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  • 429 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
429 条 记 录,以下是291-300 订阅
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用于MEMS红外传感器的集成低噪声CMOS接口电路设计
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传感技术学报 2007年 第10期20卷 2203-2206页
作者: 姚镭 郝跃国 李铁 熊斌 王跃林 传感技术联合国家重点实验室 微系统技术国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050
实现了一种应用于采集MEMS红外传感器微弱信号的低噪声CMOS接口电路.该电路应用了斩波技术(CHS),对斩波技术中抑制低频噪声的效率分析表明其可以有效降低低频噪声.利用苏州和舰科技(HJTC)的商用0.18μmCMOS工艺流程制作的试样芯片.测试... 详细信息
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石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究
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传感器与微系统 2007年 第1期26卷 41-44页
作者: 王俊杰 车录锋 吴浩 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEM... 详细信息
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微机械Golay腔型红外探测器的研究
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传感器与微系统 2007年 第3期26卷 20-23页
作者: 高翔 徐静 赵本刚 万助军 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/... 详细信息
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一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感
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Journal of Semiconductors 2007年 第10期28卷 1620-1624页
作者: 徐玮鹤 车录锋 李玉芳 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅四层键合高对称电容式加速度传感器.采用硅/硅直接键合技术实现中间对称梁质量块结构的制作,然后采用硼硅玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合.在完成整体结构圆片级真空封装的同时,通过引线... 详细信息
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一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计
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Journal of Semiconductors 2007年 第5期28卷 783-788页
作者: 王育才 焦继伟 段飞 张颖 宓斌玮 李金鹏 钱清 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(1... 详细信息
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基于锁相环接口电路的高性能扭转谐振模态微悬臂梁传感研究
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传感技术学报 2007年 第10期20卷 2234-2238页
作者: 包涵菡 李昕欣 张志祥 王跃林 于海涛 刘民 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室 上海200050
扭转谐振模态微悬臂梁低能耗、高品质因数的特性,使它比传统的弯曲模态悬臂梁拥有更高的灵敏度和分辨率.将微传感器加工技术和生物检测技术相结合,利用扭转谐振模态微悬臂梁传感器对生物素和亲和素的特异性反应进行检测,结果传感器的灵... 详细信息
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高Q值音叉式微陀螺静电自激驱动研究
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传感器与微系统 2007年 第10期26卷 38-40页
作者: 王俊杰 车录锋 李玉芳 熊斌 谢铮 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
为了提高检测精度,对研制的具有滑膜阻尼的音叉式微机械陀螺采用静电自激驱动方式,它能够使驱动振动自动稳定在驱动模态的固有频率上,并保持恒定的驱动振动速度幅度。分析了静电自激驱动电路工作原理,采用自动增益控制(AGC)设计制作了... 详细信息
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CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器
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功能材料与器件学报 2007年 第3期13卷 226-232页
作者: 刘义冬 李铁 王翊 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
提出一种采用正面开口进行湿法腐蚀释放热电堆的结构,通过利用高精度光刻、LPCVD(low-pressure chemical vapor deposition)薄膜生长、IBE(ion beam etching)干法刻蚀、TMAH((CH3)4NOH)腐蚀等微机械加工技术,设计并制作了CMOS兼容的微... 详细信息
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开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关
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Journal of Semiconductors 2007年 第8期28卷 1295-1301页
作者: 贾孟军 李昕欣 宋朝晖 王跃林 中国科学院研究生院 上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力学平衡条件和在阶跃冲击加速度输入情况下的响应特性,并通过Cov... 详细信息
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微机械陀螺结构形状自组织优化方法
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机械工程学报 2007年 第7期43卷 99-104页
作者: 刘广军 王安麟 姜涛 焦继伟 张正福 上海交通大学机械与动力工程学院 上海200030 同济大学机械工程学院 上海200092 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象,提出基于元胞自动机的结构形状自组织优化方法,建立自组织形状优化的局部规则和基于最终输出的性能评价方法,实现对微陀螺结构形状的优化设计。建立微陀螺的子结构模型,在满足精... 详细信息
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