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  • 428 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
428 条 记 录,以下是131-140 订阅
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焊料键合实现MEMS真空封装的模拟
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Journal of Semiconductors 2005年 第5期26卷 1033-1039页
作者: 程迎军 蒋玉齐 许薇 罗乐 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室 上海200050
结合典型的焊料键合MEMS真空封装工艺,应用真空物理的相关理论,建立了封装腔体的真空度与气体吸附和解吸、气体的渗透、材料的蒸气压、气体通过小孔的流动等的数学模型,确定了其数值模拟的算法.通过实验初步验证了模拟结果的准确性,分... 详细信息
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基于柔性解耦梁和显微视觉的精密同轴定位系统
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光学精密工程 2011年 第11期19卷 2685-2692页
作者: 陈涛 陈立国 潘明强 孙立宁 苏州大学机器人与微系统研究中心 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 哈尔滨工业大学机器人研究所
针对偶件装配对同轴度的要求,提出了一种基于柔性解耦梁和显微视觉技术的同轴定位调整系统。为满足同轴度在线调整和轴套的位姿保持,设计了一种"田"字型两自由度柔性解耦梁机构,并结合微动平台和夹具来实现同轴度调整时零件... 详细信息
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服务于IC产业的MEMS探卡
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微纳电子技术 2009年 第12期46卷 705-714页
作者: 程融 蒋珂玮 汪飞 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路的作用。分析指出由于芯片管脚密度的不断增加以及在高频电路中应用的需要,传统的组装式探卡将不能适应... 详细信息
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新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
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传感技术学报 2006年 第5B期19卷 2068-2071页
作者: 刘玉菲 赵本刚 吴亚明 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室
提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Mat-lab进行了解析计算... 详细信息
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高量程加速度计横向各向异性响应的自由落杆冲击评估法(英文)
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微纳电子技术 2019年 第9期56卷 734-744,753页
作者: 鲍海飞 宋朝辉 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
采用自由落杆冲击法对悬臂梁型高量程加速度计(50000g)的横向响应进行研究。钢杆和铝合金杆作为冲击体与地面上放置的金属钢砧碰撞产生应力波作为激励源,用于表征加速度计的性能,其中加速度计固定在金属杆的顶端。该方法不仅可以测量加... 详细信息
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硅基脊型波导器件过渡区损耗及偏振效应
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光学学报 2004年 第2期24卷 203-207页
作者: 唐衍哲 王跃林 吴亚明 浙江大学信息与电子工程学系 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
在绝缘层上的硅材料上制作了四种具有不同输入输出结构的星形耦合器并进行了测试 ,对脊形波导与平板波导相互过渡时过渡区的损耗问题进行了研究和讨论 ,计算得到在所使用的材料参量下利用锥形结构可以得到1dB左右的最小损耗 ,这一损耗... 详细信息
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基于绝缘体上的硅材料的全内反射型阵列波导光栅器件的设计
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光学学报 2002年 第9期22卷 1100-1103页
作者: 李柏阳 江晓清 唐衍哲 杨建义 王明华 李铁 吴亚明 王跃林 浙江大学信息与电子工程学系 杭州3100272 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
设计了一种基于绝缘体上的硅材料的全内反射型阵列波导光栅解复用器件。将一全内反射波导镜引入原弯曲的波导列阵中 ,该波导镜具有偏振补偿的功能和缩小器件尺寸的特点。在器件数值模拟的基础上 ,制作了原理性器件 。
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传感器目标识别的判决域与可靠性分析
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微电子学与计算机 2003年 第8期20卷 171-173页
作者: 王平 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
文章利用概率方法对多传感器目标识别系统进行了分析,提出了利用判决域与决定率进行目标识别的一种方法,利用判决域方法对确定事件发生与否进行决策可以减少传感系统的误响应,同时保证传感系统进行目标识别时的可靠性。
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纳米材料在生物医学检测中的应用
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中国生物工程杂志 2011年 第9期31卷 88-95页
作者: 王萍 毛红菊 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
纳米技术的兴起,对生物医学领域的变革产生了深远的影响。纳米材料是纳米技术发展的重要基础,它具有许多传统材料所不具备的独特的理化性质,因此在生物医学、传感器等重要技术领域有着广泛的应用前景。对几类常见的纳米材料包括纳米金... 详细信息
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微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路
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微纳电子技术 2010年 第6期47卷 350-356页
作者: 甘小华 刘民 于海涛 许鹏程 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满... 详细信息
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