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检索条件"机构=中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
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非晶硅薄膜的红外热敏特性
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Journal of Semiconductors 2008年 第11期29卷 2265-2269页
作者: 马铁英 李铁 刘文平 王跃林 中国计量学院光学与电子科技分院 杭州310018 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
用PECVD技术制备了不同掺磷比的非晶硅薄膜,然后退火改性.红外透射光谱揭示了薄膜内部的键合模式随生长工艺条件变化的规律;测量和分析了非晶硅红外热吸收及电阻温度系数与薄膜结构之间的关系.综合考虑非晶硅电阻率和电阻温度系数两个因... 详细信息
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基于SOI材料的刻蚀光栅分波器的制作工艺
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Journal of Semiconductors 2005年 第1期26卷 138-142页
作者: 王文辉 唐衍哲 戈肖鸿 吴亚明 杨建义 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学信息与电子工程学系 杭州310027
研究了基于绝缘材料上的硅 (SOI)材料的平面波导刻蚀光栅分波器的主要制作工艺 .利用电感耦合等离子体刻蚀 (ICP)技术 ,在SOI材料上制作了垂直度大于 89°的光滑的光栅槽面 .氧化抛光后刻蚀侧壁的表面均方根粗糙度 (RMS)有 3nm的改... 详细信息
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纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究
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传感技术 2004年 第1期23卷 73-76页
作者: 杨尊先 程保罗 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学信息与电子工程学系 浙江杭州310027
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖... 详细信息
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InGaAs近红外线列焦面阵的研制进展
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红外与激光工程 2009年 第1期38卷 14-18页
作者: 龚海梅 张可锋 唐恒敬 李雪 张永刚 缪国庆 宋航 方家熊 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200083 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件国防科技创新实验室 上海200083 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室 吉林长春130033
研制出光谱响应为0.9~1.7μm的256×1、512×1元InGaAs线列焦平面组件,和光谱响应延展至2.4μm的256×1元InGaAs线列焦平面组件。焦平面组件包括光敏芯片、读出电路、热电制冷器以及管壳封装。光敏芯片在InP/InGaAs/InP(p-... 详细信息
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基于切割成型的侧壁表面压阻制作及其参数优化
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传感技术学报 2013年 第2期26卷 182-186页
作者: 宋芳 王家畴 上海工程技术大学机器人智能控制及功能设计实验室 上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
为了提高MEMS执行器件对面内运动位移(或力学信号)检测的灵敏度并改善侧壁检测电阻制作工艺与其他工艺及其不同器件结构之间的兼容性问题,提出一种基于离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻的方法。在此... 详细信息
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基于一种多功能系统的二维纳米器件高效制备
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中国科学信息科学 2022年 第2期52卷 348-357页
作者: 梁亚春 焦陈寅 肖飞 朱健凯 徐博 文婷 伍松 任子明 韦学勇 陈滢 贾浩 夏娟 王曾晖 电子科技大学基础与前沿研究院 成都610054 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
原子级厚度的二维层状晶体材料具有丰富的物理特性,在新型微纳米器件领域展现出重要的发展潜力,相关的器件制备和性能研究也引起了广泛的关注.二维材料微纳米器件的制备需要经过二维材料的转移及金属电极的淀积等一系列过程.然而,在传... 详细信息
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Modified Reynolds Equation for Squeeze-Film Air Damping of Slotted Plates in MEMS Devices
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Journal of Semiconductors 2006年 第3期27卷 473-477页
作者: 孙远程 鲍敏杭 杨恒 黄宜平 复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200030
A differential equation for calculating squeeze-film air damping in slotted plates is developed by modifying the Reynolds equation. A term is added to account for the effect of airflow through the slots on the air dam... 详细信息
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基于微流控技术构建仿生骨芯片的研究进展
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生命科学 2021年 第8期33卷 1047-1053页
作者: 陈琛 田甜 毛红菊 刘慧颖 大连医科大学口腔医学院 大连116044 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
骨是由多种细胞和细胞外基质组成的具有多种功能的动态组织,也是机体在运动中维持机械稳定、平衡力量分布和保护器官的关键组成部分。因此,在体外建立骨组织模型是具有重要意义又极具挑战性的。基于微流控技术在细胞三维共培养上的发展... 详细信息
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多目标拓扑优化设计在纳米定位平台中的应用
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压电与声光 2011年 第2期33卷 228-231页
作者: 陈立国 张洋 陈涛 荣伟彬 孙立宁 哈尔滨工业大学机器人研究所 黑龙江哈尔滨150001 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
纳米定位平台在微型机械和精密仪器的设计和制造领域起着重要作用。该文将拓扑优化引入到压电陶瓷驱动的一维纳米定位平台设计中,并利用多目标设计方法对平台的运动和结构需求进行了优化,采用楔形预紧结构对压电陶瓷进行紧密预紧。经有... 详细信息
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微量试剂分配压电叠堆泵的设计与实验
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压电与声光 2011年 第3期33卷 382-385,389页
作者: 陈立国 邵超 刘德利 陈涛 朱永杨 哈尔滨工业大学机器人研究所 黑龙江哈尔滨150001 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
设计、研制了进行微量、快速、精确试剂分配的压电叠堆泵,研究了压电叠堆泵的结构及工作原理,利用解析法和有限元仿真分析法对泵膜、位移放大机构的静态、动态特性进行了分析和研究,并研究了关键参数对泵性能的影响。对样机进行实验研究... 详细信息
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