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作者

  • 7 篇 高国伟
  • 7 篇 胡敬芳
  • 7 篇 李延生
  • 6 篇 李刚
  • 6 篇 song yu
  • 6 篇 宋钰
  • 6 篇 王跃林
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  • 3 篇 李昕欣

语言

  • 26 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感器国家重点实验室"
26 条 记 录,以下是11-20 订阅
排序:
一种FIB刻蚀结合KOH腐蚀的制造纳米梁的新方法
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功能材料与器件学报 2010年 第2期16卷 163-168页
作者: 成海涛 杨恒 王跃林 中国科学院研究生院 北京100864 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050
常规的通过干法刻蚀制作纳米梁的方法会不可避免地在梁上引入晶格损伤层。本文提出一种制造无晶格损伤层纳米梁的新工艺方法。在常规光刻后,辅助利用FIB(聚焦离子束)刻蚀修改硅梁中部上方的SiO2掩模。根据单晶硅的材料和工艺特点,通过KO... 详细信息
来源: 评论
悬臂式RF MEMS开关的设计与研制
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Journal of Semiconductors 2003年 第11期24卷 1190-1195页
作者: 郭方敏 赖宗声 朱自强 贾铭 初建朋 范忠 朱荣锦 戈肖鸿 杨根庆 陆卫 华东师范大学信息科学和技术学院 上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200083
介绍了一种制作在低阻硅 (3~ 8Ω· cm)上的悬臂式 RF MEMS开关 .在 Cr/ Au CPW共面波导上 ,金 /Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂 ,静电受激作为开关机理 .当开关处于“关断”态 ,其隔离度小于- 35 d B(2 0~ 4 0 GHz... 详细信息
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电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究
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腐蚀科学与防护技术 2004年 第5期16卷 287-290页
作者: 黄卫东 王旭洪 王莉 盛玫 徐立强 Frank Stubhan 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术国家重点实验室 上海新代车辆技术有限公司 上海200050 上海新代车辆技术有限公司
测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线。应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线 ,得到了水汽... 详细信息
来源: 评论
Modified Reynolds Equation for Squeeze-Film Air Damping of Slotted Plates in MEMS Devices
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Journal of Semiconductors 2006年 第3期27卷 473-477页
作者: 孙远程 鲍敏杭 杨恒 黄宜平 复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200030
A differential equation for calculating squeeze-film air damping in slotted plates is developed by modifying the Reynolds equation. A term is added to account for the effect of airflow through the slots on the air dam... 详细信息
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基于改进LDPC码的短距离跳频无线通信系统
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通信学报 2017年 第12期38卷 34-47页
作者: 房卫东 张武雄 胡明明 陈伟 杨旸 中国科学院上海微系统与信息技术研究所无线传感器网络与通信重点实验室 上海200051 上海无线通信研究中心 上海201210 电子信息系统复杂电磁环境效应国家重点实验室 河南洛阳471003 中国矿业大学计算机科学与技术学院 江苏徐州221116
复杂应用场景决定短距离无线通信系统面对多种干扰、较低硬件资源配置导致其抗干扰能力有限,为实现可靠传输,设计基于改进LDPC码的短距离跳频无线通信系统。其中,提出低复杂度校验和更新(LCU,low-complexity check sum updating)算法,... 详细信息
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纸基微流控芯片及其水环境检测方法研究进展
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中国造纸学报 2023年 第3期38卷 133-143页
作者: 王林哲 胡敬芳 杨洋春 宋钰 李延生 高国伟 北京信息科技大学自动化学院 北京100192 北京信息科技大学传感器重点实验室 北京100101 北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室 北京100192 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器联合国家重点实验室 上海200050
我国水环境污染问题较为突出,发展水环境污染物快速检测方法,是目前及时有效治理水环境问题的迫切需要。近年来,纸基微流控芯片(Paper-based microfluidic analytical devices,µPAD)在环境监测领域得到快速发展,它具有成本低、制... 详细信息
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基于纸基印迹预富集的痕量镉电化学传感器
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传感器微系统 2024年 第3期43卷 47-51页
作者: 杨洋春 胡敬芳 肖疏雨 宋钰 李延生 高国伟 北京信息科技大学自动化学院 北京100192 北京信息科技大学传感器重点实验室 北京100101 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器联合国家重点实验室 上海200050
重金属镉离子(Cd(Ⅱ))是水体质量评价的重要指标之一,本文提出一种基于纸基印迹预富集的痕量镉电化学传感器构建方法,将离子印迹技术、丝网印刷技术、蜡印法和电化学还原有机结合,合成纸基Cd(Ⅱ)印迹聚合物膜(Cd(Ⅱ)-IIP@paper),获得改... 详细信息
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基于STM32的水质重金属监测系统设计
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制造业自动化 2023年 第7期45卷 15-21,30页
作者: 刘耀辉 胡敬芳 宋钰 李延生 高国伟 北京信息科技大学自动化学院 北京100192 北京信息科技大学、传感器重点实验室 北京100101 北京信息科技大学、现代测控技术教育部重点实验室 北京100101 中国科学院上海微系统与信息技术研究所、传感器联合国家重点实验室 上海200050
我国水质污染问题突出,严重影响了农作物的正常生长,尤其是重金属离子,会在农作物体内积累,进而影响人体健康。针对此问题,设计了一种基于STM32F103系列单片机的水质监测系统,该系统的硬件部分包括主控制器、前端数据采集模块和无线传... 详细信息
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离心式气相扩散型蛋白质结晶芯片
离心式气相扩散型蛋白质结晶芯片
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第九届全国微全分析系统学术会议、第四届全国微纳尺度生物分离分析学术会议、2014国际微流控芯片与微纳尺度生物分离分析学术会议
作者: 王丽 李刚 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050
目前蛋白质结晶是限制结构生物学研究的一个重要瓶颈。近年来,为了降低样品消耗、提高结晶筛选的通量和效率,人们将微流控技术引入了蛋白质结晶领域[1],但是从结晶筛选模式来说,现有的微流控蛋白质结晶芯片大多是围绕液-液扩散结晶... 详细信息
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一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 史明甫 焦继伟 包晓清 冯飞 杨恒 李铁 王跃林 中国科学院研究生院 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海
本文研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米... 详细信息
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