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  • 26 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感器国家重点实验室"
26 条 记 录,以下是1-10 订阅
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迭代法重建平板光波导折射率分布
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光学学报 2005年 第6期25卷 726-730页
作者: 郝寅雷 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050
提出了一种用于重建渐变折射率平板光波导折射率分布的方法,这种方法通过数值法求解亥姆霍兹方程,从光波导的低阶模开始采用迭代法顺次对各个模式对应的“转折点”位置进行校正,并多次重复迭代以消除“转折点”外折射率分布的变化对相... 详细信息
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基于锁相环接口电路的高性能扭转谐振模态微悬臂梁传感器研究
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传感技术学报 2007年 第10期20卷 2234-2238页
作者: 包涵菡 李昕欣 张志祥 王跃林 于海涛 刘民 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室 上海200050
扭转谐振模态微悬臂梁低能耗、高品质因数的特性,使它比传统的弯曲模态悬臂梁拥有更高的灵敏度和分辨率.将微传感器加工技术和生物检测技术相结合,利用扭转谐振模态微悬臂梁传感器对生物素和亲和素的特异性反应进行检测,结果传感器的灵... 详细信息
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基于PDMS的人工视网膜神经微电极阵列
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上海交通大学学报 2011年 第11期45卷 1731-1736页
作者: 朱壮晖 李刚 周洪波 张华 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
为了利用柔顺性材料实现电极位点与靶细胞的良好接触,同时保证微电极的可靠性,提出了一种新的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微电极制作方法.该方法通过在硅基表面沉积金属层、光刻图形化以及电镀形成电极基本结构,然后通过PDMS浇注、湿法刻蚀、... 详细信息
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基于渗透脱水的自动化蛋白质结晶高通量筛选芯片
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高等学校化学学报 2012年 第10期33卷 2178-2183页
作者: 罗娅慧 李刚 陈强 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感器技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
构建了一种基于渗透脱水模式的自动进样微流控结晶芯片.该芯片通过真空预脱气将包含蛋白质和结晶剂的液滴自动分配至结晶微腔阵列中,然后利用集成的一排包含不同浓度盐溶液的透析管道,通过渗透脱水方式经一层聚二甲基硅氧烷(PDMS)膜实... 详细信息
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几种基于MEMS的纳米梁制作方法研究
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传感技术学报 2007年 第9期20卷 1971-1976页
作者: 许科峰 于海涛 杨永亮 杨恒 李昕欣 王跃林 中国科学院研究生院 北京100864 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050
特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构.提出了几种基于MEMS技术的纳米梁制作方法,通过利用MEMS技术中材料与工艺的特性实现单晶硅纳米梁的制作.在普通(111)硅片上,利用各向异性湿法腐蚀对(111)面腐蚀速率极低的特性,... 详细信息
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一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
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传感技术学报 2006年 第5A期19卷 1462-1465页
作者: 史明甫 焦继伟 包晓清 冯飞 杨恒 李铁 王跃林 中国科学院研究生院 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室
研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米沟道... 详细信息
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基于碳膜的柔性神经微电极阵列加工
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纳米技术与精密工程 2012年 第2期10卷 184-188页
作者: 朱壮晖 周亮 张华 李刚 金庆辉 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
为了实现长期安全有效的神经电刺激,避免电极腐蚀情况,提出了一种基于热解光刻胶形成碳膜作为导电材料的柔性视网膜神经微电极阵列.首先,通过高温热解图形化的光刻胶形成导电碳膜,然后利用光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)作为基底材料,... 详细信息
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悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造
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仪表技术传感器 2006年 第4期 12-14页
作者: 郭南翔 汪飞 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术国家重点实验室 上海200050
集成电路圆片级测试探卡主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量。随着集成电路设计和制造技术的发展,芯片焊盘密度日益增加,电路工作速度不断提高,由此产生的寄生电容和寄生电感效应会对传统测试探卡的正常工作造成影响,... 详细信息
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A Generalized Reynolds' Equation For Squeeze-Film Air Damping in MEMS
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Journal of Semiconductors 2002年 第12期23卷 1245-1248页
作者: 鲍敏杭 孙远程 杨恒 王跃林 复旦大学微电子学系专用电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感器国家重点实验室 上海200050
A differential equation that is generally effective for squeeze film air damping of perforated plate and non perforated plate as well as in MEMS devices is *** perforated plate,the thickness and the dimensions of th... 详细信息
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写字机器人绘制纸基微流控芯片便携检测Ca^(2+)
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分析测试学报 2022年 第11期41卷 1607-1613页
作者: 刘旭 高国伟 胡敬芳 张开宇 李延生 北京信息科技大学传感器实验室 北京100101 北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室 北京100192 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
纸基微流控芯片是一种纸质基底芯片,具有性能优良、价格低廉的优势,然而其制备技术多依赖专业昂贵的设备,限制了纸基微流控芯片的发展。该文采用成本低廉的家用写字机器人,将具有敏感特性的智能水凝胶绘制在纸质基底材料上,得到具有水... 详细信息
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