGaAs/InP光伏探测器系列的研制
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红外与毫米波学报 2006年 第1期25卷 6-9页
作者: 张永刚 顾溢 朱诚 郝国强 李爱珍 刘天东 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用气态源分子束外延方法及应用有源区同质结构及较薄的组分渐变InxGa1-xAs缓冲层,研制了波长扩展的InGaAs/InP光伏探测器系列,其温下的截止波长分别约为1.9μm,2.2μm.和2.5μm.对此探测器系列在较宽温度范围内的性能进行了细致表征... 详细信息
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全息光刻和二次显影法制备柱形二维光子晶体(英文)
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红外与毫米波学报 2014年 第1期33卷 45-49页
作者: 曹远迎 张永刚 李耀耀 顾溢 李爱珍 李好斯白音 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用全息光刻和二次显影的方法制备了柱形二维光子晶体.在此过程中,二维点状的周期结构首先在正性光刻胶上直接形成,然后经由Si3N4硬掩模转移到衬底材料上.利用二次显影的方法,曝光强度最强和曝光强度中等区域的光刻胶能够被同时充分显... 详细信息
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气态源分子束外延生长扩展波长InGaAs探测器性能分析(英文)
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红外与毫米波学报 2006年 第4期25卷 241-245页
作者: 郝国强 张永刚 顾溢 李爱珍 朱诚 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
从理论与实验两方面对截止波长为1.7μm(x=0.53),1.9μm(x=0.6)和2.2μm(x=0.7)p in InxGa1-xAs探测器性能进行了研究.对探测器暗电流的研究结果表明,扩展波长In0.6Ga0.4As,In0.7Ga0.3As探测器在反向偏置低压区,欧姆电流占据主导地位;... 详细信息
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CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究
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浙江大学学报(工学版) 2011年 第6期45卷 1043-1047,1107页
作者: 徐德辉 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 微系统技术重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
通过设计2种不同微机械热电堆红外探测器阵列结构,对微机械热电堆红外探测器阵列性能进行研究.阵列器件采用二维的面阵列结构,单元探测器分别以串联和并联2种方式分别组成阵列,微机械热电堆的热电偶材料采用N型多晶硅和铝,结构支撑膜为... 详细信息
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多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制
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光学精密工程 2011年 第8期19卷 1816-1823页
作者: 李四华 徐静 龙亮 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多... 详细信息
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一种用于核酸高灵敏检测的液滴式数字聚合酶链式反应芯片
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高等学校化学学报 2017年 第7期38卷 1140-1147页
作者: 袁浩钧 郜晚蕾 景奉香 刘松生 周洪波 贾春平 金庆辉 赵建龙 传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 中国科学院大学 北京100049
为了实现对核酸的高灵敏度检测,构建了一种新型的液滴式数字聚合酶链式反应(dd PCR)芯片.该芯片由产生液滴的聚二甲基硅氧烷(PDMS)模块和储存液滴的玻璃腔构成.实验结果表明,该芯片可以在25 min内产生2×106个直径为20μm的微液滴... 详细信息
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离子束增强沉积氮化铝薄膜的电绝缘性能研究
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压电与声光 2004年 第6期26卷 494-496,502页
作者: 宋朝瑞 俞跃辉 邹世昌 郑志宏 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 上海200050
AlN薄膜作为绝缘层材料,在微电子领域的高温高功率器件中有很大应用潜力。采用离子束增强沉积(IBED)法制备了AlN薄膜,采用X光电子能谱(XPS)和电容-电压/电流-电压(C-V/I-V)等方法对AlN薄膜的微观结构和绝缘性能进行了研究,得到了影响薄... 详细信息
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无线传感器网络扩张型时间同步协议
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西安电子科技大学学报 2015年 第2期42卷 133-139页
作者: 王晶 张帅 高丹 王营冠 中国科学院上海微系统与信息技术研究所物联网系统技术实验室 上海201899
针对无线传感器网络时间同步问题,提出扩张型时间同步协议.协议采用尽可能同步的思想,建立节点对信息交互模型,可同步节点对通信范围并集内有节点.算法提供多跳同步方案,采用分布式贪婪算法选取最合理的同步节点对.单跳同步实验表明,... 详细信息
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无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性
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光学精密工程 2012年 第8期20卷 1772-1781页
作者: 翟雷应 徐静 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区... 详细信息
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