检索结果-内蒙古大学图书馆

微纳电子技术 2022年第11期59卷 1226-1233,1241页

作者：王曹刘启慧程建功陈浩武震宇中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049 上海大学微电子学院上海200444 上海微技术工业研究院上海201800

金刚石中的氮空位(NV)色心具有极佳的量子性质,并且对温度和磁场敏感,为温度与磁场的精密测量提供了新的解决方案。提出一种基于金刚石NV色心的温度和磁场同步测量方法。NV色心自旋塞曼劈裂能级随温度同向移动、随磁场反向移动。通过对... 详细信息

金刚石中的氮空位(NV)色心具有极佳的量子性质,并且对温度和磁场敏感,为温度与磁场的精密测量提供了新的解决方案。提出一种基于金刚石NV色心的温度和磁场同步测量方法。NV色心自旋塞曼劈裂能级随温度同向移动、随磁场反向移动。通过对劈裂能级同时进行光探测磁共振探测,并结合频率调制解调技术,实现了对温度和磁场的同步测量。自旋双共振系统的3 d B带宽为1 k Hz。在激光功率400 m W、自旋劈裂能级对的驱动微波功率分别为30 d Bm和35 d Bm时,温度灵敏度和磁灵敏度分别约为0.4mK/√Hz和1.1nT/√Hz。温度测量对磁场的隔离度约10 d B。该技术为大动态范围温度与磁场的同步测量提供了解决方案。

关键词：量子传感氮空位(NV)色心温度测量磁测量自旋双共振

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基于压电驱动的靶球筛选操作机理及实验研究

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压电与声光 2012年第1期34卷 56-60页

作者：陈涛陈立国潘明强王振华王家畴孙立宁苏州大学机器人与微系统研究中心江苏苏州215021 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050 哈尔滨工业大学机器人研究所黑龙江哈尔滨150001

针对惯性约束聚变中靶球筛选操作的粘着问题,提出一种基于压电驱动控制的微操作方法,并结合微机电系统(MEMS)技术和微驱动方法,研制压电驱动操作模块用于实验研究。首先,分析微尺度对象粘着机理并进行粘着接触模型的建立,并在此基础上... 详细信息

针对惯性约束聚变中靶球筛选操作的粘着问题,提出一种基于压电驱动控制的微操作方法,并结合微机电系统(MEMS)技术和微驱动方法,研制压电驱动操作模块用于实验研究。首先,分析微尺度对象粘着机理并进行粘着接触模型的建立,并在此基础上提出对操作工具施加振动,利用惯性力作用克服粘着力的动态操作方法;同时,结合靶球筛选操作的特点,分析操作控制策略;最后建立了基于压电驱动的微操作实验系统。针对直径φ50～400μm的靶球对象进行操作实验,成功实现了靶球样品的高效、准确拾取和释放,拾取和释放成功率大于90%。

关键词：惯性约束聚变微操作粘着压电驱动

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MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析

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电子元件与材料 2006年第1期25卷 19-22,26页

作者：杨尊先李昕欣福州大学电子科学与应用物理系福建福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有... 详细信息

为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有振动渐突显,峰值电压增加;阻尼介质粘滞系数越大,其峰值电压越低;介质温度对器件输出特性影响不大。在常温空气介质中,过载保护曲面平移距离为0.5μm时,阻尼比为0.24,近临界阻尼,输出电压高达77.9mV。

关键词：电子技术 MEMS 高量程加速度传感器阻尼效果近似叠加理论

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用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术

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中国工程科学 2002年第6期4卷 56-62页

作者：王渭源王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在保证器件功能和尽... 详细信息

对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在保证器件功能和尽量减少芯片复杂性两者之间权衡决定。

关键词：体硅键合技术薄膜密封技术微电子机械系统封装技术芯片

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大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响

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工程设计学报 2003年第5期10卷 271-274页

作者：董林玺焦继伟陈永王跃林浙江大学信息与电子工程学系浙江杭州310027 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器,并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究.测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504.这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式,它... 详细信息

设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器,并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究.测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504.这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式,它无需真空封装,可以在大气环境下工作,且灵敏度提高.对陀螺原型的测试结构表明,其在大气下检测模态的Q值可以达到715.

关键词：滑膜阻尼电容检测栅形结构

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基于MEMS的气相色谱分析传感技术

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微纳电子与智能制造 2020年第4期2卷 65-71页

作者：冯飞赵斌罗凡田博文中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

基于微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术实现分析仪器的微小型化是目前MEMS领域的重要研究内容之一。气相色谱仪是一种应用十分广泛的复杂气体分析仪器,基于MEMS技术实现气相色谱仪的微小型化,可满足当前快速增长... 详细信息

基于微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术实现分析仪器的微小型化是目前MEMS领域的重要研究内容之一。气相色谱仪是一种应用十分广泛的复杂气体分析仪器,基于MEMS技术实现气相色谱仪的微小型化,可满足当前快速增长的实时、在线、快速检测的需要。基于MEMS技术实现气相色谱仪核心部件的芯片化,并对其集成技术进行研究是当前基于MEMS的气相色谱分析传感技术研究的主要内容,给出了该分析传感技术的国内外研究现状及其技术发展趋势。

