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  • 428 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
428 条 记 录,以下是291-300 订阅
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原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定
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测试技术学报 2005年 第1期19卷 4-10页
作者: 鲍海飞 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
 利用微加工制造的微悬臂梁/探针尖已经广泛应用在微观表面性质测试和微纳米尺度加工等领域,成为微纳米研究领域中不可缺少的重要工具.为了能够定量研究原子力显微镜中探针与表面的相互作用力,需要对微悬臂梁/探针的力学性能进行表征.... 详细信息
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微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析
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测试技术学报 2006年 第1期20卷 21-26页
作者: 鲍海飞 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
微机械加工制造的微悬臂梁/探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用,作为原子力显微镜中的关键核心组件,微悬臂/探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色.目前,尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成... 详细信息
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基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究
基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究
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中国微米、纳米技术第七届学术会年会
作者: 肖素艳 车录锋 李昕欣 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器。该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控。采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体... 详细信息
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一种基于TSV和激光刻蚀辅助互连的改进型CIS封装
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半导体技术 2017年 第8期42卷 636-640页
作者: 梁得峰 盖蔚 徐高卫 罗乐 上海大学索朗光伏材料与器件R&D联合实验室 上海200000 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200000
提出了一种基于硅通孔(TSV)和激光刻蚀辅助互连的改进型CMOS图像传感器(CIS)圆片级封装方法。对CIS芯片电极背部引出的关键工艺,如锥形TSV形成、TSV绝缘隔离、重布线(RDL)等进行了研究。采用低温电感耦合等离子体增强型化学气相淀积(ICP... 详细信息
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压阻掺杂浓度对高g_n加速度计动态性能影响
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传感器与微系统 2008年 第12期27卷 17-20,23页
作者: 杨尊先 李昕欣 于映 林丽华 陈国南 福州大学食品安全分析与检测教育部重点实验室 福建福州350002 福州大学电子科学与技术系 福建福州350108 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
采用有限元方法研究在不同压阻工作温度下压阻掺杂浓度对高gn加速度计动态冲击性能的影响。结果表明:器件动态冲击响应是受迫振动与悬臂梁固有振动叠加的结果,且压阻灵敏度系数与工作温度成正比。当T〈20℃时,悬臂梁固有振动明显,... 详细信息
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金属氧化物pH传感器的研究进展
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微纳电子技术 2023年 第2期60卷 184-194页
作者: 李曼曼 吕旖雯 居家奇 金妍 上海应用技术大学理学院 上海201418 中国科学院、上海微系统与信息技术研究所、传感技术联合国家重点实验室 上海200050
围绕近年来金属氧化物pH传感器的相关研究,对其传感机理进行了概述,对不同类型金属氧化物pH传感器的研究进展进行了介绍,根据二氧化钌、二氧化铱、五氧化二钽等金属氧化物的特性,分析其作为pH敏感电极的优点和不足,重点分析了4种pH传感... 详细信息
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基于子结构法的微机械陀螺性能解析
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上海交通大学学报 2007年 第5期41卷 797-801,812页
作者: 张正福 王安麟 刘广军 朱灯林 焦继伟 上海交通大学机械与动力工程学院 上海200240 同济大学机械工程学院 上海200092 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
在微机械陀螺性能健壮性设计的研究中,为了解决微陀螺性能解析的高精度和计算时间的问题,以体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺结构为研究对象,提出了基于子结构法的微结构动态性能解析法.在实现了微陀螺的高精度解析和分析的... 详细信息
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光纤海洋温盐深传感研究进展
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激光与光电子学进展 2021年 第13期58卷 267-281页
作者: 周灵钧 于洋 孟洲 国防科技大学文理学院 湖南长沙410073 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 国防科技大学气象海洋学院 湖南长沙410073
针对海洋水文环境参量实际测量需求,重点介绍了现有各型光纤温盐深仪(CTD)传感器的传感机理、研究进展、性能指标、存在的技术瓶颈等问题,并简要介绍海洋环境参量传感阵列研究进展与工程应用情况。综合国内外研究进展来看,光纤光栅型CT... 详细信息
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高频压电MEMS微镜设计与仿真
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传感器与微系统 2024年 第2期43卷 76-80页
作者: 张浩 汪洋 武震宇 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海201800 中国科学院大学 北京100049 上海微技术工业研究院 上海201800 上海大学微电子学院 上海201800
阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方... 详细信息
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壳聚糖修饰氧化铁磁性纳米颗粒的制备和性能研究
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功能材料与器件学报 2012年 第2期18卷 147-152页
作者: 葛玉卿 张宇 顾宁 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 东南大学生物科学与医学工程学院 生物电子学国家重点实验室江苏省生物材料与器件实验室南京210009
通过共沉淀法制备氧化铁磁性纳米颗粒,用壳聚糖对其表面进行修饰得到样品(CS@MNPs);表征其形貌结构、尺寸、表面基团、表面电荷、磁学性质和在不同介质中的稳定性等。实验结果表明,CS@MNPs具有典型的立方反尖晶石晶体结构;粒径为16.5nm... 详细信息
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