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语言

  • 389 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统于信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
389 条 记 录,以下是181-190 订阅
排序:
退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用
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红外与激光工程 2012年 第2期41卷 279-283页
作者: 邓洪海 魏鹏 朱耀明 李淘 夏辉 邵秀梅 李雪 缪国庆 张永刚 龚海梅 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室 上海200083 中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室 上海200083 中国科学院研究生院 北京100049 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200083 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室 吉林长春130033 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用闭管扩散方式,对不同结构的异质结外延材料In0.81Al0.19As/In0.81Ga0.19As、InAs0.6P0.4/In0.8Ga0.2As、InP/In0.53Ga0.47As实现了Zn元素的P型掺杂,采用扫描电容显微技术(SCM)和二次离子质谱(SIMS)研究了在芯片制备中高温快速热退火... 详细信息
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用于TEM原位拉伸实验的集成单晶硅纳米梁MEMS测试芯片研究
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中国科学(E辑) 2009年 第5期39卷 948-953页
作者: 金钦华 王跃林 李铁 李昕欣 许钫钫 上海交通大学微纳科学技术研究院 上海200030 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 微系统技术国家实验室上海200050 中国科学院硅酸盐研究所 上海200050
透射电镜内的原位拉伸测试是研究纳米尺度的单晶硅材料的力学性质的一种很有发展前景的研究方法.开展了集成单晶硅纳米梁的微电子机械系统测试芯片的设计、制作,并完成了原位拉伸的测试实验.集成的微电子机械系统芯片由基于静电梳齿结... 详细信息
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静电力驱动的液滴数字传输芯片
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功能材料与器件学报 2010年 第2期16卷 131-136页
作者: 皋华敏 李铁 许磊 刘翔 王翊 周萍 王跃林 传感技术联合国家重点实验室 微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050
设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片。通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低。目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,... 详细信息
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大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性
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Journal of Semiconductors 2005年 第1期26卷 148-152页
作者: 陈永 焦继伟 王惠泉 金仲和 张颖 熊斌 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学信电系 杭州310027
设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低... 详细信息
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应力型微悬臂梁生化传感器响应机理研究进展
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传感器与微系统 2014年 第6期33卷 5-8,12页
作者: 杨天天 江南大学 江苏无锡214122 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面... 详细信息
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基于静电力的微液滴驱动芯片
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传感器与微系统 2011年 第2期30卷 116-118,121页
作者: 刘翔 高安然 李铁 周萍 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片。介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列... 详细信息
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基于PID反馈的高Q值加速度计闭环检测电路
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传感器与微系统 2011年 第2期30卷 101-103,106页
作者: 孙腾 车录锋 黎晓林 吴健 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
高Q值加速度计由于能够很好地降低热机械布朗噪声,被广泛应用于高精度低噪声检测领域,相应的闭环接口电路却成为其应用的困难之一。通过分析传感器的器件结构和动态响应,提出了一种基于PID反馈的闭环检测电路来克服传感器因高Q值造成的... 详细信息
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基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制
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光通信技术 2012年 第4期36卷 22-24页
作者: 刘英明 徐静 李四华 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器,使用仿真软件对器件参数进行了优化设计。对加工出来的器件进行了测试,并对测试结果进行了分析。器件成功的实现了光学调制的功能,采用10kHz的方波信号进行调制时,得到了峰... 详细信息
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基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究
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传感器与微系统 2008年 第12期27卷 118-120页
作者: 陆荣 陆松涛 杨恒 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀。在(111)型硅片上利用原电池钝... 详细信息
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基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺
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Journal of Semiconductors 2007年 第10期28卷 1630-1635页
作者: 段飞 焦继伟 王育才 张颖 宓斌玮 李金鹏 钱清 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院
设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏... 详细信息
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