咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 338 篇 期刊文献
  • 51 篇 会议

馆藏范围

  • 389 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 361 篇 工学
    • 135 篇 机械工程
    • 101 篇 电子科学与技术(可...
    • 93 篇 仪器科学与技术
    • 56 篇 材料科学与工程(可...
    • 42 篇 光学工程
    • 40 篇 控制科学与工程
    • 36 篇 化学工程与技术
    • 19 篇 电气工程
    • 8 篇 信息与通信工程
    • 8 篇 生物工程
    • 7 篇 航空宇航科学与技...
    • 7 篇 农业工程
    • 6 篇 力学(可授工学、理...
    • 5 篇 生物医学工程(可授...
    • 4 篇 软件工程
    • 3 篇 动力工程及工程热...
    • 3 篇 计算机科学与技术...
    • 3 篇 环境科学与工程(可...
    • 2 篇 食品科学与工程(可...
  • 76 篇 理学
    • 35 篇 化学
    • 34 篇 物理学
    • 6 篇 生物学
    • 4 篇 系统科学
    • 1 篇 数学
    • 1 篇 地球物理学
    • 1 篇 地质学
  • 8 篇 医学
    • 2 篇 临床医学
    • 2 篇 医学技术(可授医学...
  • 7 篇 农学
    • 4 篇 作物学
    • 3 篇 农业资源与环境
  • 1 篇 军事学
  • 1 篇 艺术学

主题

  • 26 篇 微机电系统
  • 20 篇 mems
  • 17 篇 微机械陀螺
  • 15 篇 微电子机械系统
  • 11 篇 微流控芯片
  • 9 篇 红外探测器
  • 9 篇 传感器
  • 8 篇 各向异性腐蚀
  • 8 篇 压阻
  • 8 篇 加速度传感器
  • 8 篇 ingaas
  • 8 篇 微机电系统(mems)
  • 7 篇 微悬臂梁
  • 7 篇 加速度计
  • 7 篇 微机械
  • 7 篇 接口电路
  • 7 篇 光波导
  • 7 篇 mems技术
  • 6 篇 热-机械灵敏度
  • 6 篇 静电驱动

机构

  • 146 篇 中国科学院上海微...
  • 120 篇 中国科学院上海微...
  • 68 篇 中国科学院研究生...
  • 67 篇 中国科学院大学
  • 45 篇 中国科学院上海微...
  • 19 篇 浙江大学
  • 17 篇 上海大学
  • 12 篇 宁波大学
  • 9 篇 上海师范大学
  • 9 篇 中国科学院上海微...
  • 8 篇 上海交通大学
  • 7 篇 上海微技术工业研...
  • 7 篇 同济大学
  • 7 篇 中国科学院上海技...
  • 6 篇 传感技术国家重点...
  • 6 篇 复旦大学
  • 6 篇 福州大学
  • 6 篇 上海科技大学
  • 6 篇 北京航空航天大学
  • 6 篇 中国科学院微系统...

作者

  • 121 篇 王跃林
  • 71 篇 李昕欣
  • 51 篇 金庆辉
  • 45 篇 赵建龙
  • 42 篇 熊斌
  • 40 篇 车录锋
  • 36 篇 焦继伟
  • 34 篇 李铁
  • 34 篇 吴亚明
  • 27 篇 冯飞
  • 24 篇 杨恒
  • 16 篇 徐静
  • 13 篇 刘民
  • 13 篇 郭慧
  • 13 篇 钟少龙
  • 13 篇 赵斌
  • 12 篇 张永刚
  • 12 篇 葛玉卿
  • 12 篇 于海涛
  • 11 篇 郜晚蕾

