咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 338 篇 期刊文献
  • 51 篇 会议

馆藏范围

  • 389 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 361 篇 工学
    • 135 篇 机械工程
    • 101 篇 电子科学与技术(可...
    • 93 篇 仪器科学与技术
    • 56 篇 材料科学与工程(可...
    • 42 篇 光学工程
    • 40 篇 控制科学与工程
    • 36 篇 化学工程与技术
    • 19 篇 电气工程
    • 8 篇 信息与通信工程
    • 8 篇 生物工程
    • 7 篇 航空宇航科学与技...
    • 7 篇 农业工程
    • 6 篇 力学(可授工学、理...
    • 5 篇 生物医学工程(可授...
    • 4 篇 软件工程
    • 3 篇 动力工程及工程热...
    • 3 篇 计算机科学与技术...
    • 3 篇 环境科学与工程(可...
    • 2 篇 食品科学与工程(可...
  • 76 篇 理学
    • 35 篇 化学
    • 34 篇 物理学
    • 6 篇 生物学
    • 4 篇 系统科学
    • 1 篇 数学
    • 1 篇 地球物理学
    • 1 篇 地质学
  • 8 篇 医学
    • 2 篇 临床医学
    • 2 篇 医学技术(可授医学...
  • 7 篇 农学
    • 4 篇 作物学
    • 3 篇 农业资源与环境
  • 1 篇 军事学
  • 1 篇 艺术学

主题

  • 26 篇 微机电系统
  • 20 篇 mems
  • 17 篇 微机械陀螺
  • 15 篇 微电子机械系统
  • 11 篇 微流控芯片
  • 9 篇 红外探测器
  • 9 篇 传感器
  • 8 篇 各向异性腐蚀
  • 8 篇 压阻
  • 8 篇 加速度传感器
  • 8 篇 ingaas
  • 8 篇 微机电系统(mems)
  • 7 篇 微悬臂梁
  • 7 篇 加速度计
  • 7 篇 微机械
  • 7 篇 接口电路
  • 7 篇 光波导
  • 7 篇 mems技术
  • 6 篇 热-机械灵敏度
  • 6 篇 静电驱动

机构

  • 146 篇 中国科学院上海微...
  • 120 篇 中国科学院上海微...
  • 68 篇 中国科学院研究生...
  • 67 篇 中国科学院大学
  • 45 篇 中国科学院上海微...
  • 19 篇 浙江大学
  • 17 篇 上海大学
  • 12 篇 宁波大学
  • 9 篇 上海师范大学
  • 9 篇 中国科学院上海微...
  • 8 篇 上海交通大学
  • 7 篇 上海微技术工业研...
  • 7 篇 同济大学
  • 7 篇 中国科学院上海技...
  • 6 篇 传感技术国家重点...
  • 6 篇 复旦大学
  • 6 篇 福州大学
  • 6 篇 上海科技大学
  • 6 篇 北京航空航天大学
  • 6 篇 中国科学院微系统...

作者

  • 121 篇 王跃林
  • 71 篇 李昕欣
  • 51 篇 金庆辉
  • 45 篇 赵建龙
  • 42 篇 熊斌
  • 40 篇 车录锋
  • 36 篇 焦继伟
  • 34 篇 李铁
  • 34 篇 吴亚明
  • 27 篇 冯飞
  • 24 篇 杨恒
  • 16 篇 徐静
  • 13 篇 刘民
  • 13 篇 郭慧
  • 13 篇 钟少龙
  • 13 篇 赵斌
  • 12 篇 张永刚
  • 12 篇 葛玉卿
  • 12 篇 于海涛
  • 11 篇 郜晚蕾

