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检索条件"机构=中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
429 条 记 录,以下是281-290 订阅
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退火对PECVD制备的掺磷硅薄膜及其电阻温度系数影响的研究
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人工晶体学报 2007年 第2期36卷 448-452,459页
作者: 马铁英 李铁 刘文平 王跃林 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
本文对采用PECVD技术制备的不同掺杂比掺磷硅薄膜在不同退火时间和温度下的结构和电阻温度系数进行了研究。拉曼散射光谱结果表明:未退火样品主要为非晶/微晶混合相;当退火温度从500℃上升到700℃,薄膜结构呈现出先向非晶相转变,后完全... 详细信息
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极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响
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机械强度 2007年 第5期29卷 745-748页
作者: 吴浩 车录锋 王俊杰 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
根据梳齿式电容加速度传感器极板不平行对传感器静电力和阻尼力的影响,建立有阻尼力反馈微加速度传感器的等效电学模型。通过电学模拟,分析不同阻尼情况下由工艺原因引起的电容极板不平行对传感器可靠工作范围的影响。结果表明,当传感... 详细信息
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一种基于概率判决的强纠错卫星数据存储编码
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核电子学与探测技术 2007年 第6期27卷 1210-1215页
作者: 陈光重 徐会勤 李东 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
单粒子翻转可能造成星载电子系统的损伤,甚至使之失效。本文针对解决皮卫星数据存储的可靠性问题,提出一种新的纠错编码:交叉正反码,并将之与常用的三倍冗余判决(TMR)技术进行了比较研究
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微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响
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光学精密工程 2007年 第5期15卷 699-705页
作者: 杨广立 冯飞 熊斌 王跃林 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
研究了具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件的机械特性对其性能的影响。通过理论计算和ANSYS模拟,分析了器件的热-机械灵敏度,对器件的结构参数进行了优化,并得到其热-机械灵敏度为2.14×10-3rad/K;从器... 详细信息
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非制冷微测辐射热计的热学设计与分析
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红外与激光工程 2007年 第6期36卷 920-923页
作者: 马铁英 李铁 王跃林 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
电压灵敏度和热时间常数为表征微测辐射热计热性能的两个重要参数,热绝缘结构尺寸是决定性能参数的首要因素。首先采用解析法计算,并分析了这两个性能参数随结构尺寸改变的规律,确定一组能兼顾电压灵敏度及热时间常数的结构尺寸优化值,... 详细信息
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考虑微加工误差的微机械陀螺的健壮性优化
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航空学报 2007年 第6期28卷 1499-1505页
作者: 姜涛 善盈盈 王安麟 焦继伟 同济大学机械工程学院 上海200092 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
为减小微加工误差对音叉振动式微机械陀螺设计性能的影响、提高其批量性能稳定性,以对其加工后性能变异影响最大的若干关键参数为设计变量,在分析了几何约束条件、模态性能约束条件、基于模态的加工灵敏度约束条件的基础上建立了微机械... 详细信息
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铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟
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光学精密工程 2007年 第2期15卷 199-205页
作者: 车录锋 卢云 徐志农 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 浙江大学机械与能源工程学院 浙江杭州310027
给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型,然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性。灌封胶弹性模量对封装后加速度传感器整... 详细信息
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一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析
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机械强度 2007年 第3期29卷 404-408页
作者: 卢云 徐志农 车录锋 浙江大学机械与能源工程学院 杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出一种铰链式结构的高量程加速度传感器,该结构可使加速度传感器在保持一定灵敏度的情况下大大提高器件固有频率,从而在更宽的频带内真实地反映冲击过程的加速度信号波形。建立简化模型和改进模型分析该加速度计的力学性能,并用ANSYS... 详细信息
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音叉振动式微机械陀螺固有频率的统计特性分析
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航空学报 2007年 第1期28卷 245-248页
作者: 姜涛 王安麟 张颖 焦继伟 同济大学机械工程学院 上海200092 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象,基于随机摄动技术定量研究了微机械陀螺固有频率变异的统计特征,以概率思想表达了微机械陀螺批量加工过程所带来的材料/尺寸随机误差对其各阶固有频率的影响。通过所提出... 详细信息
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一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计
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半导体光电 2007年 第3期28卷 327-330,337页
作者: 杨广立 冯飞 熊斌 王跃林 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械... 详细信息
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