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检索条件"机构=中国科学院上海微系统于信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
388 条 记 录,以下是191-200 订阅
排序:
悬臂式RF MEMS开关的设计与研制
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Journal of Semiconductors 2003年 第11期24卷 1190-1195页
作者: 郭方敏 赖宗声 朱自强 贾铭 初建朋 范忠 朱荣锦 戈肖鸿 杨根庆 陆卫 华东师范大学信息科学和技术学院 上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200083
介绍了一种制作在低阻硅 (3~ 8Ω· cm)上的悬臂式 RF MEMS开关 .在 Cr/ Au CPW共面波导上 ,金 /Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂 ,静电受激作为开关机理 .当开关处于“关断”态 ,其隔离度小于- 35 d B(2 0~ 4 0 GHz... 详细信息
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空间遥感用近红外InGaAs焦平面组件(英文)
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红外与激光工程 2009年 第4期38卷 574-582页
作者: 龚海梅 唐恒敬 李雪 张可锋 李永富 李淘 宁锦华 汪洋 缪国庆 宋航 张永刚 方家熊 中国科学院上海技术物理研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200083 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 激发态物理重点实验室吉林长春130033 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050
介绍了InGaAs PIN探测器的结构和主要性能指标,综述了InGaAs探测器的研究进展,特别是我国空间遥感用高均匀性长线列InGaAs焦平面组件的关键技术和主要性能结果。近年来,我国空间遥感用InGaAs得到了较快发展,研制出光谱响应为0.9~1.7μ... 详细信息
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三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
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半导体技术 2012年 第10期37卷 790-794,814页
作者: 蔡梅妮 车录锋 林友玲 周晓峰 黎晓林 吴健 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
为了降低微电子机械系统(MEMS)加速度器件的热机械噪声,提高信噪比,使之能应用于石油勘探和地震监测中,对一种三明治式电容加速度传感器的器件级真空封装工艺进行了研究。这种器件级真空封装方法采用可编程高真空封装设备和MEMS工业中... 详细信息
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基于聚苯胺的pH电极及其在CO2检测中的应用研究
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传感技术学报 2013年 第10期26卷 1468-1472页
作者: 金妍 瞿晓虎 陈淼 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 CSIRO Process Science and Engineering Box 312Clayton southVictoria 3169Australia 中国科学院大学 北京100049
研制了一种基于聚苯胺( PANI)的石墨pH电极,并将其成功地应用于CO2的检测中。在苯胺和盐酸的混合液中采用循环伏安法实现苯胺在石墨电极上的电聚合。实验表明,此基于聚苯胺的石墨pH电极在pH 1~pH 12的范围内呈现出很好的响应:-63.8... 详细信息
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基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器
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光电子.激光 2012年 第9期23卷 1635-1643页
作者: 翟雷应 徐静 吴亚明 刘闯 雷洪波 陶大勇 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 中石油吉林石化分公司化肥厂 吉林132021 中石油吉林石化分公司炼油厂 吉林132022
设计并制作出了一种基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器。MEMS静电驱动器采用垂直梳齿驱动技术,驱动硅微反射镜沿其法线方向的垂直平移运动以实现入射光波的光相位调制。MEMS静电微镜驱动器与光纤准直器耦合构成MEMS光纤相位调制器... 详细信息
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基于二硫化钼的电容式土壤湿度传感
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智慧农业(中英文) 2024年 第1期6卷 28-35页
作者: 李露 葛玉卿 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学材料与光电研究中心 北京100049 中国科学院大学 北京100039
[目的/意义]土壤中含水率直接影响农作物生长状态和产量。开发出一种可靠、高效的土壤湿度传感器对实施农田科学灌溉具有重要指导意义。[方法]本研究提出一种基于微加工工艺制备的二硫化钼电容式土壤湿度传感器,通过叉指电极上同一平面... 详细信息
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三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计
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传感技术学报 2007年 第8期20卷 1752-1756页
作者: 董培涛 周伟 李昕欣 张屯国 王跃林 封松林 李圣怡 国防科技大学机电工程与自动化学院 长沙410073 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计,量程范围为2000gn.为满足技术性能要求,加速度计采用一种三梁-质量块结合梳齿阻尼器的新颖结构,从而可以同时具有高灵敏度及高动态特性(包括高谐振频率及精确阻... 详细信息
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曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计
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机械强度 2003年 第2期25卷 148-150,214页
作者: 董健 李昕欣 王跃林 张鲲 宋朝晖 浙江大学信息与电子工程系 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ,两个完全... 详细信息
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传感器Q值对加速度计量化噪声的影响
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传感器与微系统 2013年 第11期32卷 40-43页
作者: 李刚 车录锋 黎晓林 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院大学 北京100039
高品质因数(Q)的加速度计因其具有较低的机械热噪声而适合高性能的振动检测,但Q值过高会带来接口电路的不稳定。为了充分利用传感器的特性优化Sigma-Delta(∑Δ)数字接口电路设计,通过分析加速度计的数字接口电路模型,验证了Q值的变化... 详细信息
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用于细菌快速高灵敏检测的离心式高通量液滴微流控芯片
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微纳电子技术 2019年 第7期56卷 548-555页
作者: 朱敏杰 彭伙 高则航 廖承悦 葛玉卿 周洪波 赵建龙 上海大学理学院 上海200444 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
细菌是许多疾病的病原体,对它的快速检测在医学领域具有重要意义。液滴作为稳定的微反应器,被越来越多地应用于绝对定量检测的研究中。研制了一种用于细菌快速检测的离心力液滴式微流控芯片,该芯片能够实现液滴的高均一性、高通量生成,... 详细信息
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