检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器与微系统 2016年第2期35卷 58-60,64页

作者：梁盛林周晓峰车录锋中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049

细胞阵列芯片在细胞生物学研究、药物筛选等生物医疗领域有着广阔的应用前景。针对芯片上细胞固定时需要化学修饰的限制,提出了仅通过表面结构实现细胞固定的方案。基于MEMS技术,采用DRIE在硅片上得到超疏水的微纳结构,通过简单的高温... 详细信息

细胞阵列芯片在细胞生物学研究、药物筛选等生物医疗领域有着广阔的应用前景。针对芯片上细胞固定时需要化学修饰的限制,提出了仅通过表面结构实现细胞固定的方案。基于MEMS技术,采用DRIE在硅片上得到超疏水的微纳结构,通过简单的高温氧化工艺实现超亲水性的Si O2结构表面;再通过控制BOE腐蚀时间得到不同形貌的基底表面。计算了基底表面上的循环肿瘤细胞的黏附效率,并在SEM下观察了细胞与基底的相互作用行为,探讨了粗糙表面影响细胞黏附的原因。实验结果表明:采用DRIE和高温氧化制备的微纳Si O2基底表面能极大促进细胞黏附,可应用于细胞阵列芯片设计中。

关键词：细胞阵列芯片微机电系统黏附细胞固定

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

空间飞行器轨道仿真验证反演方法研究

引用

系统仿真技术 2013年第3期9卷 199-205页

作者：乔梁柳庆武北京航空航天大学计算机学院北京100191 中国科学院软件研究所综合信息系统技术国家级重点实验室北京100190

对空间飞行器轨道进行仿真验证,是轨道方案设计与性能评估的重要途径之一,其可信性在模型验证与确认中具有重要作用。基于轨道仿真序列图像的空间飞行器轨道验证反演方法,通过对不同高度类型的空间飞行器轨道进行可视化建模与仿真,把得... 详细信息

对空间飞行器轨道进行仿真验证,是轨道方案设计与性能评估的重要途径之一,其可信性在模型验证与确认中具有重要作用。基于轨道仿真序列图像的空间飞行器轨道验证反演方法,通过对不同高度类型的空间飞行器轨道进行可视化建模与仿真,把得到的仿真图像序列与成像系统参数相结合,计算出空间飞行器测角坐标,然后通过空间关系分析,构建关于真平均运动角速度与视平均运动角速度的约束方程,把对空间飞行器轨道运动状态参数的解算,归结为根据轨道仿真图像序列计算空间飞行器测角坐标和根据测角坐标确定观测斜距,解决了利用图像数据进行非合作空间飞行器轨道反演验证过程中轨道初始参数的确定问题。

关键词：空间飞行器序列图像轨道仿真验证反演法

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

气体探测用低功耗微型加热器研究

引用

测试技术学报 2010年第5期24卷 410-413页

作者：许磊李铁高秀丽王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元... 详细信息

介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400℃时功耗仅为26 mW,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.

关键词： MEMS 低功耗微型加热器铂各向异性腐蚀

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究

应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究

引用

第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

作者：刘玉菲刘文平李四华吴亚明罗乐中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050

应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片和玻璃片进行了250℃条件下的圆片级低温键合实验,同时进行了300℃条件下的硅片与玻璃片阳极键合实验,并对其气密性和剪切力特性进行了对比研究.测试结果表明:在250℃的低温键合条件下,经过5atmHe气保压2... 详细信息

应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片和玻璃片进行了250℃条件下的圆片级低温键合实验,同时进行了300℃条件下的硅片与玻璃片阳极键合实验,并对其气密性和剪切力特性进行了对比研究.测试结果表明:在250℃的低温键合条件下,经过5atmHe气保压2小时,测得BCB封装后样品的气密性达到(5.5±0.5)×10-9atmcc/sHe;剪切力在9.0(∪)13.4MPa之间,完全达到了封装工艺要求;实验中封装成品率达到100﹪.表明应用BCB材料键合是一种有效的圆片级低温气密性封装方法.文章还根据渗流模型理论,讨论了简易模型下气密性(即渗流率)和器件腔体边缘到划片边缘的间距的关系.

