随着绝缘层上硅(SOI)工艺的金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)在空间应用增多,其电离总剂量效应(TID)越来越受到关注。利用TCAD仿真工具,构建了 SOI MOSFET的三维仿真结构,并将SiO2材料等效为宽禁带的半导体材料,通过引入TID...
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随着绝缘层上硅(SOI)工艺的金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)在空间应用增多,其电离总剂量效应(TID)越来越受到关注。利用TCAD仿真工具,构建了 SOI MOSFET的三维仿真结构,并将SiO2材料等效为宽禁带的半导体材料,通过引入TID的产生率模型、缺陷模型、载流子传输模型等,计算获得了不同宽长比下器件的TID损伤特性。
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