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检索条件"机构=中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
429 条 记 录,以下是241-250 订阅
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气体探测用低功耗微型加热器研究
气体探测用低功耗微型加热器研究
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中国兵工学会第十五届测试技术学术年会
作者: 许磊 李铁 高秀丽 王跃林 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050
介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息
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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
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测试技术学报 2010年 第5期24卷 377-380页
作者: 高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息
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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
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中国兵工学会第十五届测试技术学术年会
作者: 高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院 北京100049 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息
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石墨烯复合修饰电极的电化学应用
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化学传感 2010年 第4期30卷 9-13页
作者: 陈志华 葛玉卿 金庆辉 柳建设 赵建龙 东华大学环境科学与工程学院 上海201620 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
石墨烯作为一种二维结构的新型材料,其优异性能得到了人们的广泛关注。该文分析了石墨烯和功能化石墨烯的优异性质,总结了石墨烯作为新型传感材料的应用优势,并介绍了石墨烯对于酶电极的电子传导促进和检测优化以及石墨烯与其它有机物... 详细信息
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CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器
CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器
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中国光学学会2010年光学大会
作者: 徐德辉 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室 微系统技术国家级重点实验室 中国科学院研究生院
微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。本文提出一种采用CMOS兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结... 详细信息
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利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究
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机械强度 2009年 第6期31卷 1019-1023页
作者: 鲍海飞 宋朝辉 李昕欣 刘民 张鲲 陆德仁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出一种高量程加速度传感器横向响应的测试方法——波形可识别的比较法,对高量程加速度传感器非敏感方向(横向)的输出特性进行测试研究实验中采用自由落杆的方法,将已经标定过的传感器和带测试的传感器以背对背的方式进行安装,通过... 详细信息
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具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制
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光学精密工程 2009年 第8期17卷 1878-1883页
作者: 孙立宁 陈涛 邵兵 李昕欣 哈尔滨工业大学机器人研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室
为使夹持器小型集成化且夹持力可控,采用体硅加工技术研制了一种基于单晶硅的、具有微力检测功能的新型四臂式MEMS微夹持器。以压阻检测技术为基础,利用MEMS侧面压阻刻蚀工艺将力传感器集成在微夹持器的夹持臂末端,实现夹持力的微力检... 详细信息
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几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究
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物理学报 2009年 第4期58卷 2518-2522页
作者: 薛伟 郑蓓蓉 张淼 解国新 王权 温州大学机电工程学院 温州323035 清华大学摩擦学国家重点实验室 北京100084 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
对微机电系统(MEMS)中几种常用构件材料的表面能及其主要影响因素进行了探讨,并与材料表面的纳观黏附性能进行了分析比较.用Owens二液法计算出硅基材料的表面能在60—75mJ/m2之间,它们之间总表面能的差异主要归结为表面能极性分量的差异... 详细信息
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一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感
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固体电子学研究与进展 2009年 第1期29卷 143-146页
作者: 毛健 车录锋 林友玲 李玉芳 周晓峰 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容间距,又实现了限位凸点的制作。该加速度传感... 详细信息
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服务于IC产业的MEMS探卡
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微纳电子技术 2009年 第12期46卷 705-714页
作者: 程融 蒋珂玮 汪飞 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路的作用。分析指出由于芯片管脚密度的不断增加以及在高频电路中应用的需要,传统的组装式探卡将不能适应... 详细信息
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