检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器技术 2004年第12期23卷 82-85页

作者：陈雪萌宋朝晖李欣昕王跃林张鲲焦继伟杨恒中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺。陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测。主梁、微梁质量块结构实现了高灵敏度。比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率。微梁很细,检测时微梁... 详细信息

设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺。陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测。主梁、微梁质量块结构实现了高灵敏度。比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻应变计就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5V条件下,陀螺检测部分的理论灵敏度达到27.45mV/gn。压阻式四端器件用来监测驱动振幅,可以反馈补偿压阻的温度系数。检测模态的Q值达260使陀螺能在大气下工作。陀螺利用普通的n型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。

关键词：陀螺压阻深反应离子刻蚀

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MEMS悬臂式开关的失效分析

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传感技术学报 2004年第3期17卷 492-496页

作者：徐欣郭方敏葛羽屏李成诗于绍欣朱荣锦赖宗声朱自强王跃林陆卫华东师范大学信息科学和技术学院上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点开放实验室上海200050 中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室上海200083

介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1～ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法... 详细信息

介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1～ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命。结果寿命接近 1 0 5,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理。

关键词：寿命悬臂接触式开关驱动电压失效 ANSYS

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纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究

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传感器技术 2004年第1期23卷 73-76页

作者：杨尊先程保罗李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 浙江大学信息与电子工程学系浙江杭州310027

给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖... 详细信息

给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖集成于在同一超薄微细悬臂梁,通过楔形开孔的机械切断,避免了加热电阻器高温处的PN结在高温下失去电隔离作用。室温下测得该器件加热电阻器的阻值为500～600Ω,压阻式传感器的力敏电阻器的阻值为6～8kΩ。

关键词：压阻式传感器纳机电探针集成纳米探针硅纳机电系统

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相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制

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华东师范大学学报（自然科学版） 2004年第1期 49-55页

作者：郭方敏朱守正魏华征郑莹朱荣锦忻佩胜朱自强赖宗声杨根庆陆卫华东师范大学信息科学技术学院上海 200062 中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室华东师范大学信息科学技术学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合开放实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院上海技术物理所

MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布... 详细信息

MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列一毫米波相移器在35GHz时,启动电压5V,20V时相移量达到372°/3.5 mm,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量。

关键词： MEMS 毫米波相移器相位连续可调传输损耗插入损耗启动电压

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电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究

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腐蚀科学与防护技术 2004年第5期16卷 287-290页

作者：黄卫东王旭洪王莉盛玫徐立强 Frank Stubhan 罗乐中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术国家重点实验室上海新代车辆技术有限公司上海200050 上海新代车辆技术有限公司

测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线。应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线 ,得到了水汽... 详细信息

测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线。应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线 ,得到了水汽在各种防护条件下的扩散系数 ,进而计算出水汽扩散的激活能 ,定量比较了各种防护方法的效果。实验和模拟结果表明

关键词：氮化硅硅酮 FR4基板湿度传感器水汽扩散有限元分析法集成电路封装工艺

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转动竖直镜面的微机械光开关

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科技通讯（上海） 2004年第1期10卷 54-58页

作者：杨艺榕刘文平王跃林吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试... 详细信息

提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB。

关键词：各向异性腐蚀深反应离子刻蚀 MEMS 光开关微机械静电耦合分析有限元

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先进体硅机械加工技术——从微米到纳米

先进体硅机械加工技术——从微米到纳米

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第一届长三角地区传感技术学术交流会

作者：李昕欣王跃林李铁杨恒焦继伟传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所

介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-DRIE深刻... 详细信息

介绍了多种自主研发的先进体硅机械加工技术。在湿法各向异性腐蚀技术方面,开发了一种“掩模-无掩模三维腐蚀技术”,只进行一次光刻,就可以用顺序的腐蚀过程实现多层微机械结构,用该技术可以制备多种先进MEMS器件。介绍用ICP-DRIE深刻蚀工艺实现的多种先进MEMS结构和开发的传感器。充分结合硅材料的各向异性和加工技术的高度选择性,体硅加工技术可以有力延伸到制造具有纳米特征尺度的纳机电器件。本文以集成探针和纳米硅谐振梁的体硅加工为例,表明了体硅加工技术的能力和发展前景。

关键词：机械加工技术

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一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器

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功能材料与器件学报 2004年第3期10卷 355-358页

作者：韩晓峰吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院研究生院北京100039

设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率。该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB。

关键词：可调谐光衰减器双脊型波导 SOI材料光网络无源光器件光波分复用系统

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一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关

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功能材料与器件学报 2004年第3期10卷 350-354页

作者：黄蓉焦继伟王跃林传感技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院研究生院北京100039

提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径。在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000... 详细信息

提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径。在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000μm×600μm×300μm的射频开关,驱动电压为35V,在射频信号频率为50MHz到10GHz的范围内,该开关的插入损耗低于2dB,隔离度高于40dB。

关键词：微电子机械系统射频开关共面波导微机械

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采用MMI结构研制具有平顶谱特性的AWG

采用MMI结构研制具有平顶谱特性的AWG

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中国光学学会2004年学术大会

作者：贾科淼唐衍哲李柏阳杨建义江晓清吴亚明王跃林浙江大学信息科学与电子工程系中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

在AWG输入端设置多模干涉(MMI)耦合器,我们在SiO2光波导材料上设计并制作了具有平顶谱特性的1×8阵列波导光栅(AWG)。本文首先简要介绍了采用MMI结构展宽AWG滤波谱线的原理,给出了数值模拟结果。通过对所研制的器件进行测试,并与常... 详细信息

在AWG输入端设置多模干涉(MMI)耦合器,我们在SiO2光波导材料上设计并制作了具有平顶谱特性的1×8阵列波导光栅(AWG)。本文首先简要介绍了采用MMI结构展宽AWG滤波谱线的原理,给出了数值模拟结果。通过对所研制的器件进行测试,并与常规AWG比较,结果表明,器件的1dB带宽由0.22nm增为0.43nm,增加近100%,3dB带宽由0.39nm增为0.72nm,增加85%。而20dB带宽仅由1.04nm增为1.56nm,只增加了50%。同时,器件插损为5.72dB,串扰优于-30dB,PDL小于0.5dB。

关键词：波分复用阵列波导光栅带宽

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