语言

  • 389 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统于信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
389 条 记 录,以下是161-170 订阅
排序:
硅基石墨烯场效应管关键工艺研究
收藏 引用
功能材料 2013年 第B12期44卷 344-349页
作者: 张凤 方新心 成霁 唐逢杰 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院与德国于利希研究中心超导与生物电子学联合实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100049
石墨烯由于其独特的电学特性受到关注,工艺的研究促使石墨烯材料的实际应用。着重于石墨烯场效应管关键工艺(目标衬底的预处理、石墨烯的转移、金属沉积、石墨烯刻蚀与退火)的优化。通过实验发现,衬底上硅醇基的密度以及碳氢化合物分子... 详细信息
来源: 评论
压阻式压力传感器微结构塑性形变及影响
收藏 引用
半导体技术 2013年 第7期38卷 510-516页
作者: 徐铭 徐德辉 姚邵康 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100039
由于体硅微机械工艺制作绝压压阻式压力传感器的过程中,通过Si-Si直接键合形成的带真空腔的微结构在高温和大气压的作用下会产生塑性形变,对器件制作工艺中微结构发生的塑性变形及其对器件性能的影响进行了研究。基于Von Mises屈服准则... 详细信息
来源: 评论
基于电容检测MEMS磁传感器的设计与制作
收藏 引用
纳米技术与精密工程 2013年 第3期11卷 222-230页
作者: 龙亮 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院 上海200050
为实现微型化、低功耗、低成本和高灵敏度的磁传感器,提出了一种基于微型磁扭摆结构的磁传感器,并利用对角度变化非常敏感的差分电容检测技术对磁扭摆的扭转角度进行检测.设计的磁传感器包括微扭摆结构、磁性敏感薄膜和差分检测电容等部... 详细信息
来源: 评论
低温非晶硅/金圆片键合技术(英文)
收藏 引用
纳米技术与精密工程 2013年 第4期11卷 375-378页
作者: 刘米丰 徐德辉 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
本文研究了低温非晶硅/金圆片键合技术.具有不同金硅比的键合片在400℃键合温度和1 MPa键合压力下维持30 min,其键合成功区域均高于94%,平均剪切强度均大于10.1 MPa.键合强度测试结果表明键合成品率与金硅比大小无关,平均剪切强度在10~... 详细信息
来源: 评论
基于聚苯胺的pH电极及其在CO2检测中的应用研究
收藏 引用
传感技术学报 2013年 第10期26卷 1468-1472页
作者: 金妍 瞿晓虎 陈淼 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 CSIRO Process Science and Engineering Box 312Clayton southVictoria 3169Australia 中国科学院大学 北京100049
研制了一种基于聚苯胺( PANI)的石墨pH电极,并将其成功地应用于CO2的检测中。在苯胺和盐酸的混合液中采用循环伏安法实现苯胺在石墨电极上的电聚合。实验表明,此基于聚苯胺的石墨pH电极在pH 1~pH 12的范围内呈现出很好的响应:-63.8... 详细信息
来源: 评论
传感器Q值对加速度计量化噪声的影响
收藏 引用
传感器与微系统 2013年 第11期32卷 40-43页
作者: 李刚 车录锋 黎晓林 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100039
高品质因数(Q)的加速度计因其具有较低的机械热噪声而适合高性能的振动检测,但Q值过高会带来接口电路的不稳定。为了充分利用传感器的特性优化Sigma-Delta(∑Δ)数字接口电路设计,通过分析加速度计的数字接口电路模型,验证了Q值的变化... 详细信息
来源: 评论
基于切割成型的侧壁表面压阻制作及其参数优化
收藏 引用
传感技术学报 2013年 第2期26卷 182-186页
作者: 宋芳 王家畴 上海工程技术大学机器人智能控制及功能设计实验室 上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
为了提高MEMS执行器件对面内运动位移(或力学信号)检测的灵敏度并改善侧壁检测电阻制作工艺与其他工艺及其不同器件结构之间的兼容性问题,提出一种基于离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻的方法。在此... 详细信息
来源: 评论
基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路
收藏 引用
仪表技术传感 2013年 第3期 7-10页
作者: 柴光飞 刘民 于海涛 许鹏程 徐铁刚 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计了基于FPGA的谐振式微悬臂梁传感器接口电路,将接口电路与谐振式微悬臂梁传感器组成闭环自激振荡系统。为满足接口电路智能化与输出频率稳定性的要求,设计了带有自动扫频功能的锁相环,以此锁相环为核心并结合外围放大、滤波、移相... 详细信息
来源: 评论
矩形微流道内三维水力聚焦效应理论计算
收藏 引用
微电子学 2013年 第5期43卷 698-703页
作者: 周林峰 曾静 彭艳 刘梅 上海大学机电工程与自动化学院 上海200072 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
在矩形微流道内二维水力聚焦计算的基础上,对三维对称和非对称水力聚焦进行了详细的理论计算。根据质量守恒定律和泊肃叶速度剖面等式建立数学方程组,详细推导被聚焦样品流的位置和尺寸,绘制它们与各流速比之间的关系曲线,对影响聚焦的... 详细信息
来源: 评论
一维纳米材料组装技术研究进展
收藏 引用
材料导报 2013年 第5期27卷 6-13,28页
作者: 刘梅 周林峰 彭艳 吴智政 上海大学机电工程与自动化学院 上海200072 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050
分别分析和讨论了纳米线阵列直接有序生长法、随机组装法和不同驱动机制的组装法,展望了其下一步的研究方向。总体来说,直接有序生长法适用的材料范围受限制,对生长环境要求严格;随机组装法成功率比较低;而将纳米线合成和组装分立并加... 详细信息
来源: 评论