关键词： MEMS 气相色谱色谱柱检测器

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基于光吸收原理的化学需氧量传感器设计与应用

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传感器与微系统 2014年第12期33卷 73-75页

作者：赵辉王勤戚海燕王跃章立李铭中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海市环境保护信息中心上海200030 松江区环保局上海201600

化学需氧量(COD)是反映水体受还原性生物质污染的程度,是目前衡量水质状况的最重要指标之一。介绍了一种基于光吸收原理的化学需氧量在线监测传感器,通过邻苯二甲酸氢钾溶液标定实验对传感器进行校准,并应用于上海苏州河水化学需氧量的... 详细信息

化学需氧量(COD)是反映水体受还原性生物质污染的程度,是目前衡量水质状况的最重要指标之一。介绍了一种基于光吸收原理的化学需氧量在线监测传感器,通过邻苯二甲酸氢钾溶液标定实验对传感器进行校准,并应用于上海苏州河水化学需氧量的监测和分析。实验结果表明:利用设计的传感器监测苏州河水,水样COD值为23.17mg/L,传感器稳定性和重复性实验CV值分别为0.18%和0.20%因此,设计的传感器实现了对苏州河水COD值的快速监测和分析。

关键词：化学需氧量光吸收在线监测苏州河水

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细胞外基质蛋白模式对成肌细胞分化的影响

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中国生物医学工程学报 2019年第1期38卷 70-76页

作者：邱昌俊浑婷婷赵莹彤詹悦维赵峰孙艳北京航空航天大学生物与医学工程学院生物力学与力生物学教育部重点实验室北京100191 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

成肌细胞分化机理至今尚不明确,为此主要研究细胞外基质蛋白模式对成肌细胞分化的影响。采用微接触印刷技术制备4种不同的纤维粘连蛋白微图案(平行组、随机组、垂直组、对照组)培养成肌细胞,用免疫荧光染色法分析7 d后各组成肌细胞的分... 详细信息

成肌细胞分化机理至今尚不明确,为此主要研究细胞外基质蛋白模式对成肌细胞分化的影响。采用微接触印刷技术制备4种不同的纤维粘连蛋白微图案(平行组、随机组、垂直组、对照组)培养成肌细胞,用免疫荧光染色法分析7 d后各组成肌细胞的分化情况,并分析2、6、18 h后各组中的黏附分子、Vinculin以及微丝蛋白F-actin的分布情况,每组实验重复3次,每次取3个样本。肌管形成个数平行排列组与对照组相比,无显著性差异(17.33±0.58 vs 16.00±1.73),与垂直组(7.00±1.00)和无极性组(10.89±0.19)相比则显著高(P<0.05)。在2 h时,微丝在细胞中排列与局部微图案一致;在6 h时,微丝开始沿整体图案长轴方向排列;在12 h时,微丝分布与条带整体图案长轴方向一致;18 h时,所形成的黏着斑会沿着微图案区域分布。细胞外基质蛋白模式会对成肌细胞的分化有影响,不同FN极性排列微图案对成肌细胞的骨架和黏附影响不同,这也可能是后期产生不同分化结果的一个原因。

关键词：极性排列微图案技术纤连蛋白黏附分化

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一种封装后释放的准LIGA加工工艺研究

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微细加工技术 2008年第3期 40-45页

作者：陆松涛俞正寅庞洁沈时强杨恒中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200233

研究了一种准LIGA加工工艺。该工艺利用无氰电铸制作金结构层,采用PECVD制作的无定形硅作为牺牲层,利用二氟化氙(XeF2)干法腐蚀对材料选择性好的特点,采用先部分封装然后腐蚀牺牲层释放结构的工艺流程,避免了封装工艺对可动敏感结构造... 详细信息

研究了一种准LIGA加工工艺。该工艺利用无氰电铸制作金结构层,采用PECVD制作的无定形硅作为牺牲层,利用二氟化氙(XeF2)干法腐蚀对材料选择性好的特点,采用先部分封装然后腐蚀牺牲层释放结构的工艺流程,避免了封装工艺对可动敏感结构造成的破坏。研究了无氰电铸结构中的应力梯度,发现应力梯度存在随时间缓慢释放的现象,利用热退火消除了结构中的应力梯度。同时还对厚胶光刻、类特氟隆防粘附层制备等关键工艺作了探讨。

关键词：微机电系统准LIGA 微电铸

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栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究

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功能材料与器件学报 2003年第4期9卷 423-428页

作者：付盛荣熊斌车录锋王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响。在0.01-200°/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01°/s的输入角速度变化。考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的... 详细信息

主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响。在0.01-200°/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01°/s的输入角速度变化。考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10°/s时,整个系统即无法分辨0.01°/s的输入角速度变化。针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题。

关键词：栅结构微陀螺分辨率大角速度信号输入惯性传感器件

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