语言

  • 389 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统于信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
389 条 记 录,以下是171-180 订阅
排序:
MEMS加速度传感器及其在地球物理勘探中的应用
MEMS加速度传感器及其在地球物理勘探中的应用
收藏 引用
2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
作者: 车录锋 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海 200050
利用多种传感器可以对地球进行透视探测,从而指导资源勘探。检波器研制是地震勘探的关键技术,其性能直接影响到地震数据采集的质量,已成为制约石油物探技术发展的主要瓶颈。基于MEMS加速度传感器的数字检波器在频带、动态范围和轴向...
来源: 评论
高质量大面积石墨烯的化学气相沉积制备方法研究
收藏 引用
物理学报 2012年 第3期61卷 510-516页
作者: 王文荣。 周玉修 李铁 王跃林 谢晓明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050
石墨烯因其奇特的能带结构和优异的物理性能而成为近年来研究的热点,但是目前单层石墨烯的质量与尺寸制约了其实际应用的发展.本文采用常压化学气相沉积(CVD)方法,基于铜箔衬底,利用甲烷作为碳源制备了高质量大面积的单层与多层石墨烯.... 详细信息
来源: 评论
无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性
收藏 引用
光学精密工程 2012年 第8期20卷 1772-1781页
作者: 翟雷应 徐静 钟少龙 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区... 详细信息
来源: 评论
基于双纳米金探针杂交法检测HBV DNA
收藏 引用
高等学校化学学报 2012年 第7期33卷 1420-1425页
作者: 邢亚斯 邹能利 毛红菊 徐霞 葛玉卿 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 郑州大学药学院 郑州450001
利用双纳米金探针结合基因芯片平台建立了一种检测乙肝病毒基因(HBV DNA)的新方法.根据HBVDNA的保守序列设计捕获探针和信号报告探针,通过一对互补的纳米金检测探针的双杂交法对HBV DNA进行信号放大,最后进行银染,达到对HBV DNA的可视... 详细信息
来源: 评论
基于MEMS微镜的可调光学衰减器
收藏 引用
光电子.激光 2012年 第12期23卷 2287-2291页
作者: 刘英明 徐静 钟少龙 翟雷应 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
设计并制作了一种基于微光机电系统(MEMS)微镜的可调光衰减器(VOA)。其中微镜的谐振频率为11.26kHz,采用垂直梳齿驱动器驱动。微镜采用体硅微加工工艺在绝缘体上硅(SOI)片上制作。采用制作的微镜和双光纤准直器装配成VOA,衰减器在扭转... 详细信息
来源: 评论
基于N-on-P结构的背照射延伸波长640×1线列InGaAs探测器
收藏 引用
红外与毫米波学报 2012年 第1期31卷 11-14,90页
作者: 朱耀明 李永富 李雪 唐恒敬 邵秀梅 陈郁 邓洪海 魏鹏 张永刚 龚海梅 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室 上海200083 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室 上海200083 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050
在N-on-P型In0.78Al0.22As/In0.78Ga0.22As外延材料上,采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制备了背照射640×1线列InGaAs探测器芯片,研究了探测器光电性能.结果表明,温下单元器件响应截止波长和峰值波长分别为2.36μm和1.92μm,... 详细信息
来源: 评论
芯片级原子钟的气密性能分析
收藏 引用
真空科学技术学报 2012年 第2期32卷 132-139页
作者: 张志强 徐静 李绍良 吴亚明 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室、微系统技术重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳... 详细信息
来源: 评论
基于XeF_2硅刻蚀工艺的低阻硅衬底低损耗共面波导
收藏 引用
固体电子学研究与进展 2012年 第5期32卷 456-462页
作者: 刘米丰 熊斌 徐德辉 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 微系统技术重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
在低阻硅(1-10Ω.cm)衬底上采用XeF2硅腐蚀工艺成功制备了长度为2 mm、结构尺寸为w/s=40/60μm间断悬浮和全悬浮两种结构的共面波导。SEM照片显示器件释放后的悬浮结构未出现粘附或破裂现象。通过WYKO三维形貌观察得到两种结构共面波... 详细信息
来源: 评论
航天先进红外探测器组件技术及应用
收藏 引用
红外与激光工程 2012年 第12期41卷 3129-3140页
作者: 龚海梅 邵秀梅 李向阳 李言谨 张永刚 张燕 刘大福 王小坤 李雪 方家熊 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室 上海200083 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室 上海200083 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
随着航天遥感应用对探测目标的波段特性、空间分辨率、辐射分辨率、时间分辨率以及可靠性等要求的不断提高,作为航天遥感仪器核心部件的光电探测器,需要向扩展波长范围、提高光电性能、改善光谱形状、减小光敏元尺寸、增加器件规模、提... 详细信息
来源: 评论
微纳技术应用中的快速频率响应测量方法
收藏 引用
常熟理工学院学报 2013年 第4期27卷 39-45页
作者: Tomi Roinila 刘凯 席文明 雷李辉 俞骁 张惠国 Matti Vilkko 坦佩雷理工大学自动化科学技术系 芬兰坦佩雷33101 厦门大学机电系 福建厦门361005 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 常熟理工学院物理与电子工程学院 江苏常熟215500
频率响应测试技术作为一种有效的系统辨识技术,可用于开发新型全自动系统,如微注射等.由于缺乏快速、高效的测量方法,频率响应测试技术仍未得到广泛应用.典型的频率响应测试是采用传统的正弦扫描法,一次测量往往需要几分钟.本文提出一... 详细信息
来源: 评论