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语言

  • 26 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感器国家重点实验室"
26 条 记 录,以下是21-30 订阅
排序:
Modified Reynolds Equation for Squeeze-Film Air Damping of Slotted Plates in MEMS Devices
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2006年 第3期27卷 473-477页
作者: 孙远程 鲍敏杭 杨恒 黄宜平 复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200030
A differential equation for calculating squeeze-film air damping in slotted plates is developed by modifying the Reynolds equation. A term is added to account for the effect of airflow through the slots on the air dam... 详细信息
来源: 评论
一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
收藏 引用
第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 史明甫 焦继伟 包晓清 冯飞 杨恒 李铁 王跃林 中国科学院研究生院 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海 上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海
本文研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米... 详细信息
来源: 评论
迭代法重建平板光波导折射率分布
收藏 引用
光学学报 2005年 第6期25卷 726-730页
作者: 郝寅雷 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室 上海200050
提出了一种用于重建渐变折射率平板光波导折射率分布的方法,这种方法通过数值法求解亥姆霍兹方程,从光波导的低阶模开始采用迭代法顺次对各个模式对应的“转折点”位置进行校正,并多次重复迭代以消除“转折点”外折射率分布的变化对相... 详细信息
来源: 评论
电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究
收藏 引用
腐蚀科学与防护技术 2004年 第5期16卷 287-290页
作者: 黄卫东 王旭洪 王莉 盛玫 徐立强 Frank Stubhan 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术国家重点实验室 上海新代车辆技术有限公司 上海200050 上海新代车辆技术有限公司
测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线。应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线 ,得到了水汽... 详细信息
来源: 评论
悬臂式RF MEMS开关的设计与研制
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2003年 第11期24卷 1190-1195页
作者: 郭方敏 赖宗声 朱自强 贾铭 初建朋 范忠 朱荣锦 戈肖鸿 杨根庆 陆卫 华东师范大学信息科学和技术学院 上海200062 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室 上海200083
介绍了一种制作在低阻硅 (3~ 8Ω· cm)上的悬臂式 RF MEMS开关 .在 Cr/ Au CPW共面波导上 ,金 /Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂 ,静电受激作为开关机理 .当开关处于“关断”态 ,其隔离度小于- 35 d B(2 0~ 4 0 GHz... 详细信息
来源: 评论
A Generalized Reynolds' Equation For Squeeze-Film Air Damping in MEMS
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2002年 第12期23卷 1245-1248页
作者: 鲍敏杭 孙远程 杨恒 王跃林 复旦大学微电子学系专用电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感器国家重点实验室 上海200050
A differential equation that is generally effective for squeeze film air damping of perforated plate and non perforated plate as well as in MEMS devices is *** perforated plate,the thickness and the dimensions of th... 详细信息
来源: 评论