关键词：低温键合气密性封装苯并环丁烯渗流模型气密性

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于HLA的指挥控制网络多维展示方案

基于HLA的指挥控制网络多维展示方案

引用

2014第二届中国指挥控制大会

作者：邓勇谈华莹中国科学院软件研究所综合信息系统技术国家级重点实验室北京机电工程研究所

为有效形象地展示指挥控制网络仿真的性能,以及网络仿真过程中的实时动态效果,本文从指挥控制网络关注的方面出发,以多个角度来展示指挥控制网络仿真效果,为提高网络实战能力提供技术支撑,提出了基于HLA的指挥控制网络多维展示方案。在... 详细信息

为有效形象地展示指挥控制网络仿真的性能,以及网络仿真过程中的实时动态效果,本文从指挥控制网络关注的方面出发,以多个角度来展示指挥控制网络仿真效果,为提高网络实战能力提供技术支撑,提出了基于HLA的指挥控制网络多维展示方案。在此基础上,基于OPNET仿真平台,设计了作战想定场景展示平台、战场态势及网络模型映射展示平台、网络主要性能展示平台、毁伤情况及网络可靠性和抗毁性展示平台、网络综合效用展示平台,对建立指挥控制网络模型要素进行分析,设计了能够适应指挥控制网络特点的计算模型,并在成员设计上有效地分散计算负载,能够降低成员耦合性,使仿真联邦具备很强的可扩展能力。最后,提出了要解决的关键技术。

关键词：指挥控制网络指挥自动化网络仿真

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于土地利用与植被覆盖度的大通北川河源区自然保护区生境质量评估

引用

水土保持研究 2020年第6期27卷 332-337页

作者：陈永国刘维军荣月静傅利平马立广曹彦荣青海大通北川河源区国家级自然保护区管理局青海大通810100 北京山海础石信息技术有限公司北京100101 中国科学院生态环境研究中心城市与区域生态国家重点实验室北京100085 中国科学院大学资源与环境学院北京100049

为了掌握大通北川河源区国家级自然保护区生态系统与生境质量变化状况,优化保护对策与措施,基于2005年、2010年、2015年3个时间节点,分析了保护区土地利用和植被覆盖度的变化。在此基础上,基于InVEST模型中生境评估模块进行保护区的生... 详细信息

为了掌握大通北川河源区国家级自然保护区生态系统与生境质量变化状况,优化保护对策与措施,基于2005年、2010年、2015年3个时间节点,分析了保护区土地利用和植被覆盖度的变化。在此基础上,基于InVEST模型中生境评估模块进行保护区的生境质量评估,并运用植被覆盖度(VFC)来修正生境适宜度(H)指标,进而得出了更加精确的生境质量评估结果。结果表明:保护区土地利用主要以灌木林、草地、裸地为主。2005—2015年土地利用变化不大,主要有小部分地区裸地转换为草地,保护区整体生境质量显著提升,尤其是北部与南部地区的灌木林,这与保护区植被覆盖度的分布规律基本吻合。因此,通过相关措施,减少人为干扰,增加林草植被盖度,是提高保护区生境质量的有效措施。

关键词：土地利用植被覆盖度生境质量大通北川河源区国家级自然保护区

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

引用

测试技术学报 2010年第5期24卷 377-380页

作者：高安然李铁刘翔焦继伟王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院北京100049

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电... 详细信息

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.

关键词：微液滴温度梯度表面张力梯度电阻加热器开放式结构

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器

CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器

引用

中国光学学会2010年光学大会

作者：徐德辉熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院研究生院

微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。本文提出一种采用CMOS兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结... 详细信息

微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。本文提出一种采用CMOS兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结构的制作难度。和传统的微机械热电堆红外探测器相比,自对准微机械热电堆红外探测器的释放孔大小是由多晶硅热电偶臂之间的间距确定,而不是由光刻工艺确定。为研究自对准微机械热电堆红外探测器性能和热电堆结构之间的关系,本文设计并制作了两种不同结构的自对准微机械热电堆红外探测器。测试结果表明方形热电堆结构可以获得大的输出电压及响应率,圆形热电堆结构则可以获得快的响应和大的探测率。

关键词：微机械热电堆红外探测器自对准 CMOS兼容微机电系统

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

引用

中国兵工学会第十五届测试技术学术年会

作者：高安然李铁刘翔焦继伟王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院北京100049 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

关键词：微液滴温度梯度表面张力梯度电阻加热器开放式结构

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟

新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟

引用

第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：刘玉菲赵本刚吴亚明王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050 浙江大学杭州310027

本文提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计... 详细信息

本文提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计算,通过ANSYS进行了模拟仿真分析.分析结果表明:通过双光纤准直器和光电探测器监测微扭转镜面的扭转,该器件可以实现60nT的磁场探测,其探测灵敏度可以达到0.6dB/μT.

关键词： MOEMS技术磁场传感器扭转微镜面双光纤准直器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：